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वांग्डा रोड, ज़ियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिंघुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के क्षेत्र में आपका अभिनव भागीदार है। सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री संयोजन, घटक निर्माण क्षमताओं और एप्लिकेशन इंजीनियरिंग सेवाओं के हमारे व्यापक पोर्टफोलियो के साथ, हम महत्वपूर्ण चुनौतियों से निपटने में आपकी मदद कर सकते हैं। इंजीनियरिंग तकनीकी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक को उनके असाधारण सामग्री प्रदर्शन के कारण अर्धचालक उद्योग में व्यापक रूप से लागू किया जाता है। VeTek सेमीकंडक्टर के अल्ट्रा-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का उपयोग सेमीकंडक्टर निर्माण और प्रसंस्करण के पूरे चक्र में अक्सर किया जाता है।
वीटेक सेमीकंडक्टर विशेष रूप से बैच प्रसार और एलपीसीवीडी आवश्यकताओं के लिए डिज़ाइन किए गए इंजीनियर सिरेमिक घटक प्रदान करता है, जिनमें शामिल हैं:
• बाफ़ल और धारक
• इंजेक्टर
• लाइनर और प्रोसेस ट्यूब
• सिलिकॉन कार्बाइड ब्रैकट पैडल
• वेफर नावें और पैडस्टल
SiC कैंटिलीवर पैडल
SiC प्रक्रिया ट्यूब
सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूब
SiC ऊर्ध्वाधर वेफर नाव
SiC क्षैतिज वेफर नाव
SiC क्षैतिज वेफर नाव को मापता है
SiC LPCVD वेफर नाव
SiC क्षैतिज प्लेट नाव
SiC सिरेमिक सील की अंगूठी
प्लाज़्मा ईच प्रसंस्करण की कठोरता के लिए इंजीनियर किए गए उच्च शुद्धता वाले घटकों के साथ संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करें, जिनमें शामिल हैं:
फोकस बजता है
नलिका
शील्ड्स
शावरहेड्स
खिड़कियाँ/ढक्कन
अन्य कस्टम घटक
वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग में उच्च तापमान थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए तैयार उन्नत सामग्री घटक प्रदान करता है। इन अनुप्रयोगों में आरटीपी, एपी प्रक्रियाएं, प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग शामिल हैं। हमारे तकनीकी सिरेमिक को विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन प्रदान करते हुए, थर्मल झटके का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वीटेक सेमीकंडक्टर के घटकों के साथ, सेमीकंडक्टर निर्माता कुशल और उच्च गुणवत्ता वाली थर्मल प्रसंस्करण प्राप्त कर सकते हैं, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन की समग्र सफलता में योगदान देता है।
• डिफ्यूज़र
• इन्सुलेटर
• संग्राहक
• अन्य कस्टम थर्मल घटक
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
SiC/SiC सामग्री | > 99.96% |
सी/फ्री सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20°C) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23 डब्ल्यू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |
+86-579-87223657
वांग्डा रोड, ज़ियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिंघुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
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