सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के क्षेत्र में आपका अभिनव भागीदार है। सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री संयोजन, घटक निर्माण क्षमताओं और एप्लिकेशन इंजीनियरिंग सेवाओं के हमारे व्यापक पोर्टफोलियो के साथ, हम महत्वपूर्ण चुनौतियों से निपटने में आपकी मदद कर सकते हैं। इंजीनियरिंग तकनीकी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक को उनके असाधारण सामग्री प्रदर्शन के कारण अर्धचालक उद्योग में व्यापक रूप से लागू किया जाता है। VeTek सेमीकंडक्टर के अल्ट्रा-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का उपयोग सेमीकंडक्टर निर्माण और प्रसंस्करण के पूरे चक्र में अक्सर किया जाता है।

प्रसार एवं एलपीसीवीडी प्रसंस्करण

वीटेक सेमीकंडक्टर विशेष रूप से बैच प्रसार और एलपीसीवीडी आवश्यकताओं के लिए डिज़ाइन किए गए इंजीनियर सिरेमिक घटक प्रदान करता है, जिनमें शामिल हैं:

• बाफ़ल और धारक
• इंजेक्टर
• लाइनर और प्रोसेस ट्यूब
• सिलिकॉन कार्बाइड ब्रैकट पैडल
• वेफर नावें और पैडस्टल

SiC कैंटिलीवर पैडल SiC प्रक्रिया ट्यूब सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूब SiC ऊर्ध्वाधर वेफर नाव SiC क्षैतिज वेफर नाव SiC क्षैतिज वेफर नाव को मापता है SiC LPCVD वेफर नाव SiC क्षैतिज प्लेट नाव SiC सिरेमिक सील की अंगूठी

नक़्क़ाशी प्रक्रिया घटक

प्लाज़्मा ईच प्रसंस्करण की कठोरता के लिए इंजीनियर किए गए उच्च शुद्धता वाले घटकों के साथ संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करें, जिनमें शामिल हैं:

फोकस बजता है

नलिका

शील्ड्स

शावरहेड्स

खिड़कियाँ/ढक्कन

अन्य कस्टम घटक

तीव्र तापीय प्रसंस्करण और एपीटैक्सियल प्रक्रिया घटक

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग में उच्च तापमान थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए तैयार उन्नत सामग्री घटक प्रदान करता है। इन अनुप्रयोगों में आरटीपी, एपी प्रक्रियाएं, प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग शामिल हैं। हमारे तकनीकी सिरेमिक को विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन प्रदान करते हुए, थर्मल झटके का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वीटेक सेमीकंडक्टर के घटकों के साथ, सेमीकंडक्टर निर्माता कुशल और उच्च गुणवत्ता वाली थर्मल प्रसंस्करण प्राप्त कर सकते हैं, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन की समग्र सफलता में योगदान देता है।

• डिफ्यूज़र

• इन्सुलेटर

• संग्राहक

• अन्य कस्टम थर्मल घटक

पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण
संपत्ति	विशिष्ट मूल्य
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस)	1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण)
SiC/SiC सामग्री	> 99.96%
सी/फ्री सी सामग्री	<0.1%
थोक घनत्व	2.60-2.70 ग्राम/सेमी3
स्पष्ट सरंध्रता	<16%
संपीड़न ताकत	> 600 एमपीए
ठंडी झुकने की ताकत	80-90 एमपीए (20°C)
गर्म झुकने की शक्ति	90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस)
थर्मल विस्तार @1500°C	4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस
तापीय चालकता @1200°C	23 डब्ल्यू/एम•के
लोचदार मापांक	240 जीपीए
थर्मल शॉक प्रतिरोध	बहुत ही अच्छा

7N उच्च शुद्धता CVD SiC कच्चा माल

प्रारंभिक स्रोत सामग्री की गुणवत्ता SiC एकल क्रिस्टल के उत्पादन में वेफर उपज को सीमित करने वाला प्राथमिक कारक है। VETEK का 7N उच्च-शुद्धता CVD SiC बल्क पारंपरिक पाउडर के लिए एक उच्च-घनत्व पॉलीक्रिस्टलाइन विकल्प प्रदान करता है, जिसे विशेष रूप से भौतिक वाष्प परिवहन (पीवीटी) के लिए इंजीनियर किया गया है। बल्क सीवीडी फॉर्म का उपयोग करके, हम सामान्य विकास दोषों को खत्म करते हैं और फर्नेस थ्रूपुट में उल्लेखनीय सुधार करते हैं। आपकी पूछताछ की प्रतीक्षा में हूं.

