सिलिकॉन नाइट्राइड

वीटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन नाइट्राइड के निर्माण पर ध्यान केंद्रित करता है और इसमें वरिष्ठ विशेषज्ञों और शीर्ष तकनीकी प्रतिभाओं से बनी एक अनुसंधान और विकास टीम है। सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में सामान्य सिरेमिक सामग्रियों की कठोरता, गर्मी प्रतिरोध, पहनने के प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध के फायदे हैं, और इसमें अच्छे थर्मल शॉक प्रतिरोध, उच्च तापमान रेंगना प्रतिरोध, अच्छा आत्म-स्नेहन और अच्छा रासायनिक स्थिरता के फायदे हैं, और व्यापक रूप से हैं नई ऊर्जा, रासायनिक उद्योग, एयरोस्पेस और अर्धचालक क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।

वीटेक सेमीकंडक्टर की सिलिकॉन नाइट्राइड सामग्री के निम्नलिखित प्रमुख फायदे हैं:

1. उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता होती है और यह विभिन्न प्रकार के मजबूत एसिड, क्षार और संक्षारक गैसों का सामना कर सकता है। सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में अक्सर संक्षारक रसायनों से निपटने की आवश्यकता होती है, सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक दीर्घकालिक स्थिर प्रदर्शन की गारंटी प्रदान कर सकता है।

2. उत्कृष्ट यांत्रिक गुण

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में उच्च कठोरता, उत्कृष्ट संपीड़न शक्ति और पहनने का प्रतिरोध होता है, जो यांत्रिक तनाव और सतह के पहनने का सामना करने में सक्षम होता है, विरूपण या टूटना आसान नहीं होता है। यह यांत्रिक गुण इसे अर्धचालक उपकरणों में संरचनात्मक और प्रक्रिया भागों के लिए एक सामग्री के रूप में बहुत उपयुक्त बनाता है।

3. उच्च तापमान स्थिरता

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिरता बनाए रख सकता है, नरम करना या पिघलाना आसान नहीं है, और अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में उच्च तापमान प्रसंस्करण और हैंडलिंग का सामना कर सकता है। यह इसे उच्च तापमान प्रक्रिया उपकरण के प्रमुख घटकों, जैसे ग्रिपर, प्रतिक्रिया कक्ष घटकों आदि के निर्माण में उपयोग करने की अनुमति देता है।

4. उत्कृष्ट इन्सुलेशन गुण

सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माण में इंसुलेटिंग गुण महत्वपूर्ण हैं। सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में अच्छे इन्सुलेट गुण होते हैं, जो सर्किट घटकों को वर्तमान रिसाव या विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप से प्रभावी ढंग से अलग और संरक्षित कर सकते हैं, जिससे डिवाइस की स्थिरता और विश्वसनीयता में सुधार करने में मदद मिलती है।

5. तापीय चालकता और तापीय चालकता

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में उच्च तापीय चालकता होती है, जो डिवाइस द्वारा उत्पन्न गर्मी को प्रभावी ढंग से संचालित और नष्ट कर सकती है, जिससे ऑपरेटिंग प्रक्रिया में डिवाइस की तापमान स्थिरता बनाए रखने में मदद मिलती है। यह सेमीकंडक्टर उपकरणों के उच्च-प्रदर्शन संचालन के लिए महत्वपूर्ण है।

सौर और अर्धचालक उद्योगों में वीटेक सेमीकंडक्टर की सिलिकॉन नाइट्राइड सामग्री के अनुप्रयोगों में मुख्य रूप से शामिल हैं:

1. इलेक्ट्रोस्टैटिक चक और नक़्क़ाशी कक्ष घटक

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक का उपयोग अक्सर उनके उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण सेमीकंडक्टर निर्माण में इलेक्ट्रोस्टैटिक चक और नक़्क़ाशी कक्ष घटकों के लिए सामग्री के रूप में किया जाता है। इलेक्ट्रोस्टैटिक चक का उपयोग वेफर्स या सब्सट्रेट्स को ठीक करने और स्थिर करने के लिए किया जाता है, जबकि नक़्क़ाशी कक्ष घटकों का उपयोग संक्षारक गैसों और उच्च तापमान वाले वातावरण का सामना करने के लिए किया जाता है।

2. गैस वितरण प्लेटें और रिफ्लेक्टर

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक का उपयोग गैस वितरण प्लेटों और रिफ्लेक्टर में अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में भी किया जाता है। गैस वितरण प्लेटों का उपयोग प्रतिक्रिया कक्ष में प्रतिक्रियाशील या सुरक्षात्मक गैसों को समान रूप से वितरित करने के लिए किया जाता है, जबकि रिफ्लेक्टर का उपयोग प्रतिक्रिया दक्षता और एकरूपता में सुधार के लिए प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर प्रकाश के वितरण और प्रतिबिंब को अनुकूलित करने के लिए किया जाता है।

3. धारक और थर्मल घटक

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक का उपयोग अक्सर अर्धचालक विनिर्माण उपकरण में धारकों और थर्मल प्रबंधन घटकों के रूप में किया जाता है। स्थिर उपकरण संचालन और डिवाइस प्रसंस्करण सटीकता सुनिश्चित करने के लिए इन घटकों में अच्छी यांत्रिक शक्ति, पहनने के प्रतिरोध और तापीय चालकता की आवश्यकता होती है।

4. केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) पैड

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक का व्यापक रूप से केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) प्रक्रिया में पैड सामग्री के रूप में उपयोग किया जाता है। इसमें उत्कृष्ट समतलता और पहनने का प्रतिरोध है, और सेमीकंडक्टर वेफर सतह की समतलता और सटीकता सुनिश्चित करने के लिए पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान स्थिर समर्थन प्रदान कर सकता है।