ऐक्सट्रॉन सैटेलाइट वेफर वाहक

Aixtron सैटेलाइट वेफर वाहक Aixtron MoCVD उपकरण का एक अभिन्न हिस्सा है, विशेष रूप से एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए वेफर्स को ले जाने के लिए उपयोग किया जाता है। यह विशेष रूप से उपयुक्त हैउपकला वृद्धिGAN और SILICON CARBIDE (SIC) उपकरणों की प्रक्रिया। इसका अद्वितीय "सैटेलाइट" डिजाइन न केवल गैस प्रवाह की एकरूपता सुनिश्चित करता है, बल्कि वेफर सतह पर फिल्म बयान की एकरूपता में भी सुधार करता है।

ऐक्सट्रॉनवफ़र वाहकआमतौर पर बने होते हैंसिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी)या सीवीडी-लेपित ग्रेफाइट। उनमें से, सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) में उत्कृष्ट तापीय चालकता, उच्च तापमान प्रतिरोध और कम थर्मल विस्तार गुणांक है। सीवीडी लेपित ग्रेफाइट एक रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया के माध्यम से एक सिलिकॉन कार्बाइड फिल्म के साथ लेपित ग्रेफाइट है, जो इसके संक्षारण प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति को बढ़ा सकता है। SIC और लेपित ग्रेफाइट सामग्री 1,400 ° C -1,600 ° C तक तापमान का सामना कर सकती है और उच्च तापमान पर उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता है, जो कि एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया के लिए महत्वपूर्ण है।

Aixtron सैटेलाइट वेफर वाहक मुख्य रूप से वेफर्स को ले जाने और घुमाने के लिए उपयोग किया जाता हैMOCVD प्रक्रियाएपिटैक्सियल ग्रोथ के दौरान समान गैस प्रवाह और समान बयान सुनिश्चित करने के लिए।विशिष्ट कार्य निम्नानुसार हैं:

● वेफर रोटेशन और एकसमान बयान: ऐक्सट्रॉन सैटेलाइट वाहक के रोटेशन के माध्यम से, वेफर एपिटैक्सियल ग्रोथ के दौरान स्थिर आंदोलन को बनाए रख सकता है, जिससे गैस को सामग्री के समान बयान सुनिश्चित करने के लिए वेफर सतह पर समान रूप से प्रवाह करने की अनुमति मिलती है।

● उच्च तापमान असर और स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड या लेपित ग्रेफाइट सामग्री 1,400 ° C -1,600 ° C तक तापमान का सामना कर सकती है। यह सुविधा यह सुनिश्चित करती है कि वेफर उच्च तापमान वाले एपिटैक्सियल विकास के दौरान विकृत नहीं होगा, जबकि वाहक के थर्मल विस्तार को एपिटैक्सियल प्रक्रिया को प्रभावित करने से रोकता है।

● कम कण पीढ़ी: उच्च गुणवत्ता वाले वाहक सामग्री (जैसे कि एसआईसी) में चिकनी सतह होती है जो वाष्प बयान के दौरान कण पीढ़ी को कम करती हैं, जिससे संदूषण की संभावना को कम किया जाता है, जो उच्च शुद्धता, उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक सामग्री के उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण है।

Veteksemicon का Aixtron सैटेलाइट वेफर वाहक 100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी और यहां तक ​​कि बड़े वेफर आकार में उपलब्ध है, और आपके उपकरण और प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर अनुकूलित उत्पाद सेवाएं प्रदान कर सकता है। हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार होने की उम्मीद करते हैं।

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना का SEM डेटा：

ऐक्सट्रॉन सैटेलाइट वेफर कैरियर प्रोडक्शन शॉप्स: