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जैसा कि हम सभी जानते हैं,टैंटलम कार्बाइड (TaC)3880 डिग्री सेल्सियस तक का पिघलने बिंदु है, उच्च यांत्रिक शक्ति, कठोरता, थर्मल शॉक प्रतिरोध; उच्च तापमान पर अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन युक्त वाष्प के लिए अच्छी रासायनिक जड़ता और थर्मल स्थिरता।
एक सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटालम कार्बाइड कोटिंग
सीवीडी टीएसी कोटिंग, रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग, एक सब्सट्रेट (आमतौर पर ग्रेफाइट) पर उच्च घनत्व और टिकाऊ कोटिंग बनाने की एक प्रक्रिया है। इस विधि में उच्च तापमान पर सब्सट्रेट की सतह पर TaC जमा करना शामिल है, जिसके परिणामस्वरूप उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध के साथ एक कोटिंग प्राप्त होती है।
CVD TaC कोटिंग्स के मुख्य लाभों में शामिल हैं:
● अत्यधिक उच्च थर्मल स्थिरता: टैंटलम कार्बाइड कोटिंग 2200 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान का सामना कर सकती है।
● रासायनिक प्रतिरोध: सीवीडी टैसी कोटिंग हाइड्रोजन, अमोनिया और सिलिकॉन वाष्प जैसे कठोर रसायनों का प्रभावी ढंग से विरोध कर सकती है।
● मजबूत आसंजन: TAC कोटिंग ने बिना किसी डिलैमिनेशन के लंबे समय तक चलने वाली सुरक्षा सुनिश्चित की।
● उच्च शुद्धता: अशुद्धियों को कम करता है, जिससे यह अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है।
टैंटलम कार्बाइड कोटिंग के भौतिक गुण |
|
टीएसी कोटिंग घनत्व |
14.3 (जी/सेमी)) |
विशिष्ट उत्सर्जन |
0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक |
6.3*10-6/के |
कोटिंग कठोरता (एचके) |
2000 एचके |
प्रतिरोध |
1 × 10-5ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता |
<2500 ℃ |
ग्रेफाइट आकार बदलता है |
-10 ~ -20UM |
कोटिंग मोटाई |
≥20um ठेठ मान (35UM ± 10UM) |
ये कोटिंग्स विशेष रूप से उन वातावरणों के लिए उपयुक्त हैं जिनमें अर्धचालक विनिर्माण और उच्च तापमान वाली औद्योगिक प्रक्रियाओं जैसी चरम स्थितियों के लिए उच्च स्थायित्व और प्रतिरोध की आवश्यकता होती है।
औद्योगिक उत्पादन में, ग्रेफाइट (कार्बन-कार्बन मिश्रित) TaC कोटिंग के साथ लेपित सामग्री पारंपरिक उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट, pBN कोटिंग, SiC कोटिंग भागों आदि को प्रतिस्थापित करने की बहुत संभावना है। इसके अलावा, एयरोस्पेस के क्षेत्र में, TaC को उच्च तापमान एंटी-ऑक्सीडेशन के रूप में उपयोग करने की काफी संभावना है। और एंटी-एब्लेशन कोटिंग, और इसमें व्यापक अनुप्रयोग संभावनाएं हैं। हालाँकि, ग्रेफाइट की सतह पर सघन, एकसमान, गैर-परतदार TaC कोटिंग तैयार करने और औद्योगिक बड़े पैमाने पर उत्पादन को बढ़ावा देने के लिए अभी भी कई चुनौतियाँ हैं।
इस प्रक्रिया में, कोटिंग के सुरक्षा तंत्र की खोज करना, उत्पादन प्रक्रिया में नवाचार करना और शीर्ष विदेशी स्तर के साथ प्रतिस्पर्धा करना तीसरी पीढ़ी के लिए महत्वपूर्ण है।सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वृद्धि और एपिटेक्सी.
वेटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादों का एक पेशेवर चीनी निर्माता है, और हमारी टीएसी कोटिंग शुद्धता 5ppm से नीचे है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकती है। Veteksemi मुख्य CVD TAC लेपित उत्पादों में शामिल हैं सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल, सीवीडी टीएसी कोटिंग वेफर वाहक, सीवीडी टीएसी कोटिंग कैरियर, सीवीडी टैसी कोटिंग कवर, सीवीडी टीएसी कोटिंग रिंग। वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए विभिन्न कोटिंग उत्पादों के लिए उन्नत समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। वेटेक सेमीकंडक्टर ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की उम्मीद करता है।
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