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सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों के उत्पादन में माहिर है, इन कोटिंग्स को शुद्ध ग्रेफाइट, सिरेमिक और दुर्दम्य धातु घटकों पर लागू करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।


हमारी उच्च शुद्धता वाली कोटिंग्स मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगों में उपयोग के लिए लक्षित हैं। वे वेफर कैरियर्स, ससेप्टर्स और हीटिंग तत्वों के लिए एक सुरक्षात्मक परत के रूप में काम करते हैं, जो उन्हें एमओसीवीडी और ईपीआई जैसी प्रक्रियाओं में आने वाले संक्षारक और प्रतिक्रियाशील वातावरण से बचाते हैं। ये प्रक्रियाएँ वेफ़र प्रसंस्करण और उपकरण निर्माण का अभिन्न अंग हैं। इसके अतिरिक्त, हमारी कोटिंग्स वैक्यूम भट्टियों और नमूना हीटिंग में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं, जहां उच्च वैक्यूम, प्रतिक्रियाशील और ऑक्सीजन वातावरण का सामना करना पड़ता है।


वीटेक सेमीकंडक्टर में, हम अपनी उन्नत मशीन शॉप क्षमताओं के साथ एक व्यापक समाधान प्रदान करते हैं। यह हमें ग्रेफाइट, सिरेमिक, या दुर्दम्य धातुओं का उपयोग करके आधार घटकों का निर्माण करने और घर में SiC या TaC सिरेमिक कोटिंग्स लगाने में सक्षम बनाता है। हम विभिन्न आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए लचीलापन सुनिश्चित करते हुए, ग्राहक द्वारा आपूर्ति किए गए भागों के लिए कोटिंग सेवाएं भी प्रदान करते हैं।


हमारे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों का व्यापक रूप से सी एपिटैक्सी, सीआईसी एपिटैक्सी, एमओसीवीडी सिस्टम, आरटीपी/आरटीए प्रक्रिया, नक़्क़ाशी प्रक्रिया, आईसीपी/पीएसएस नक़्क़ाशी प्रक्रिया, नीले और हरे एलईडी, यूवी एलईडी और डीप-यूवी सहित विभिन्न एलईडी प्रकारों की प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है। एलईडी आदि, जो एलपीई, ऐक्सट्रॉन, वीको, नुफ्लेयर, टीईएल, एएसएम, एनील्सिस, टीएसआई आदि के उपकरणों के लिए अनुकूलित है।


रिएक्टर भाग हम कर सकते हैं:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के कई अनूठे फायदे हैं:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



वीटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पैरामीटर

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
SiC कोटिंग घनत्व 3.21 ग्राम/सेमी³
SiC कोटिंगकठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार 2~10μm
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
ताप की गुंजाइश 640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान 2700℃
आनमनी सार्मथ्य 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक 430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता 300W·m-1·के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई) 4.5×10-6K-1

सीवीडी एसआईसी फिल्म क्रिस्टल संरचना

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



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नक़्क़ाशी के लिए sic लेपित वेफर वाहक

नक़्क़ाशी के लिए sic लेपित वेफर वाहक

एक प्रमुख चीनी निर्माता और सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों के आपूर्तिकर्ता के रूप में, नक़्क़ाशी के लिए वीटेकिकॉन के एसआईसी कोटेड वेफर वाहक अपने उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापीय चालकता के साथ नक़्क़ाशी प्रक्रिया में एक अपूरणीय मुख्य भूमिका निभाता है।
Cvd sic कोटेड वेफर सूसोसेप्टर

Cvd sic कोटेड वेफर सूसोसेप्टर

Veteksemicon का CVD SIC कोटेड वेफर सूसोसेप्टर अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं के लिए एक अत्याधुनिक समाधान है, जो अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (00100PPB, ICP-E10 प्रमाणित) और असाधारण थर्मल/रासायनिक स्थिरता की पेशकश करता है, जो कि GAN, SIC, और सिलिकॉन-आधारित एपिवल-लेयर्स के लिए संदूषण-प्रतिरोधी विकास के लिए है। सटीक सीवीडी तकनीक के साथ इंजीनियर, यह 6 "/8"/12 "वेफर्स का समर्थन करता है, न्यूनतम थर्मल तनाव सुनिश्चित करता है, और 1600 डिग्री सेल्सियस तक के चरम तापमान का सामना करता है।
Sic लेपित ग्रहों की गान

Sic लेपित ग्रहों की गान

हमारे SIC कोटेड प्लैनेटरी सूसिएटर सेमीकंडक्टर विनिर्माण की उच्च तापमान प्रक्रिया में एक मुख्य घटक है। इसका डिज़ाइन थर्मल प्रबंधन प्रदर्शन, रासायनिक स्थिरता और यांत्रिक शक्ति के व्यापक अनुकूलन को प्राप्त करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ ग्रेफाइट सब्सट्रेट को जोड़ती है।
एपिटैक्सी के लिए एसआईसी लेपित सीलिंग रिंग

एपिटैक्सी के लिए एसआईसी लेपित सीलिंग रिंग

एपिटैक्सी के लिए हमारी एसआईसी लेपित सीलिंग रिंग एक उच्च-प्रदर्शन वाली सीलिंग घटक है, जो कि रासायनिक वाष्प के बयान (सीवीडी) द्वारा उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) के साथ लेपित ग्रेफाइट या कार्बन-कार्बन कंपोजिट पर आधारित है, जो कि एसआईसी के चरम पर्यावरणीय प्रतिरोध के साथ ग्रैफिट की थर्मल स्थिरता को जोड़ती है, और इसे सेमिक अन्य उपकरणों के लिए तैयार करता है।
एकल वेफर एपि ग्रेफाइट अंडरटेकर

एकल वेफर एपि ग्रेफाइट अंडरटेकर

Veteksemicon सिंगल वेफर EPI ग्रेफाइट सूसोसेप्टर को उच्च-प्रदर्शन सिलिकॉन कार्बाइड (SIC), गैलियम नाइट्राइड (GAN) और अन्य तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है, और बड़े पैमाने पर उत्पादन में हाई-प्रेसिशन एपिटैक्सियल शीट का मुख्य असर घटक है।
प्लाज्मा नक़्क़ाशी फोकस रिंग

प्लाज्मा नक़्क़ाशी फोकस रिंग

वेफर फैब्रिकेशन नक़्क़ाशी प्रक्रिया में उपयोग किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण घटक प्लाज्मा नक़्क़ाशी फोकस रिंग है, जिसका कार्य प्लाज्मा घनत्व को बनाए रखने और वेफर पक्षों के संदूषण को रोकने के लिए वेफर को पकड़ना है। वेटेक सेमीकंडक्टर मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉन, सिलिकॉन कार्बाइड और अन्य सेरबाइड जैसे विभिन्न सामग्री के साथ प्लाज्मा नक़्क़ाशी फोकस रिंग प्रदान करता है।
चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।
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