उत्पादों

VETEK CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटेड ग्रेफाइट RTP RTA कैरियर को सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किए जाने वाले रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) और रैपिड थर्मल एनीलिंग (RTA) सिस्टम के लिए डिज़ाइन किया गया है। घने सीवीडी सीआईसी कोटिंग के साथ उच्च शुद्धता वाले आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट से निर्मित, यह उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट तापमान एकरूपता, बेहतर रासायनिक प्रतिरोध और अल्ट्रा-लो कण उत्पादन प्रदान करता है। बार-बार तीव्र ताप और शीतलन चक्रों का सामना करने के लिए इंजीनियर किया गया, वाहक सिलिकॉन वेफर एनीलिंग और अन्य उच्च तापमान अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए विश्वसनीय वेफर समर्थन और स्थिर प्रक्रिया प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।

VETEK CVD TaC कोटेड ससेप्टर एक उच्च शुद्धता वाले आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट सब्सट्रेट को घने CVD टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग के साथ जोड़ता है ताकि सेमीकंडक्टर एपिटॉक्सी की मांग के लिए असाधारण थर्मल स्थिरता, संक्षारण प्रतिरोध और कम कण उत्पादन प्रदान किया जा सके। SiC, GaN और AlN एपिटैक्सियल विकास के लिए डिज़ाइन किया गया, यह संदूषण को कम करता है, वेफर तापमान एकरूपता में सुधार करता है, और उच्च तापमान MOCVD और CVD प्रक्रियाओं में घटक सेवा जीवन का विस्तार करता है।

VeTek सेमीकंडक्टर से CVD SiC लेपित RTP ससेप्टर सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किए जाने वाले रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) और रैपिड थर्मल एनीलिंग (RTA) उपकरण का काम करता है। सब्सट्रेट को उच्च शुद्धता वाले आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट से तैयार किया जाता है, जिसके ऊपर एक घनी सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) परत जमा होती है। यह निर्माण उच्च तापीय चालकता, मजबूत रासायनिक जड़ता और बार-बार उच्च तापमान चक्रण के तहत निरंतर आयामी स्थिरता उत्पन्न करता है।

सेमीकंडक्टर क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों की मांग के लिए, VETEK थ्री-पीस ग्रेफाइट क्रूसिबल प्रक्रिया के लिए आवश्यक स्थिरता, शुद्धता और थर्मल समरूपता प्रदान करता है। उच्च ग्रेड आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट से निर्मित - वैकल्पिक SiC, TaC, या PyC कोटिंग्स के साथ - इसका विभाजित डिज़ाइन केवल सुविधा के लिए नहीं है। यह सक्रिय रूप से थर्मल तनाव को कम करता है, रखरखाव को तेज़ बनाता है, और चक्र दर चक्र कार्य करता रहता है।

VETEK PG (पाइरोलाइटिक ग्रेफाइट) कोटेड रिंग को सेमीकंडक्टर थर्मल फील्ड और क्रिस्टल विकास वातावरण के लिए बनाया गया है, जहां समान गर्मी वितरण और स्थिर तापमान पर समझौता नहीं किया जा सकता है। उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट बेस से शुरू होकर घने पायरोलाइटिक ग्रेफाइट कोटिंग के साथ समाप्त होने पर, यह घटक असाधारण थर्मल चालकता प्रदान करता है, गंभीर थर्मल झटके का सामना करता है, और अत्यधिक तापमान पर लंबे समय तक अपने आयामों को बरकरार रखता है। आप इन छल्लों को क्रिस्टल ग्रोथ भट्टियों, उच्च तापमान वाले ओवन और अर्धचालकों के लिए थर्मल फील्ड असेंबलियों में बड़े पैमाने पर उपयोग करते हुए पाएंगे - कहीं भी सटीक तापमान नियंत्रण सीधे प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और अंतिम उत्पाद की गुणवत्ता को संचालित करता है।

यदि आपने कभी किसी जमाव कक्ष में असमान गैस प्रवाह या कण संदूषण का सामना किया है, तो VETEK CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शावर हेड को इसे हल करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह थर्मल स्थिरता और आसान मशीनिंग के लिए उच्च शुद्धता वाले आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट से शुरू होता है, फिर एक सघन सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग प्राप्त करता है जो सतह को सील करता है, संक्षारक गैसों (जैसे HCl या NF₃) का प्रतिरोध करता है, और गैस निकलने से रोकता है। परिणाम एक गैस वितरण प्लेट है जो वेफर में समान प्रवाह प्रदान करती है, उच्च तापमान एपिटैक्सी को संभालती है, और नंगे ग्रेफाइट या क्वार्ट्ज की तुलना में कहीं अधिक समय तक चलती है - जो इसे सीवीडी, पीईसीवीडी, एमओसीवीडी, सिलिकॉन एपिटैक्सी और सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रियाओं के लिए एक विश्वसनीय घटक बनाती है। हम कस्टम होल पैटर्न और आकार भी प्रदान करते हैं, क्योंकि कोई भी दो रिएक्टर बिल्कुल एक जैसे नहीं होते हैं।