आरटीए/आरटीपी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर RTA/RTP प्रोसेस वेफर कैरियर प्रदान करता है, जो उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट और SiC कोटिंग से बना है5पीपीएम से कम अशुद्धता.

रैपिड एनीलिंग फर्नेस सामग्री एनीलिंग उपचार के लिए एक प्रकार का उपकरण हैआरटीए/आरटीपी प्रक्रिया, सामग्री की हीटिंग और शीतलन प्रक्रिया को नियंत्रित करके, यह सामग्री की क्रिस्टलीय संरचना में सुधार कर सकता है, आंतरिक तनाव को कम कर सकता है और सामग्री के यांत्रिक और भौतिक गुणों में सुधार कर सकता है। फास्ट एनीलिंग भट्ठी के कक्ष में मुख्य घटकों में से एक वेफर वाहक है/वेफर रिसीवरवेफर्स लोड करने के लिए. प्रक्रिया कक्ष में वेफर हीटर के रूप में, यहवाहक प्लेटतीव्र तापन और तापमान समकारी उपचार में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।

सिलिकॉन कार्बाइड, एल्यूमीनियम नाइट्राइड और ग्रेफाइट सिलिकॉन कार्बाइड तेजी से एनीलिंग भट्ठी के लिए उपलब्ध सामग्री हैं, और बाजार में मुख्य पसंद ग्रेफाइट और हैसिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग सामग्री के रूप में.

निम्नलिखित हैंसुविधाएँ और उत्कृष्ट प्रदर्शनVeTek सेमीकंडक्टर SiC लेपित RTA RTP प्रक्रिया वेफर वाहक का:

-उच्च तापमान स्थिरता: SiC कोटिंग उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता प्रदर्शित करती है, जो अत्यधिक तापमान पर भी संरचना की अखंडता और यांत्रिक शक्ति सुनिश्चित करती है। यह क्षमता इसे गर्मी उपचार प्रक्रियाओं की मांग के लिए अत्यधिक उपयुक्त बनाती है।

-उत्कृष्ट तापीय चालकता: SiC कोटिंग परत में असाधारण तापीय चालकता होती है, जो तीव्र और समान ताप वितरण को सक्षम करती है। इससे तेज ताप प्रसंस्करण होता है, जिससे तापन समय काफी कम हो जाता है और समग्र उत्पादकता में वृद्धि होती है। गर्मी हस्तांतरण दक्षता में सुधार करके, यह उच्च उत्पादन दक्षता और बेहतर उत्पाद गुणवत्ता में योगदान देता है।

-रासायनिक जड़ता: सिलिकॉन कार्बाइड की अंतर्निहित रासायनिक जड़ता विभिन्न रसायनों से संक्षारण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है। हमारा कार्बन-लेपित सिलिकॉन कार्बाइड वेफर वाहक वेफर्स को दूषित या क्षतिग्रस्त किए बिना विभिन्न रासायनिक वातावरणों में विश्वसनीय रूप से काम कर सकता है।

-सतह की समतलता: सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड परत अत्यधिक सपाट और चिकनी सतह सुनिश्चित करती है, जो थर्मल प्रसंस्करण के दौरान वेफर्स के साथ स्थिर संपर्क की गारंटी देती है। यह अतिरिक्त सतह दोषों की शुरूआत को समाप्त करता है, जिससे इष्टतम प्रसंस्करण परिणाम सुनिश्चित होते हैं।

-हल्का और उच्च शक्ति: हमारा SiC लेपित RTP वेफर कैरियर हल्का है फिर भी इसमें उल्लेखनीय ताकत है। यह विशेषता वेफर्स की सुविधाजनक और विश्वसनीय लोडिंग और अनलोडिंग की सुविधा प्रदान करती है।