वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के क्षेत्र में आपका अभिनव भागीदार है। सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री संयोजन, घटक निर्माण क्षमताओं और एप्लिकेशन इंजीनियरिंग सेवाओं के हमारे व्यापक पोर्टफोलियो के साथ, हम महत्वपूर्ण चुनौतियों से निपटने में आपकी मदद कर सकते हैं। इंजीनियरिंग तकनीकी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक को उनके असाधारण सामग्री प्रदर्शन के कारण अर्धचालक उद्योग में व्यापक रूप से लागू किया जाता है। वीटेक सेमीकंडक्टर के अल्ट्रा-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का उपयोग सेमीकंडक्टर निर्माण और प्रसंस्करण के पूरे चक्र में अक्सर किया जाता है।
प्रसार एवं एलपीसीवीडी प्रसंस्करण
वीटेक सेमीकंडक्टर विशेष रूप से बैच प्रसार और एलपीसीवीडी आवश्यकताओं के लिए डिज़ाइन किए गए इंजीनियर सिरेमिक घटक प्रदान करता है, जिनमें शामिल हैं:
● बाफ़ल और धारक
● इंजेक्टर
● लाइनर और प्रोसेस ट्यूब
● सिलिकॉन कार्बाइड ब्रैकट पैडल
● वेफ़र नावें और कुरसी
नक़्क़ाशी प्रक्रिया घटक
प्लाज़्मा ईच प्रसंस्करण की कठोरता के लिए इंजीनियर किए गए उच्च शुद्धता वाले घटकों के साथ संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करें, जिनमें शामिल हैं:
● फोकस बजता है
● नोजल
● ढालें
● शावरहेड्स
● खिड़कियाँ / ढक्कन
● अन्य कस्टम घटक
तीव्र तापीय प्रसंस्करण और एपीटैक्सियल प्रक्रिया घटक
वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग में उच्च तापमान थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए तैयार उन्नत सामग्री घटक प्रदान करता है। इन अनुप्रयोगों में आरटीपी, एपी प्रक्रियाएं, प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग शामिल हैं। हमारे तकनीकी सिरेमिक को विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन प्रदान करते हुए, थर्मल झटके झेलने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वीटेक सेमीकंडक्टर के घटकों के साथ, सेमीकंडक्टर निर्माता कुशल और उच्च गुणवत्ता वाली थर्मल प्रसंस्करण प्राप्त कर सकते हैं, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन की समग्र सफलता में योगदान देता है।
● डिफ्यूज़र
● इंसुलेटर
● संग्राहक
● अन्य कस्टम थर्मल घटक
प्रमुख विशेषताऐं
● अति उच्च शुद्धता: SiC सामग्री >99.96%, मुक्त सिलिकॉन <0.1%, धातु संदूषण को न्यूनतम करना।
● उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रदर्शन: 1600 डिग्री सेल्सियस (ऑक्सीकरण) / 1700 डिग्री सेल्सियस (कम करने) तक काम करने का तापमान।
● तीव्र थर्मल चक्रों के तहत विश्वसनीय प्रदर्शन के लिए बेहतर थर्मल शॉक प्रतिरोध और कम थर्मल विस्तार।
● उच्च यांत्रिक शक्ति (संपीड़न>600 एमपीए) और प्रक्रिया गैसों और प्लाज़्मा के खिलाफ रासायनिक जड़ता।
● प्रसार/एलपीसीवीडी, ईच, आरटीपी और एपी प्रक्रियाओं के लिए व्यापक उत्पाद श्रृंखला - वेफर नौकाओं से लेकर फोकस रिंग और कस्टम पार्ट्स तक।
● लंबी सेवा जीवन और कम कण उत्पादन, कम रखरखाव आवृत्ति और उपज में सुधार में मदद करता है।
उत्पाद विशिष्टताएँ
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण
| संपत्ति |
विशिष्ट मूल्य |
| कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) |
1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
| SiC/SiC सामग्री |
> 99.96% |
| सी/फ्री सी सामग्री |
<0.1% |
| थोक घनत्व |
2.60-2.70 ग्राम/सेमी³ |
| स्पष्ट सरंध्रता |
<16% |
| संपीड़न ताकत |
> 600 एमपीए |
| ठंडी झुकने की ताकत |
80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस) |
| गर्म झुकने की शक्ति |
90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
| थर्मल विस्तार @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/डिग्री सेल्सियस |
| तापीय चालकता @1200°C |
23 डब्लू/एम·के |
| लोचदार मापांक |
240 जीपीए |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध |
बहुत ही अच्छा |
अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं की विविध आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, VeTek लक्षित सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उत्पाद प्रदान करता है। निम्नलिखित तालिका उन्हें प्रमुख अनुप्रयोग क्षेत्रों के आधार पर वर्गीकृत करती है:
| आवेदन क्षेत्र |
विशिष्ट उत्पाद |
आवेदन विवरण |
| प्रसार एवं एलपीसीवीडी |
SiC वेफ़र नावें, ब्रैकट चप्पू, प्रक्रिया ट्यूब, लाइनर, इंजेक्टर,बाफ़ल और धारक
|
बैच प्रसार और एलपीसीवीडी भट्टियों के लिए उच्च शुद्धता वाले SiC घटक; 1600-1700°C तक उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध, कम संदूषण। |
| प्लाज्मा खोदने की प्रक्रिया |
फोकस बजता है, नलिका, ढालें, शॉवरहेड्स, खिड़कियाँ/ढक्कन, कस्टम ईच घटक |
प्लाज़्मा ईच वातावरण के लिए इंजीनियर किए गए उच्च शुद्धता वाले SiC हिस्से; कण उत्पादन और अनिर्धारित रखरखाव को कम करें, बेहतर प्लाज्मा प्रतिरोध। |
| आरटीपी/एपिटैक्सियल/थर्मल प्रोसेसिंग |
संग्राहक, डिफ्यूज़र, इंसुलेटर, कस्टम थर्मल घटक |
आरटीपी, एपि, प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग के लिए घटक; थर्मल झटके झेलने और लगातार उच्च तापमान प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया। |
| SiC क्रिस्टल ग्रोथ (पीवीटी) |
उच्च शुद्धता SiC पाउडर,7N CVD SiC कच्चा माल, बीज बंधन संबंधी भाग |
अल्ट्रा-शुद्ध SiC स्रोत सामग्री और PVT SiC एकल क्रिस्टल विकास के लिए सहायक घटक, उपज और क्रिस्टल गुणवत्ता में सुधार। |
| वेफर हैंडलिंग एवं कैरियर |
ऊर्ध्वाधर/क्षैतिज SiC वेफर नावें, सिलिकॉन कैसेट नावें, कुरसी, सील के छल्ले
|
सटीक वाहक और सीलिंग घटक जो उच्च तापमान प्रसंस्करण के दौरान थर्मल एकरूपता, यांत्रिक स्थिरता और न्यूनतम संदूषण प्रदान करते हैं। |
अधिक विस्तृत प्रक्रिया मिलान समाधानों के लिए, कृपया देखेंऑक्सीकरण और प्रसार भट्ठीसंबंधित पृष्ठ.
चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या आप चीन में बने उन्नत और टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक खरीदना चाहते हों, आप ऐसा कर सकते हैंहमें एक संदेश छोड़ें.