सिलिकॉन कार्बाइड बीज क्रिस्टल बॉन्डिंग वैक्यूम हॉट-प्रेस फर्नेस

SiC बीज बॉन्डिंग तकनीक क्रिस्टल विकास को प्रभावित करने वाली प्रमुख प्रक्रियाओं में से एक है। VETEK ने इस प्रक्रिया की विशेषताओं के आधार पर बीज बॉन्डिंग के लिए एक विशेष वैक्यूम हॉट-प्रेस भट्टी विकसित की है। भट्ठी बीज बंधन प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न विभिन्न दोषों को प्रभावी ढंग से कम कर सकती है, जिससे क्रिस्टल पिंड की उपज और अंतिम गुणवत्ता में सुधार होता है।

सिलिकॉन कैसेट नाव

वेटेक्सेमिकॉन से सिलिकॉन कैसेट बोट एक सटीक-इंजीनियर्ड वेफर वाहक है जो विशेष रूप से ऑक्सीकरण, प्रसार, ड्राइव-इन और एनीलिंग सहित उच्च तापमान अर्धचालक भट्टी अनुप्रयोगों के लिए विकसित किया गया है। अल्ट्रा-हाई-शुद्धता वाले सिलिकॉन से निर्मित और उन्नत संदूषण-नियंत्रण मानकों के अनुरूप, यह एक थर्मल स्थिर, रासायनिक रूप से निष्क्रिय मंच प्रदान करता है जो सिलिकॉन वेफर्स के गुणों से निकटता से मेल खाता है। यह संरेखण थर्मल तनाव को कम करता है, फिसलन और दोष गठन को कम करता है, और पूरे बैच में असाधारण रूप से समान गर्मी वितरण सुनिश्चित करता है

वेफर प्रसंस्करण के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल

वेटेक्सेमिकॉन के सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल को सेमीकंडक्टर निर्माण में उन्नत वेफर प्रसंस्करण के लिए इंजीनियर किया गया है। उच्च शुद्धता वाले SiC से बना, यह उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, बेहतर यांत्रिक शक्ति और उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करता है। ये सुविधाएँ सटीक वेफर हैंडलिंग, विस्तारित सेवा जीवन और एमओसीवीडी, एपिटेक्सी और प्रसार जैसी प्रक्रियाओं में विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करती हैं। परामर्श के लिए आपका स्वागत है.

सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म

हमारे सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) रोबोटिक आर्म को उन्नत अर्धचालक विनिर्माण में उच्च-प्रदर्शन वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड से बना, यह रोबोटिक आर्म उच्च तापमान, प्लाज्मा संक्षारण और रासायनिक हमले के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करता है, जो क्लीनरूम वातावरण की मांग में विश्वसनीय संचालन सुनिश्चित करता है। इसकी असाधारण यांत्रिक शक्ति और आयामी स्थिरता संदूषण जोखिमों को कम करते हुए सटीक वेफर हैंडलिंग को सक्षम करती है, जिससे यह MOCVD, एपिटैक्सी, आयन आरोपण और अन्य महत्वपूर्ण वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श विकल्प बन जाता है। हम आपकी पूछताछ का स्वागत करते हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड सिस वेफर बोट

Veteksemicon sic वेफर नौकाओं का उपयोग अर्धचालक विनिर्माण में महत्वपूर्ण उच्च तापमान प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जो सिलिकॉन-आधारित एकीकृत सर्किट के लिए ऑक्सीकरण, प्रसार और एनीलिंग प्रक्रियाओं के लिए विश्वसनीय वाहक के रूप में सेवा करता है। वे तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर सेक्टर में भी उत्कृष्ट प्रदर्शन करते हैं, जो कि SIC और GAN बिजली उपकरणों के लिए एपिटैक्सियल ग्रोथ (EPI) और मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वाष्प डिपोजिशन (MOCVD) जैसी प्रक्रियाओं की मांग के लिए पूरी तरह से अनुकूल हैं। वे फोटोवोल्टिक उद्योग में उच्च दक्षता वाले सौर कोशिकाओं के उच्च तापमान निर्माण का भी समर्थन करते हैं। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।