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ठोस सिलिकॉन कार्बाइड

वेटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा इचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड में एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक है (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) नक़्क़ाशी उपकरणों में भागों में शामिल हैंध्यान केंद्रित करना, गैस शावरहेड, ट्रे, एज रिंग्स, आदि क्लोरीन के लिए ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) की कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण - और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों के लिए, यह प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरणों के लिए एक आदर्श सामग्री है जो रिंग और अन्य घटकों पर ध्यान केंद्रित करती है।


उदाहरण के लिए, फोकस रिंग एक महत्वपूर्ण हिस्सा है जो वेफर के बाहर और वेफर के सीधे संपर्क में है, रिंग के माध्यम से गुजरने वाले प्लाज्मा को ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग में एक वोल्टेज लागू करके, जिससे प्रसंस्करण की एकरूपता में सुधार करने के लिए वेफर पर प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित किया जाता है। पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन से बना है याक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री के रूप में प्रवाहकीय सिलिकॉन, यह सिलिकॉन वेफर्स की चालकता के लगभग करीब है, लेकिन कमी फ्लोरीन युक्त प्लाज्मा में खराब नक़्क़ाशी प्रतिरोध है, नक़्क़ाशी मशीन पार्ट्स सामग्री अक्सर समय की अवधि के लिए उपयोग की जाती है, गंभीर संक्षारण घटना होगी, इसकी उत्पादन दक्षता को गंभीरता से कम करना।


Sओलिड सिस फोकस रिंगकाम के सिद्धांत

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


एसआई आधारित फोकसिंग रिंग और सीवीडी एसआईसी फोकसिंग रिंग की तुलना :

एसआई आधारित फोकसिंग रिंग और सीवीडी एसआईसी फोकसिंग रिंग की तुलना
वस्तु और सीवीडी एसआईसी
घनत्व (जी/सेमी)3) 2.33 3.21
बैंड गैप (ईवी) 1.12 2.3
थर्मल चालकता (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
लोचदार मापांक (जीपीए) 150 440
कठोरता (जीपीए) 11.4 24.5
पहनने और जंग का प्रतिरोध गरीब उत्कृष्ट


वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए एसआईसी फोकस रिंग जैसे उन्नत ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) भागों की पेशकश करता है। हमारे ठोस सिलिकॉन कार्बाइड ध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले यांत्रिक शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, तापीय चालकता, उच्च तापमान स्थायित्व, और आयन नक़्क़ाशी प्रतिरोध के संदर्भ में पारंपरिक सिलिकॉन को बेहतर ढंग से करते हैं।


हमारे SIC फोकसिंग रिंग्स की प्रमुख विशेषताओं में शामिल हैं:

कम नक़्क़ाशी दरों के लिए उच्च घनत्व।

एक उच्च बैंडगैप के साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च तापीय चालकता और थर्मल विस्तार के कम गुणांक।

बेहतर यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध और लोच।

उच्च कठोरता, पहनने का प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध।

उपयोग का उपयोग कियाप्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (PECVD)तकनीक, हमारे एसआईसी फोकसिंग रिंग्स अर्धचालक विनिर्माण में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की बढ़ती मांगों को पूरा करते हैं। वे उच्च प्लाज्मा शक्ति और ऊर्जा का सामना करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, विशेष रूप से मेंकैपेसिटिक रूप से युग्मित प्लाज्मा (CCP)सिस्टम।

वेटेक सेमीकंडक्टर के एसआईसी फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर डिवाइस विनिर्माण में असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं। बेहतर गुणवत्ता और दक्षता के लिए हमारे एसआईसी घटकों को चुनें।


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Cvd sic लेपित ग्रेफाइट शावर सिर

Cvd sic लेपित ग्रेफाइट शावर सिर

Veteksemicon से CVD SIC लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड एक उच्च-प्रदर्शन घटक है जो विशेष रूप से अर्धचालक रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से निर्मित और एक रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कोटिंग के साथ संरक्षित, यह शॉवर हेड उत्कृष्ट स्थायित्व, थर्मल स्थिरता और संक्षारक प्रक्रिया गैसों के प्रतिरोध को वितरित करता है। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।
सिसक एज रिंग

सिसक एज रिंग

Veteksemicon उच्च-शुद्धता SIC एज रिंग्स, विशेष रूप से अर्धचालक नक़्क़ाशी उपकरणों के लिए डिज़ाइन किया गया है, बकाया जंग प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता की सुविधा है, काफी बढ़ती हुई वेफर उपज
उच्च शुद्धता cvd sic कच्चा माल

उच्च शुद्धता cvd sic कच्चा माल

CVD द्वारा तैयार उच्च शुद्धता CVD SIC कच्चे माल भौतिक वाष्प परिवहन द्वारा सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल विकास के लिए सबसे अच्छा स्रोत सामग्री है। वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा आपूर्ति की गई उच्च शुद्धता cvd sic कच्चे माल का घनत्व SI और C- युक्त गैसों के सहज दहन द्वारा गठित छोटे कणों की तुलना में अधिक है, और इसके लिए एक समर्पित सिन्टरिंग भट्टी की आवश्यकता नहीं होती है और लगभग निरंतर वाष्पीकरण दर होती है। यह अत्यधिक उच्च गुणवत्ता वाले Sic सिंगल क्रिस्टल को बढ़ा सकता है। आपकी जांच के लिए आगे देख रहे हैं।
ठोस sic वेफर वाहक

ठोस sic वेफर वाहक

Vetek सेमीकंडक्टर के ठोस sic वेफर वाहक को अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोधी वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है और उच्च शुद्धता आवश्यकताओं के साथ सभी प्रकार की वेफर विनिर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है। वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख वेफर वाहक आपूर्तिकर्ता है और सेमीकंडक्टर उद्योग में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर है।
ठोस sic डिस्क-आकार का शॉवर हेड

ठोस sic डिस्क-आकार का शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख अर्धचालक उपकरण निर्माता है और एक पेशेवर निर्माता और ठोस एसआईसी डिस्क के आकार के शॉवर हेड का आपूर्तिकर्ता है। हमारे डिस्क शेप शॉवर हेड का व्यापक रूप से पतली फिल्म जमाव उत्पादन में उपयोग किया जाता है जैसे कि सीवीडी प्रक्रिया प्रतिक्रिया गैस के समान वितरण को सुनिश्चित करने के लिए और सीवीडी भट्ठी के मुख्य घटकों में से एक है।
सील सीलिंग पार्ट

सील सीलिंग पार्ट

चीन में एक उन्नत एसआईसी सीलिंग पार्ट उत्पाद निर्माता और कारखाने के रूप में। वेटेक सेमीकॉन्टक्टो एसआईसी सीलिंग पार्ट एक उच्च-प्रदर्शन सीलिंग घटक है जिसका व्यापक रूप से अर्धचालक प्रसंस्करण और अन्य चरम उच्च तापमान और उच्च दबाव प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है। अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें।

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


चीन में एक पेशेवर ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ ठोस सिलिकॉन कार्बाइड खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।
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