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सीवीडी एसआईसी कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर
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सीवीडी एसआईसी कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर

Vetek सेमीकंडक्टर का CVD SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर एक सटीक-इंजीनियर टूल है जिसे सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग और प्रोसेसिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर पतली फिल्मों, एपिलैयर्स और अन्य कोटिंग्स के विकास को बढ़ावा देने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और तापमान और भौतिक गुणों को ठीक से नियंत्रित कर सकता है। आपकी आगे की पूछताछ में आपका स्वागत है।

Veteksemicon की CVD SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेक्टर एक सटीक-इंजीनियर टूल है जो अर्धचालक वेफर प्रोसेसिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर पतली फिल्मों, एपिलैयर्स और अन्य कोटिंग्स के विकास को बढ़ावा देने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और तापमान और भौतिक गुणों को ठीक से नियंत्रित कर सकता है। आपकी आगे की पूछताछ में आपका स्वागत है।



बुनियादीसीवीडी एसआईसी कोटिंग के भौतिक गुण:

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व
3.21 ग्राम/सेमी।
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500g लोड)
अनाज आकार
2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
ताप की गुंजाइश
640 जे · किग्रा-1· K-1
उच्चता तापमान
2700 ℃
आनमनी सार्मथ्य
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक
430 GPA 4pt बेंड, 1300 ℃
ऊष्मीय चालकता
300W · एम-1· K-1
थर्मल विस्तार
4.5 × 10-6K-1

CVD SIC कोटिंग एपिटैक्सी सूसोसेप्टर उत्पाद लाभ:


● सटीक बयान: Susceptor सब्सट्रेट (जैसे नीलम, SIC या GAN) के लिए एक स्थिर समर्थन मंच प्रदान करने के लिए एक SIC कोटिंग के साथ एक अत्यधिक थर्मल कंडक्टिव ग्रेफाइट सब्सट्रेट को जोड़ती है। इसकी उच्च तापीय चालकता (जैसे कि SIC लगभग 120 w/m · k) जल्दी से गर्मी को स्थानांतरित कर सकती है और सब्सट्रेट सतह पर समान तापमान वितरण सुनिश्चित कर सकती है, जिससे एपिटैक्सियल परत की उच्च गुणवत्ता वाले विकास को बढ़ावा मिलता है।

● संदूषण में कमी: सीवीडी प्रक्रिया द्वारा तैयार किए गए एसआईसी कोटिंग में उच्च शुद्धता (अशुद्धता सामग्री <5 पीपीएम) होती है और यह संक्षारक गैसों (जैसे सीएल₂, एनएच₃) के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी होती है, जो एपिटैक्सियल परत के संदूषण से बचती है।

● सहनशीलता: SIC की उच्च कठोरता (MOHS हार्डनेस 9.5) और पहनने के प्रतिरोध बार-बार उपयोग के दौरान आधार के यांत्रिक नुकसान को कम करते हैं और उच्च-आवृत्ति अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त होते हैं।



Veteksemic उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादों और प्रतिस्पर्धी कीमतों को प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार होने के लिए उत्सुक हैं।


यह अर्धचालक उत्पाद की दुकानें:

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