वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एसआईसी एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए टीएसी लेपित रिंग के एक प्रमुख निर्माता और प्रौद्योगिकी इनोवेटर हैं, जो एसआईसी एपिटैक्सियल रिएक्टरों के लिए उच्च-प्रदर्शन समाधान प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे पास टीएसी कोटिंग तकनीक में कई वर्षों का अनुभव है। टीएसी कोटेड रिंग में उच्च शुद्धता, उच्च स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, आदि की विशेषताएं हैं, और एपिटैक्सियल रिएक्टरों के कठोर कामकाजी वातावरण में दीर्घकालिक स्थिर प्रदर्शन प्रदान कर सकते हैं। हम आपके साथ एक दीर्घकालिक रणनीतिक साझेदारी स्थापित करने के लिए तत्पर हैं।
एसआईसी एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए टीएसी कोटेड रिंग का उत्पाद परिचय
VeTek सेमीकंडक्टर चीन में स्थित एक प्रसिद्ध कंपनी है, जो उच्च गुणवत्ता वाले TaC और SiC कोटिंग्स के साथ-साथ SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए उच्च शुद्धता वाले TaC कोटेड रिंग के निर्माण में अपनी विशेषज्ञता के लिए जानी जाती है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर बेहतर उत्पाद पेश करने में गर्व महसूस करते हैं। हम आपको हमसे संपर्क करने और हमारे द्वारा प्रदान किए जाने वाले असाधारण समाधानों की खोज करने के लिए हार्दिक रूप से आमंत्रित करते हैं।
SiC एपिटैक्सियल रिएक्टरों के लिए हमारे TaC लेपित रिंग एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। ये छल्ले हमारे हाफमून सेट का एक अभिन्न अंग हैं, जो सब्सट्रेट समर्थन, सटीक तापमान नियंत्रण, प्रभावी गर्मी इन्सुलेशन, कुशल वेंटिलेशन और विश्वसनीय सुरक्षा जैसे आवश्यक कार्य प्रदान करते हैं। सामंजस्यपूर्ण ढंग से काम करके, ये छल्ले प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर विकसित SiC एपीटैक्सियल परत की मोटाई, डोपिंग और दोष विशेषताओं पर सावधानीपूर्वक नियंत्रण सुनिश्चित करते हैं।
हमारे असाधारण टीएसी लेपित रिंगों के अलावा, वेटेक सेमीकंडक्टर संबंधित उत्पादों की एक विस्तृत श्रृंखला प्रदान करता है जो विशेष रूप से प्रतिक्रिया कक्षों के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारे उत्पाद लाइनअप में ऊपरी और निचले हाफमून, सुरक्षात्मक कवर, इन्सुलेशन कवर और प्रोसेस एयर डायवर्सन इंटरफेस शामिल हैं। इनमें से प्रत्येक घटक प्रदर्शन को बढ़ाने और अपने जीवनकाल का विस्तार करने के लिए सावधानीपूर्वक SIC या TAC कोटिंग से गुजरता है।
SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC कोटेड रिंग का उत्पाद पैरामीटर
TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व
14.3 (जी/सेमी))
विशिष्ट उत्सर्जन
0.3
थर्मल विस्तार गुणांक
6.3 × 10-6/K
कठोरता (एचके)
2000 एच.के
प्रतिरोध
1 × 10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है
-10~-20um
कोटिंग की मोटाई
≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)
वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप:
सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:
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