उत्पादों

वेटेक्सेमिकॉन SiC कोटेड एपिटैक्सियल रिएक्टर चैम्बर एक मुख्य घटक है जिसे सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं की मांग के लिए डिज़ाइन किया गया है। उन्नत रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) का उपयोग करते हुए, यह उत्पाद उच्च शक्ति वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट पर एक घनी, उच्च शुद्धता वाली सीआईसी कोटिंग बनाता है, जिसके परिणामस्वरूप बेहतर उच्च तापमान स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध होता है। यह उच्च तापमान प्रक्रिया वातावरण में प्रतिक्रियाशील गैसों के संक्षारक प्रभावों का प्रभावी ढंग से प्रतिरोध करता है, कण संदूषण को महत्वपूर्ण रूप से दबाता है, लगातार एपिटैक्सियल सामग्री की गुणवत्ता और उच्च उपज सुनिश्चित करता है, और प्रतिक्रिया कक्ष के रखरखाव चक्र और जीवनकाल को काफी हद तक बढ़ाता है। यह SiC और GaN जैसे वाइड-बैंडगैप सेमीकंडक्टर्स की विनिर्माण दक्षता और विश्वसनीयता में सुधार के लिए एक महत्वपूर्ण विकल्प है।

वेटेक्सेमिकॉन से सिलिकॉन कैसेट बोट एक सटीक-इंजीनियर्ड वेफर वाहक है जो विशेष रूप से ऑक्सीकरण, प्रसार, ड्राइव-इन और एनीलिंग सहित उच्च तापमान अर्धचालक भट्टी अनुप्रयोगों के लिए विकसित किया गया है। अल्ट्रा-हाई-शुद्धता वाले सिलिकॉन से निर्मित और उन्नत संदूषण-नियंत्रण मानकों के अनुरूप, यह एक थर्मल स्थिर, रासायनिक रूप से निष्क्रिय मंच प्रदान करता है जो सिलिकॉन वेफर्स के गुणों से निकटता से मेल खाता है। यह संरेखण थर्मल तनाव को कम करता है, फिसलन और दोष गठन को कम करता है, और पूरे बैच में असाधारण रूप से समान गर्मी वितरण सुनिश्चित करता है

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल वृद्धि की मुख्य प्रक्रिया में, वेटेक्सेमिकॉन समझता है कि रिसेप्टर प्रदर्शन सीधे एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता और उत्पादन दक्षता निर्धारित करता है। हमारे उच्च शुद्धता वाले ईपीआई रिसेप्टर्स, विशेष रूप से SiC क्षेत्र के लिए डिज़ाइन किए गए, एक विशेष ग्रेफाइट सब्सट्रेट और घने CVD SiC कोटिंग का उपयोग करते हैं। अपनी बेहतर थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और बेहद कम कण उत्पादन दर के साथ, वे कठोर उच्च तापमान प्रक्रिया वातावरण में भी ग्राहकों के लिए अद्वितीय मोटाई और डोपिंग एकरूपता सुनिश्चित करते हैं। वेटेक्सेमिकॉन को चुनने का अर्थ है अपनी उन्नत सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं के लिए विश्वसनीयता और प्रदर्शन की आधारशिला चुनना।

एएसएम के लिए वेटेक्सेमिकॉन SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में एक मुख्य वाहक घटक है। यह उत्पाद उच्च तापमान और संक्षारक प्रक्रिया वातावरण में बेहतर प्रदर्शन और अल्ट्रा-लंबे जीवनकाल को सुनिश्चित करने के लिए हमारी स्वामित्व वाली पायरोलाइटिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तकनीक और सटीक मशीनिंग प्रक्रियाओं का उपयोग करता है। हम सब्सट्रेट शुद्धता, थर्मल स्थिरता और स्थिरता पर एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं की कठोर आवश्यकताओं को गहराई से समझते हैं, और ग्राहकों को स्थिर, विश्वसनीय समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं जो समग्र उपकरण प्रदर्शन को बढ़ाते हैं।

वेटेक्सेमिकॉन सेमीकंडक्टर-ग्रेड क्वार्ट्ज क्रूसिबल्स सीज़ोक्राल्स्की सिंगल क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में प्रमुख उपभोग्य वस्तुएं हैं। हमारे मुख्य फोकस के रूप में अत्यधिक शुद्धता और बेहतर थर्मल स्थिरता के साथ, हम ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं जो उच्च तापमान और उच्च दबाव वाले वातावरण में स्थिर प्रदर्शन और क्रिस्टलीकरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करते हैं। यह स्रोत से क्रिस्टल छड़ों की गुणवत्ता सुनिश्चित करता है, जिससे सेमीकंडक्टर सिलिकॉन वेफर विनिर्माण को उच्च पैदावार और बेहतर लागत-प्रभावशीलता प्राप्त करने में मदद मिलती है।

वेटेक्सेमिकॉन फोकस रिंग विशेष रूप से सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी उपकरण, विशेष रूप से SiC नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों की मांग के लिए डिज़ाइन की गई है। इलेक्ट्रोस्टैटिक चक (ईएससी) के चारों ओर, वेफर के करीब स्थापित, इसका प्राथमिक कार्य प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र वितरण को अनुकूलित करना है, जिससे संपूर्ण वेफर सतह पर एक समान और केंद्रित प्लाज्मा क्रिया सुनिश्चित होती है। एक उच्च-प्रदर्शन फोकस रिंग ईच दर एकरूपता में काफी सुधार करती है और किनारे के प्रभावों को कम करती है, जिससे सीधे उत्पाद की उपज और उत्पादन दक्षता में वृद्धि होती है।