ठोस सिलिकॉन कार्बाइड

वीटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड में एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक है (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) नक़्क़ाशी उपकरण में भाग शामिल हैंध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले, गैस शॉवरहेड, ट्रे, किनारे के छल्ले, आदि। ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) की क्लोरीन और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों की कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण, यह रिंगों और अन्य पर ध्यान केंद्रित करने वाले प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श सामग्री है अवयव।

उदाहरण के लिए, फोकस रिंग वेफर के बाहर और वेफर के सीधे संपर्क में रखा जाने वाला एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, रिंग के माध्यम से गुजरने वाले प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग पर वोल्टेज लगाकर, जिससे एकरूपता में सुधार के लिए वेफर पर प्लाज्मा को केंद्रित किया जाता है। प्रसंस्करण. पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन से बनी होती हैक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री के रूप में प्रवाहकीय सिलिकॉन, यह सिलिकॉन वेफर्स की चालकता के लगभग करीब है, लेकिन कमी फ्लोरीन युक्त प्लाज्मा में खराब नक़्क़ाशी प्रतिरोध है, नक़्क़ाशी मशीन भागों सामग्री अक्सर समय की अवधि के लिए उपयोग की जाती है, गंभीर होगी संक्षारण घटना, इसकी उत्पादन क्षमता को गंभीर रूप से कम कर देती है।

Sठोस SiC फोकस रिंगकाम के सिद्धांत：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना：

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना
वस्तु	और	सीवीडी SiC
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	2.33	3.21
बैंड गैप (eV)	1.12	2.3
तापीय चालकता (डब्ल्यू/सेमी℃)	1.5	5
सीटीई (x10^-6/℃)	2.6	4
लोचदार मापांक (जीपीए)	150	440
कठोरता (जीपीए)	11.4	24.5
घिसाव और संक्षारण का प्रतिरोध	गरीब	उत्कृष्ट

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए SiC फोकसिंग रिंग जैसे उन्नत ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) भागों की पेशकश करता है। हमारे ठोस सिलिकॉन कार्बाइड फ़ोकसिंग रिंग यांत्रिक शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, तापीय चालकता, उच्च तापमान स्थायित्व और आयन नक़्क़ाशी प्रतिरोध के मामले में पारंपरिक सिलिकॉन से बेहतर प्रदर्शन करते हैं।

हमारे SiC फ़ोकसिंग रिंग की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:

कम नक़्क़ाशी दरों के लिए उच्च घनत्व।

उच्च बैंडगैप के साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च तापीय चालकता और तापीय विस्तार का कम गुणांक।

बेहतर यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध और लोच।

उच्च कठोरता, पहनने का प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध।

का उपयोग करके निर्मितप्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (PECVD)तकनीक, हमारे SiC फ़ोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर निर्माण में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की बढ़ती मांगों को पूरा करते हैं। इन्हें विशेष रूप से उच्च प्लाज्मा शक्ति और ऊर्जा का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया हैकैपेसिटिवली कपल्ड प्लाज़्मा (CCP)सिस्टम.

VeTek सेमीकंडक्टर के SiC फोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण में असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं। बेहतर गुणवत्ता और दक्षता के लिए हमारे SiC घटकों को चुनें।

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सिसक एज रिंग

Veteksemicon उच्च-शुद्धता SIC एज रिंग्स, विशेष रूप से अर्धचालक नक़्क़ाशी उपकरणों के लिए डिज़ाइन किया गया है, बकाया जंग प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता की सुविधा है, काफी बढ़ती हुई वेफर उपज

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उच्च शुद्धता cvd sic कच्चा माल

CVD द्वारा तैयार उच्च शुद्धता CVD SIC कच्चे माल भौतिक वाष्प परिवहन द्वारा सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल विकास के लिए सबसे अच्छा स्रोत सामग्री है। वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा आपूर्ति की गई उच्च शुद्धता cvd sic कच्चे माल का घनत्व SI और C- युक्त गैसों के सहज दहन द्वारा गठित छोटे कणों की तुलना में अधिक है, और इसके लिए एक समर्पित सिन्टरिंग भट्टी की आवश्यकता नहीं होती है और लगभग निरंतर वाष्पीकरण दर होती है। यह अत्यधिक उच्च गुणवत्ता वाले Sic सिंगल क्रिस्टल को बढ़ा सकता है। आपकी जांच के लिए आगे देख रहे हैं।

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ठोस sic वेफर वाहक

Vetek सेमीकंडक्टर के ठोस sic वेफर वाहक को अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोधी वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है और उच्च शुद्धता आवश्यकताओं के साथ सभी प्रकार की वेफर विनिर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है। वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख वेफर वाहक आपूर्तिकर्ता है और सेमीकंडक्टर उद्योग में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर है।

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ठोस sic डिस्क-आकार का शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख अर्धचालक उपकरण निर्माता है और एक पेशेवर निर्माता और ठोस एसआईसी डिस्क के आकार के शॉवर हेड का आपूर्तिकर्ता है। हमारे डिस्क शेप शॉवर हेड का व्यापक रूप से पतली फिल्म जमाव उत्पादन में उपयोग किया जाता है जैसे कि सीवीडी प्रक्रिया प्रतिक्रिया गैस के समान वितरण को सुनिश्चित करने के लिए और सीवीडी भट्ठी के मुख्य घटकों में से एक है।

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सील सीलिंग पार्ट

चीन में एक उन्नत एसआईसी सीलिंग पार्ट उत्पाद निर्माता और कारखाने के रूप में। वेटेक सेमीकॉन्टक्टो एसआईसी सीलिंग पार्ट एक उच्च-प्रदर्शन सीलिंग घटक है जिसका व्यापक रूप से अर्धचालक प्रसंस्करण और अन्य चरम उच्च तापमान और उच्च दबाव प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है। अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें।

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सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड

सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड में उत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता, रासायनिक स्थिरता, तापीय चालकता और अच्छी गैस वितरण प्रदर्शन होता है, जो समान गैस वितरण को प्राप्त कर सकता है और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार कर सकता है। इसलिए, यह आमतौर पर उच्च तापमान प्रक्रियाओं जैसे रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) या भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है। हमारे लिए अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें, वेटेक सेमीकंडक्टर।

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चीन में एक पेशेवर ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ ठोस सिलिकॉन कार्बाइड खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।