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CVD TAC कोटिंग एक सब्सट्रेट (ग्रेफाइट) पर एक घने और टिकाऊ कोटिंग बनाने के लिए एक प्रक्रिया है। इस विधि में उच्च तापमान पर सब्सट्रेट सतह पर TAC जमा करना शामिल है, जिसके परिणामस्वरूप उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध के साथ एक टैंटलम कार्बाइड (TAC) कोटिंग होती है।

8 इंच के सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) प्रक्रिया के परिपक्वता के रूप में, निर्माता 6-इंच से 8-इंच तक शिफ्ट को तेज कर रहे हैं। हाल ही में, सेमीकंडक्टर और रेजोनैक ने 8-इंच SIC उत्पादन पर अपडेट की घोषणा की।

यह लेख इतालवी कंपनी LPE के नए डिज़ाइन किए गए PE1O8 हॉट-वॉल CVD रिएक्टर में नवीनतम विकास और 200 मिमी SiC पर एकसमान 4H-SiC एपिटॉक्सी प्रदर्शन करने की क्षमता का परिचय देता है।