VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों के उत्पादन में माहिर है, इन कोटिंग्स को शुद्ध ग्रेफाइट, सिरेमिक और दुर्दम्य धातु घटकों पर लागू करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
हमारी उच्च शुद्धता वाली कोटिंग्स मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगों में उपयोग के लिए लक्षित हैं। वे वेफर कैरियर्स, ससेप्टर्स और हीटिंग तत्वों के लिए एक सुरक्षात्मक परत के रूप में काम करते हैं, जो उन्हें एमओसीवीडी और ईपीआई जैसी प्रक्रियाओं में आने वाले संक्षारक और प्रतिक्रियाशील वातावरण से बचाते हैं। ये प्रक्रियाएँ वेफ़र प्रसंस्करण और उपकरण निर्माण का अभिन्न अंग हैं। इसके अतिरिक्त, हमारी कोटिंग्स वैक्यूम भट्टियों और नमूना हीटिंग में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं, जहां उच्च वैक्यूम,
प्रतिक्रियाशील, और ऑक्सीजन वातावरण का सामना करना पड़ता है।
वीटेक सेमीकंडक्टर में, हम अपनी उन्नत मशीन शॉप क्षमताओं के साथ एक व्यापक समाधान प्रदान करते हैं। यह हमें ग्रेफाइट, सिरेमिक, या दुर्दम्य धातुओं का उपयोग करके आधार घटकों का निर्माण करने और घर में SiC या TaC सिरेमिक कोटिंग्स लगाने में सक्षम बनाता है। हम विभिन्न आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए लचीलापन सुनिश्चित करते हुए, ग्राहक द्वारा आपूर्ति किए गए भागों के लिए कोटिंग सेवाएं भी प्रदान करते हैं।
हमारे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों का उपयोग व्यापक रूप से Si एपिटैक्सी, SiC एपिटैक्सी, MOCVD सिस्टम, RTP/RTA प्रक्रिया, नक़्क़ाशी प्रक्रिया, ICP/PSS नक़्क़ाशी प्रक्रिया, नीले और हरे एलईडी, UV LED और डीप-UV LED आदि सहित विभिन्न एलईडी प्रकारों की प्रक्रिया में किया जाता है, जो LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI इत्यादि के उपकरणों के लिए अनुकूलित है।
रिएक्टर भाग हम कर सकते हैं:
प्रमुख विशेषताऐं
● न्यूनतम कण उत्पादन के लिए घने β-चरण पॉलीक्रिस्टलाइन संरचना के साथ अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (99.99995%)।
● HCl, NH₃, H₂, SiH₄ और अन्य संक्षारक प्रक्रिया गैसों के लिए उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध।
● उच्च तापीय चालकता (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) और 2700°C के उर्ध्वपातन तापमान तक तापीय स्थिरता।
● बेहतर कठोरता (2500 विकर्स) और ग्रेफाइट, सिरेमिक और दुर्दम्य धातुओं के लिए मजबूत आसंजन।
● संग्राहक, वाहक, शॉवर हेड और हीटिंग तत्वों सहित जटिल ज्यामिति के लिए उपयुक्त अनुरूप कोटिंग कवरेज।
● प्रमुख उपकरण प्लेटफार्मों के साथ संगत: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI और बहुत कुछ।
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के कई अनूठे फायदे हैं
उत्पाद विशिष्टताएँ
वीटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पैरामीटर
| CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण |
| संपत्ति |
विशिष्ट मूल्य |
| क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख |
| SiC कोटिंग घनत्व |
3.21 ग्राम/सेमी³ |
| SiC कोटिंग कठोरता |
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड) |
| अनाज आकार |
2~10μm |
| रासायनिक शुद्धता |
99.99995% |
| ताप की गुंजाइश |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| उर्ध्वपातन तापमान |
2700℃ |
| आनमनी सार्मथ्य |
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट |
| यंग मापांक |
430 GPa 4pt बेंड, 1300℃ |
| ऊष्मीय चालकता |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| थर्मल विस्तार (सीटीई) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
सीवीडी एसआईसी फिल्म क्रिस्टल संरचना
अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं की विविध आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, VeTek लक्षित सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पाद प्रदान करता है। निम्नलिखित तालिका उन्हें प्रमुख अनुप्रयोग क्षेत्रों, विशिष्ट घटकों और लागू प्रक्रियाओं को सूचीबद्ध करके वर्गीकृत करती है:
| आवेदन क्षेत्र |
विशिष्ट उत्पाद |
आवेदन विवरण |
| सी एपिटैक्सी |
सीवीडी एसआईसी लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर, SiC कोटिंग वेफर कैरियर, एपी संग्राहक
|
सिलिकॉन एपीटैक्सियल प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त, उच्च गुणवत्ता वाली एपी परतों के लिए समान तापमान वितरण, रासायनिक प्रतिरोध और कम कण उत्पादन प्रदान करता है। |
| SiC एपिटैक्सी |
CVD SiC लेपित ग्रहीय सुसेप्टर, SiC लेपित वेफर सुसेप्टर, गाइड रिंग |
उच्च तापमान वाले SiC एपीटैक्सियल विकास (एलपीई आदि) के लिए, फिल्म की एकरूपता और प्रक्रिया उपज सुनिश्चित करने के लिए थर्मल स्थिरता और स्वच्छ इंटरफ़ेस प्रदान करना। |
| GaN / LED एपिटैक्सी (MOCVD) |
SiC लेपित सैटेलाइट कवर, शावर का फव्वारा, उपग्रह डिस्क, मास्किंग रिंग |
ऐक्सट्रॉन, वीको एमओसीवीडी सिस्टम के साथ संगत; H₂/NH₃ जंग का प्रतिरोध करता है, कण संदूषण को कम करता है और एलईडी एपी उपज (नीला, हरा, यूवी, गहरा-यूवी) में सुधार करता है। |
| आरटीपी/आरटीए प्रक्रिया |
सीवीडी एसआईसी लेपित आरटीपी सुसेप्टर, आरटीपी आरटीए कैरियर, हीटिंग तत्व
|
तेजी से थर्मल प्रसंस्करण और एनीलिंग के लिए डिज़ाइन किया गया; उत्कृष्ट तापीय चालकता और आयामी स्थिरता के साथ बार-बार उच्च तापमान साइकलिंग का सामना करता है। |
| नक़्क़ाशी / आईसीपी / पीएसएस |
सॉलिड SiC फोकस रिंग्स, नक़्क़ाशी कक्षों के लिए SiC लेपित घटक
|
उच्च कठोरता और प्लाज्मा प्रतिरोध चैम्बर भागों की रक्षा करते हैं, ईच प्रोफ़ाइल की एकरूपता सुनिश्चित करते हैं और हैलोजन-समृद्ध वातावरण में सेवा जीवन का विस्तार करते हैं। |
| उच्च-तापमान तापन एवं समर्थन |
सीवीडी एसआईसी कोटिंग ताप तत्व, वेफर वाहक, संग्राहक
|
प्रेरण/प्रतिरोधक हीटिंग और वैक्यूम फर्नेस अनुप्रयोगों के लिए; उच्च कठोरता, थर्मल शॉक प्रतिरोध और लंबे घटक जीवनकाल प्रदान करता है। |
अधिक विस्तृत प्रक्रिया मिलान समाधानों के लिए, कृपया देखेंसिलिकॉन एपिटैक्सीऔरसिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सीसंबंधित एप्लिकेशन पृष्ठ।
चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या आप चीन में बनी उन्नत और टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग खरीदना चाहते हों, आप ऐसा कर सकते हैंहमें एक संदेश छोड़ें.
