सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के क्षेत्र में आपका अभिनव भागीदार है। सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री संयोजन, घटक निर्माण क्षमताओं और एप्लिकेशन इंजीनियरिंग सेवाओं के हमारे व्यापक पोर्टफोलियो के साथ, हम महत्वपूर्ण चुनौतियों से निपटने में आपकी मदद कर सकते हैं। इंजीनियरिंग तकनीकी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक को उनके असाधारण सामग्री प्रदर्शन के कारण अर्धचालक उद्योग में व्यापक रूप से लागू किया जाता है। VeTek सेमीकंडक्टर के अल्ट्रा-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का उपयोग सेमीकंडक्टर निर्माण और प्रसंस्करण के पूरे चक्र में अक्सर किया जाता है।

प्रसार एवं एलपीसीवीडी प्रसंस्करण

वीटेक सेमीकंडक्टर विशेष रूप से बैच प्रसार और एलपीसीवीडी आवश्यकताओं के लिए डिज़ाइन किए गए इंजीनियर सिरेमिक घटक प्रदान करता है, जिनमें शामिल हैं:

• बाफ़ल और धारक
• इंजेक्टर
• लाइनर और प्रोसेस ट्यूब
• सिलिकॉन कार्बाइड ब्रैकट पैडल
• वेफर नावें और पैडस्टल

SiC कैंटिलीवर पैडल SiC प्रक्रिया ट्यूब सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूब SiC ऊर्ध्वाधर वेफर नाव SiC क्षैतिज वेफर नाव SiC क्षैतिज वेफर नाव को मापता है SiC LPCVD वेफर नाव SiC क्षैतिज प्लेट नाव SiC सिरेमिक सील की अंगूठी

नक़्क़ाशी प्रक्रिया घटक

प्लाज़्मा ईच प्रसंस्करण की कठोरता के लिए इंजीनियर किए गए उच्च शुद्धता वाले घटकों के साथ संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करें, जिनमें शामिल हैं:

फोकस बजता है

नलिका

शील्ड्स

शावरहेड्स

खिड़कियाँ/ढक्कन

अन्य कस्टम घटक

तीव्र तापीय प्रसंस्करण और एपीटैक्सियल प्रक्रिया घटक

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग में उच्च तापमान थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए तैयार उन्नत सामग्री घटक प्रदान करता है। इन अनुप्रयोगों में आरटीपी, एपी प्रक्रियाएं, प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग शामिल हैं। हमारे तकनीकी सिरेमिक को विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन प्रदान करते हुए, थर्मल झटके का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वीटेक सेमीकंडक्टर के घटकों के साथ, सेमीकंडक्टर निर्माता कुशल और उच्च गुणवत्ता वाली थर्मल प्रसंस्करण प्राप्त कर सकते हैं, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन की समग्र सफलता में योगदान देता है।

• डिफ्यूज़र

• इन्सुलेटर

• संग्राहक

• अन्य कस्टम थर्मल घटक

पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण
संपत्ति	विशिष्ट मूल्य
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस)	1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण)
SiC/SiC सामग्री	> 99.96%
सी/फ्री सी सामग्री	<0.1%
थोक घनत्व	2.60-2.70 ग्राम/सेमी3
स्पष्ट सरंध्रता	<16%
संपीड़न ताकत	> 600 एमपीए
ठंडी झुकने की ताकत	80-90 एमपीए (20°C)
गर्म झुकने की शक्ति	90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस)
थर्मल विस्तार @1500°C	4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस
तापीय चालकता @1200°C	23 डब्ल्यू/एम•के
लोचदार मापांक	240 जीपीए
थर्मल शॉक प्रतिरोध	बहुत ही अच्छा

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सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म

