टीएसी कोटिंग सब्सर

Vetek सेमीकंडक्टर के TAC लेपित सूसप्लेर औरटैक लेपितअँगूठीLPE सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टर में एक साथ काम करें:

● उच्च तापमान प्रतिरोध:टीएसी कोटिंगसूसोसेक्टर के पास उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध है, जो 1500 डिग्री सेल्सियस तक के चरम तापमान का सामना करने में सक्षम हैLPE रिएक्टर। यह सुनिश्चित करता है कि उपकरण और घटक लंबे समय तक संचालन के दौरान विकृत या क्षतिग्रस्त न हों।

● रासायनिक स्थिरता: टीएसी कोटिंग सूसपॉर्म संक्षारक सिलिकॉन कार्बाइड विकास के वातावरण में असाधारण रूप से अच्छा प्रदर्शन करता है, जो संक्षारक रासायनिक हमले से रिएक्टर घटकों को प्रभावी ढंग से बचा रहा है, जिससे उनके सेवा जीवन का विस्तार होता है।

● थर्मल स्थिरता: TAC कोटिंग सूसप्लेर में अच्छी थर्मल स्थिरता होती है, जो रिएक्टर में तापमान क्षेत्र की एकरूपता को सुनिश्चित करने के लिए सतह आकृति विज्ञान और खुरदरापन को बनाए रखता है, जो सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल परतों की उच्च गुणवत्ता वाले विकास के लिए फायदेमंद है।

● विरोधी संदूषण: चिकनी टीएसी लेपित सतह और बेहतर टीपीडी (तापमान क्रमादेशित desorption) प्रदर्शन रिएक्टर के अंदर कणों और अशुद्धियों के संचय और सोखना को कम कर सकता है, जो एपिटैक्सियल परतों के संदूषण को रोकता है।

सारांश में, TAC लेपित सूसप्लेर और रिंग LPE सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टर में एक महत्वपूर्ण सुरक्षात्मक भूमिका निभाते हैं, जो उपकरणों के दीर्घकालिक स्थिर संचालन और एपिटैक्सियल परतों की उच्च गुणवत्ता वाले विकास को सुनिश्चित करते हैं।