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LPE PE3061S 6 '' WAFERS
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LPE PE3061S 6 '' WAFERS

LPE PE3061S 6 '' Wafers के लिए SIC कोटेड पैनकेक सूस्रेसर 6 '' वेफर्स एपिटैक्सियल वेफर प्रोसेसिंग में उपयोग किए जाने वाले मुख्य घटकों में से एक है। वेटेक सेमीकंडक्टर वर्तमान में चीन में LPE PE3061S 6 '' वेफर्स के लिए SIC लेपित पैनकेक सूसोसेप्टर के एक प्रमुख निर्माता और आपूर्तिकर्ता हैं। एसआईसी कोटेड पैनकेक सूसोसेप्टर यह प्रदान करता है कि उच्च संक्षारण प्रतिरोध, अच्छी तापीय चालकता और अच्छी एकरूपता जैसी उत्कृष्ट विशेषताएं हैं। आपकी जांच के लिए आगे देख रहे हैं।

पेशेवर निर्माता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर आपको LPE PE3061S 6 '' वेफर्स के लिए उच्च गुणवत्ता वाले SIC लेपित पैनकेक सूसोसेक प्रदान करना चाहते हैं।

LPE PE3061S 6" वेफर्स के लिए VeTeK सेमीकंडक्टर SiC कोटेड पैनकेक ससेप्टर सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण उपकरण है।


LPE PE3061S 6 के लिए SIC लेपित पैनकेक सूसप्लेर "WAFERS उत्पाद सुविधाएँ:

उच्च तापमान स्थिरता: SIC उच्च तापमान वाले वातावरण में इसकी संरचना और प्रदर्शन को बनाए रखते हुए, उच्च तापमान स्थिरता को प्रदर्शित करता है।

उत्कृष्ट तापीय चालकता: SiC में असाधारण तापीय चालकता है, जो तेज और समान ताप के लिए तीव्र और समान ताप हस्तांतरण को सक्षम बनाता है।

संक्षारण प्रतिरोध: SiC में उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता होती है, जो विभिन्न ताप वातावरणों में संक्षारण और ऑक्सीकरण का प्रतिरोध करती है।

एकसमान हीटिंग वितरण: SIC- कोटेड वेफर वाहक एक समान हीटिंग वितरण प्रदान करता है, जो हीटिंग के दौरान वेफर की सतह पर भी तापमान सुनिश्चित करता है।

सेमीकंडक्टर उत्पादन के लिए उपयुक्त: सी एपिटैक्सी वेफर कैरियर का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से सी एपिटैक्सी विकास और अन्य उच्च तापमान हीटिंग प्रक्रियाओं के लिए।


उत्पाद लाभ:

बेहतर उत्पादन दक्षता: एसआईसी-लेपित पैनकेक सुसज्जित करने वाला तेज और समान हीटिंग को सक्षम करता है, हीटिंग समय को कम करता है और उत्पादन दक्षता बढ़ाता है।

सुनिश्चित उत्पाद की गुणवत्ता: समान हीटिंग वितरण वेफर प्रसंस्करण के दौरान स्थिरता सुनिश्चित करता है, जिससे उत्पाद की गुणवत्ता में सुधार होता है।

विस्तारित उपकरण जीवनकाल: SIC सामग्री उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता प्रदान करती है, जो पैनकेक सूसोसेक्शन के एक लंबे जीवनकाल में योगदान करती है।

अनुकूलित समाधान: एसआईसी-लेपित सूसोसेप्टर, एसआई एपिटैक्सी वेफर वाहक को ग्राहकों की आवश्यकताओं के आधार पर विभिन्न आकारों और विनिर्देशों के अनुरूप बनाया जा सकता है।


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सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व 3.21 ग्राम/सेमी।
कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500g लोड)
अनाज आकार 2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
ताप की गुंजाइश 640 जे·किग्रा-1·के-1
उच्चता तापमान 2700 ℃
आनमनी सार्मथ्य 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक 430 GPA 4pt बेंड, 1300 ℃
ऊष्मीय चालकता 300W · एम-1·के-1
थर्मल विस्तार 4.5 × 10-6K-1


डीलर सेमीकंडक्टर

VeTek Semiconductor Production Shop


सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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