हमारे सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) रोबोटिक आर्म को उन्नत अर्धचालक विनिर्माण में उच्च-प्रदर्शन वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड से बना, यह रोबोटिक आर्म उच्च तापमान, प्लाज्मा संक्षारण और रासायनिक हमले के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करता है, जो क्लीनरूम वातावरण की मांग में विश्वसनीय संचालन सुनिश्चित करता है। इसकी असाधारण यांत्रिक शक्ति और आयामी स्थिरता संदूषण जोखिमों को कम करते हुए सटीक वेफर हैंडलिंग को सक्षम करती है, जिससे यह MOCVD, एपिटैक्सी, आयन आरोपण और अन्य महत्वपूर्ण वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श विकल्प बन जाता है। हम आपकी पूछताछ का स्वागत करते हैं।

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सिलिकॉन कार्बाइड सिस वेफर बोट

Veteksemicon sic वेफर नौकाओं का उपयोग अर्धचालक विनिर्माण में महत्वपूर्ण उच्च तापमान प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जो सिलिकॉन-आधारित एकीकृत सर्किट के लिए ऑक्सीकरण, प्रसार और एनीलिंग प्रक्रियाओं के लिए विश्वसनीय वाहक के रूप में सेवा करता है। वे तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर सेक्टर में भी उत्कृष्ट प्रदर्शन करते हैं, जो कि SIC और GAN बिजली उपकरणों के लिए एपिटैक्सियल ग्रोथ (EPI) और मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वाष्प डिपोजिशन (MOCVD) जैसी प्रक्रियाओं की मांग के लिए पूरी तरह से अनुकूल हैं। वे फोटोवोल्टिक उद्योग में उच्च दक्षता वाले सौर कोशिकाओं के उच्च तापमान निर्माण का भी समर्थन करते हैं। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।

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एसआईसी ब्रैकट पैडल

Veteksemicon Sic कैंटिलीवर पैडल उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सपोर्ट आर्म्स हैं जो क्षैतिज प्रसार भट्टियों और एपिटैक्सियल रिएक्टरों में वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। असाधारण तापीय चालकता, संक्षारण प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति के साथ, ये पैडल अर्धचालक वातावरण की मांग में स्थिरता और स्वच्छता सुनिश्चित करते हैं। कस्टम आकारों में उपलब्ध और लंबी सेवा जीवन के लिए अनुकूलित।

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सिसक ब्लॉक

Veteksemicon का SIC ब्लॉक उच्च दक्षता वाले पीसने और सिलिकॉन और नीलम वेफर्स के पतले होने के लिए डिज़ाइन किया गया है। उत्कृष्ट तापीय चालकता (≥120 w/m · k), उच्च थर्मल शॉक प्रतिरोध, और बेहतर पहनने के प्रतिरोध (MOHS) 9) के साथ, हमारे ब्लॉक प्रक्रिया स्थिरता में सुधार करते हैं और उपकरण परिवर्तन आवृत्ति को कम करते हैं। 120 मिमी से 480 मिमी तक के आकार में उपलब्ध है, विभिन्न उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित विकल्प और तेजी से वितरण के साथ।

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सीसी सिरेमिक झिल्ली

Veteksemicon Sic सिरेमिक झिल्ली एक प्रकार का अकार्बनिक झिल्ली है और झिल्ली पृथक्करण प्रौद्योगिकी में ठोस झिल्ली सामग्री से संबंधित है। SIC झिल्ली को 2000 ℃ से ऊपर के तापमान पर निकाल दिया जाता है। कणों की सतह चिकनी और गोल होती है। समर्थन परत और प्रत्येक परत में कोई बंद छिद्र या चैनल नहीं हैं। वे आमतौर पर अलग -अलग छिद्रों के साथ तीन परतों से बने होते हैं।

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झरझरा सिरेमिक प्लेट

हमारे झरझरा sic सिरेमिक प्लेटें मुख्य घटक के रूप में सिलिकॉन कार्बाइड से बनी झरझरा सिरेमिक सामग्री हैं और विशेष प्रक्रियाओं द्वारा संसाधित की जाती हैं। वे अर्धचालक विनिर्माण, रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और अन्य प्रक्रियाओं में अपरिहार्य सामग्री हैं।

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चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।