Aixtron G10 सॉलिड SiC ग्रहीय रिएक्टर घटक

1. मुख्य विशेषताएं एवं लाभ

• बेहतर घिसाव और संक्षारण प्रतिरोध के लिए पूरी तरह से सघन, बाइंडर-मुक्त ठोस SiC संरचना

• 1500 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के तापमान पर उत्कृष्ट तापीय चालकता और थर्मल शॉक प्रतिरोध

• अल्ट्रा-लो कण उत्पादन और उच्च शुद्धता, संदूषण जोखिम को कम करना

• SiC एपिटैक्सी में प्रयुक्त प्रक्रिया गैसों के विरुद्ध उत्कृष्ट रासायनिक जड़ता

• बार-बार उच्च तापमान पर साइकिल चलाने के तहत लंबी सेवा जीवन

• विश्वसनीय फिट और प्रक्रिया स्थिरता के लिए सटीक आयामी सहनशीलता के लिए सटीक मशीनीकृत

 2. विशिष्ट अनुप्रयोग

इन सॉलिड SiC एक्सेसरीज़ का उपयोग Aixtron G10 रिएक्टर के प्रमुख कार्यात्मक क्षेत्रों में किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:

• कवर प्लेटें और चयनित कवर तत्व

• सुरक्षात्मक छल्ले और उच्च पहनने वाले घटक

• सटीक पिन, वॉशर, और छोटे संरचनात्मक हिस्से

• तीव्र गैस प्रवाह या थर्मल लोड के संपर्क में आने वाले अन्य कस्टम उच्च शुद्धता वाले इंसर्ट

वे पावर MOSFETs, डायोड और संबंधित वाइड-बैंडगैप उपकरणों के लिए उच्च मात्रा वाले SiC एपीटैक्सियल विकास के दौरान स्थिर तापमान वितरण, समान गैस वितरण और कम दोष घनत्व का समर्थन करते हैं।

3. Aixtron G10 के लिए VeTek Solid SiC क्यों चुनें?

सेमीकंडक्टर-ग्रेड सामग्रियों के एक विशेष निर्माता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर प्रदान करता है:

• Aixtron G10 सिस्टम के लिए तैयार किए गए उच्च शुद्धता वाले ठोस SiC घटक, उदाहरण के लिए: कवर रिंग, आंतरिक/बाहरी कवर, पुलिंग डाउन/सपोर्ट प्लेट, सैटेलाइट डिस्क, ससेप्टर

• सख्त शुद्धता नियंत्रण और सटीक सीएनसी मशीनिंग

• संपूर्ण थर्मल-फील्ड कवरेज के लिए सीवीडी SiC-लेपित ग्रेफाइट और TaC-लेपित भागों सहित पूरक समाधान

• कस्टम डिज़ाइन विशिष्ट प्रक्रिया स्थितियों और रिएक्टर कॉन्फ़िगरेशन से मेल खाते हैं

हमारे सॉलिड SiC सहायक उपकरण ग्राहकों को Aixtron G10 प्लेटफॉर्म के उत्पादकता लाभों को अधिकतम करने में मदद करते हैं - उच्च वेफर आउटपुट, उत्कृष्ट मोटाई और डोपिंग एकरूपता, और स्वामित्व की प्रतिस्पर्धी लागत - जबकि घटक जीवनकाल का विस्तार और कण-संबंधी उपज हानि को कम करते हैं।