ठोस sic etching फोकसिंग रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर ने सीवीडी ठोस एसआईसी तकनीक में बहुत प्रगति की है और अब यह विश्व-अग्रणी स्तर के साथ ठोस एसआईसी नक़्क़ाशी फोकसिंग रिंग का उत्पादन करने में सक्षम है। Vetek सेमीकंडक्टर की ठोस sic etching फोकसिंग रिंग एक अल्ट्रा-हाई प्यूरीिटी सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री उत्पाद है जो रासायनिक वाष्प जमाव की प्रक्रिया के माध्यम से बनाई गई है।

ठोस sic etching फोकसिंग रिंग का उपयोग अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में किया जाता है, विशेष रूप से प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणालियों में। एसआईसी फोकस रिंग एक महत्वपूर्ण घटक है जो सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) वेफर्स के सटीक और नियंत्रित नक़्क़ाशी को प्राप्त करने में मदद करता है।

प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान, फोकस रिंग कई भूमिकाएँ निभाती है जो निम्नलिखित हैं:

● प्लाज्मा पर फोकस करना: ठोस SiC नक़्क़ाशी फोकसिंग रिंग वेफर के चारों ओर प्लाज्मा को आकार देने और केंद्रित करने में मदद करती है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि नक़्क़ाशी प्रक्रिया समान रूप से और कुशलता से होती है। यह प्लाज़्मा को वांछित क्षेत्र तक सीमित रखने में मदद करता है, आसपास के क्षेत्रों में बिखरी नक़्क़ाशी या क्षति को रोकता है।

●  चैम्बर की दीवारों की सुरक्षा करना: फोकसिंग रिंग प्लाज्मा और चैम्बर की दीवारों के बीच एक बाधा के रूप में कार्य करती है, जो सीधे संपर्क और संभावित क्षति को रोकती है। SiC प्लाज्मा क्षरण के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी है और चैम्बर की दीवारों के लिए उत्कृष्ट सुरक्षा प्रदान करता है।

●  Tउत्साह नियंत्रण: एसआईसी फोकस रिंग रिंग एड्स में नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान वेफर में समान तापमान वितरण को बनाए रखने में एड्स। यह गर्मी को फैलाने में मदद करता है और स्थानीयकृत ओवरहीटिंग या थर्मल ग्रेडिएंट को रोकता है जो नक़्क़ाशी के परिणामों को प्रभावित कर सकता है।

ठोस एसआईसी को इसके उत्कृष्ट थर्मल और रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति और प्लाज्मा कटाव के प्रतिरोध के कारण छल्ले पर ध्यान केंद्रित करने के लिए चुना जाता है। ये गुण Sic को प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणालियों के अंदर कठोर और मांग की स्थिति के लिए एक उपयुक्त सामग्री बनाते हैं।

यह ध्यान देने योग्य है कि ध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले के डिजाइन और विनिर्देश विशिष्ट प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणाली और प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर भिन्न हो सकते हैं। वेटेक सेमीकंडक्टर इष्टतम नक़्क़ाशी प्रदर्शन और दीर्घायु सुनिश्चित करने के लिए रिंगों पर ध्यान केंद्रित करने के आकार, आयामों और सतह विशेषताओं का अनुकूलन करता है। ठोस SIC व्यापक रूप से वेफर वाहक, समझदार, डमी वेफर, गाइड रिंग्स, नक़्क़ाशी प्रक्रिया के लिए भागों, सीवीडी प्रक्रिया, आदि के लिए उपयोग किया जाता है।