सिलिकॉन नाइट्राइड

1। उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता होती है और यह विभिन्न प्रकार के मजबूत एसिड, अल्कलिस और संक्षारक गैसों का सामना कर सकता है। अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में अक्सर संक्षारक रसायनों से निपटने की आवश्यकता होती है, सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक दीर्घकालिक स्थिर प्रदर्शन गारंटी प्रदान कर सकते हैं।

2। उत्कृष्ट यांत्रिक गुण

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में उच्च कठोरता, उत्कृष्ट संपीड़ित शक्ति और पहनने के प्रतिरोध, यांत्रिक तनाव और सतह के पहनने का सामना करने में सक्षम हैं, विकृति या टूटना के लिए आसान नहीं है। यह यांत्रिक संपत्ति इसे अर्धचालक उपकरणों में संरचनात्मक और प्रक्रिया भागों के लिए एक सामग्री के रूप में बहुत उपयुक्त बनाती है।

3। उच्च तापमान स्थिरता

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिरता बनाए रख सकते हैं, न कि नरम या पिघलना आसान नहीं है, और सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रिया में उच्च तापमान प्रसंस्करण और हैंडलिंग का सामना कर सकते हैं। यह इसे उच्च तापमान प्रक्रिया उपकरण प्रमुख घटकों, जैसे कि ग्रिपर्स, रिएक्शन चैंबर घटकों और इतने पर के निर्माण में उपयोग करने की अनुमति देता है।

4। उत्कृष्ट इन्सुलेट गुण

अर्धचालक डिवाइस निर्माण में इंसुलेटिंग गुण महत्वपूर्ण हैं। सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में अच्छे इंसुलेटिंग गुण होते हैं, जो डिवाइस की स्थिरता और विश्वसनीयता में सुधार करने में मदद करते हुए, वर्तमान रिसाव या विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप से सर्किट घटकों को प्रभावी ढंग से अलग कर सकते हैं और उनकी रक्षा कर सकते हैं।

5। तापीय चालकता और तापीय चालकता

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक में एक उच्च तापीय चालकता होती है, डिवाइस द्वारा उत्पन्न गर्मी को प्रभावी ढंग से संचालित और विघटित कर सकता है, जिससे ऑपरेटिंग प्रक्रिया में डिवाइस की तापमान स्थिरता को बनाए रखने में मदद मिलती है। यह अर्धचालक उपकरणों के उच्च-प्रदर्शन संचालन के लिए महत्वपूर्ण है।

1। इलेक्ट्रोस्टैटिक चक और नक़्क़ाशी चैम्बर घटक

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक को अक्सर इलेक्ट्रोस्टैटिक चक के लिए सामग्री के रूप में उपयोग किया जाता है और अर्धचालक विनिर्माण में चैम्बर घटकों को उनके उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण। इलेक्ट्रोस्टैटिक चक का उपयोग वेफर्स या सब्सट्रेट को ठीक करने और स्थिर करने के लिए किया जाता है, जबकि चैम्बर घटकों का उपयोग संक्षारक गैसों और उच्च तापमान वाले वातावरण का सामना करने के लिए किया जाता है।

2। गैस वितरण प्लेट और परावर्तक

गैस वितरण प्लेटों और रिफ्लेक्टर में अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक का भी उपयोग किया जाता है। गैस वितरण प्लेटों का उपयोग प्रतिक्रिया कक्ष में प्रतिक्रियाशील या सुरक्षात्मक गैसों को समान रूप से वितरित करने के लिए किया जाता है, जबकि रिफ्लेक्टर का उपयोग प्रतिक्रिया दक्षता और एकरूपता में सुधार करने के लिए प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर प्रकाश के वितरण और प्रतिबिंब को अनुकूलित करने के लिए किया जाता है।

3। धारक और थर्मल घटक

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक अक्सर अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों में धारकों और थर्मल प्रबंधन घटकों के रूप में उपयोग किया जाता है। इन घटकों को स्थिर उपकरण संचालन और डिवाइस प्रसंस्करण सटीकता सुनिश्चित करने के लिए अच्छी यांत्रिक शक्ति, पहनने के प्रतिरोध और थर्मल चालकता की आवश्यकता होती है।

4। केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) पैड

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक व्यापक रूप से रासायनिक मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) प्रक्रिया में पैड सामग्री के रूप में उपयोग किया जाता है। इसमें उत्कृष्ट सपाटता और पहनने का प्रतिरोध है, और सेमीकंडक्टर वेफर सतह की सपाटता और सटीकता सुनिश्चित करने के लिए पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान स्थिर समर्थन प्रदान कर सकता है।