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वांग्डा रोड, ज़ियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिंघुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
की मुख्य सामग्रीPECVD ग्रेफाइट बोट(प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव ग्रेफाइट बोट) उच्च शुद्धता से बना हैआइसोट्रोपिक ग्रेफाइट सामग्री(शुद्धता आमतौर पर .999.999%है), और विशेष प्रक्रियाओं (जैसे रासायनिक वाष्प जमाव सीवीडी या सतह कोटिंग) द्वारा संशोधित किया जाता है। उच्च शुद्धता ग्रेफाइट का उपयोग इसकी उत्कृष्ट विद्युत चालकता और उच्च तापीय चालकता (80 ~ 150 w/m · k) के कारण PECVD सिस्टम में व्यापक रूप से किया जाता है। यहउच्च शुद्धता ग्रेफाइट सामग्रीउच्च तापमान वातावरण में अच्छी संरचनात्मक स्थिरता और रासायनिक स्थिरता बनाए रख सकते हैं, और प्रतिक्रियाशील गैसों और प्लाज्मा से जंग का विरोध कर सकते हैं।
PECVD ग्रेफाइट नावों के भौतिक गुणों में शामिल हैं:
● इलेक्ट्रिकल कंडक्टीविटी: आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट में उत्कृष्ट विद्युत चालकता है, जो इसे प्रभावी ढंग से विद्युत ऊर्जा का प्रबंधन करने और PECVD प्रक्रिया के दौरान प्लाज्मा की पीढ़ी और रखरखाव को बढ़ावा देने में सक्षम बनाता है।
● ऊष्मीय चालकता: ग्रेफाइट की उच्च तापीय चालकता (लगभग 80 ~ 150 w/m · k) PECVD प्रक्रिया के दौरान एक स्थिर तापमान वातावरण बनाए रखने और पतली फिल्मों के समान बयान सुनिश्चित करने में मदद करती है।
● घनत्व: वाणिज्यिक पॉलीक्रिस्टलाइन ग्रेफाइट का घनत्व 1.30 ग्राम/सेमी to से 1.88 ग्राम/सेमी तक होता है। घनत्व जितना अधिक होगा, बेहतर भौतिक और यांत्रिक गुण, जो उत्पाद के सेवा जीवन में सुधार कर सकते हैं।
साधारण ग्रेफाइट नावों की तुलना में, PECVD ग्रेफाइट नावों के निम्नलिखित फायदे हैं:
DIMENSIONS
PECVD ग्रेफाइट बोट
साधारण ग्रेफाइट बोट
शुद्धता और घनत्व
≥99.99%, पोरसिटी <5%
कम शुद्धता (95 ~ 99%), उच्च छिद्र (> 10%)
लागत
उच्च प्रारंभिक लागत, लेकिन कम व्यापक रखरखाव लागत
कम प्रारंभिक लागत, लेकिन लगातार प्रतिस्थापन कुल लागत में वृद्धि करता है
प्रदूषण नियंत्रण
अशुद्धता सामग्री <1ppm, कम कण शेडिंग दर
उच्च धातु अशुद्धियाँ, कण संदूषण का उच्च जोखिम
संक्षारण प्रतिरोध
प्लाज्मा/रासायनिक संक्षारण के खिलाफ कोटिंग संरक्षण
आसानी से प्रतिक्रियाशील गैसों द्वारा संचालित किया जाता है (जैसे कि CL₂, O,)
प्रक्रिया संगतता
कम तापमान, उच्च-ऊर्जा प्लाज्मा वातावरण के लिए अनुकूलित
केवल उच्च तापमान सीवीडी या प्रसार प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है
जीवनकाल
> 1000 प्रक्रिया चक्र (कोटिंग विफल नहीं)
< 500 चक्रों के बाद पाउडरिंग और क्रैकिंग
जैसा कि हम सभी जानते हैं, Veteksemicon एक प्रमुख निर्माता और अर्धचालक कोटिंग उत्पादों के आपूर्तिकर्ता हैं औरग्रेफाइट उत्पादचाइना में। हमाराPECVD ग्रेफाइट बोट्समुख्य रूप से अर्धचालक और फोटोवोल्टिक उद्योगों में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से PECVD और CVD प्रक्रियाओं में।
ग्रेफाइट नावों का उपयोग आमतौर पर उच्च तापमान और प्लाज्मा वातावरण में इन सामग्रियों की सुरक्षित हैंडलिंग और परिवहन सुनिश्चित करने के लिए सिलिकॉन वेफर्स या अन्य सामग्रियों को ले जाने के लिए वाहक के रूप में किया जाता है। उदाहरण के लिए, सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग प्रक्रिया में, Veteksemicon की PECVD ग्रेफाइट नावों को प्लाज्मा एन्हांस्ड रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। ग्रेफाइट बोट सिलिकॉन नाइट्राइड (SIN and) पास होने की परतें और कम ढांकता हुआ निरंतर (कम-के) फिल्मों को जमा करने की भूमिका निभाता है।
फोटोवोल्टिक क्षेत्र में, PECVD ग्रेफाइट नौकाओं का उपयोग सिलिकॉन-आधारित पतली-फिल्म सौर कोशिकाओं (जैसे कि अनाकार सिलिकॉन ए-सी: एच) और पर्क सेल बैक पासेशन परतों को तैयार करने के लिए किया जाता है। Veteksemicon की PECVD ग्रेफाइट बोट सिलिकॉन वेफर्स को प्रभावी ढंग से रिक्ति करके और एक समान कोटिंग बयान को प्राप्त करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज को प्रेरित करके कोटिंग प्रक्रिया का अनुकूलन करता है।
इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि Veteksemicon अनुकूलित उत्पाद और तकनीकी सेवाएं प्रदान कर सकता है, और आपकी वास्तविक प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न विनिर्देशों के ग्रेफाइट बोट उत्पादों को डिजाइन और निर्माण कर सकता है। वेटेकिकॉन को चुनने का अर्थ है अर्धचालक और फोटोवोल्टिक उद्योगों में मजबूत ताकत के साथ एक उद्योग के नेता को चुनना। हम ईमानदारी से आपके दीर्घकालिक साथी बनने के लिए तत्पर हैं।
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