टीएसी कोटिंग क्या है? - वेटेक सेमीकंडक्टर

टीएसी कोटिंग (टैंटलम कार्बाइड कोटिंग) रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया द्वारा निर्मित एक उच्च-प्रदर्शन कोटिंग सामग्री है। चरम परिस्थितियों में टीएसी कोटिंग के उत्कृष्ट गुणों के कारण, यह व्यापक रूप से अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से उपकरणों और घटकों में जिनके लिए उच्च तापमान और मजबूत संक्षारक वातावरण की आवश्यकता होती है। टीएसी कोटिंग का उपयोग आमतौर पर उच्च तापमान, संक्षारक गैसों और यांत्रिक पहनने से क्षति से सब्सट्रेट (जैसे ग्रेफाइट या सिरेमिक) की रक्षा के लिए किया जाता है।

टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण

उत्पाद की विशेषताएँ और लाभ

● अत्यधिक उच्च थर्मल स्थिरता:

फ़ीचर विवरण: TAC कोटिंग में 3880 ° C से अधिक पिघलने का बिंदु होता है और यह अत्यधिक उच्च तापमान वातावरण में अपघटन या विरूपण के बिना स्थिरता बनाए रख सकता है।

लाभ: यह उच्च तापमान अर्धचालक उपकरणों जैसे कि सीवीडी टीएसी कोटिंग और टीएसी लेपित सूसप्लेर में एक अपरिहार्य सामग्री बनाता है, विशेष रूप से एमओसीवीडी रिएक्टरों में अनुप्रयोगों के लिए, जैसे कि एआईएक्सट्रॉन जी 5 उपकरण।

● उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध:

फ़ीचर विवरण: TAC में बेहद मजबूत रासायनिक निष्क्रियता है और यह प्रभावी रूप से संक्षारक गैसों जैसे कि क्लोराइड और फ्लोराइड्स के कटाव का विरोध कर सकता है।

लाभ: उच्च संक्षारक रसायनों को शामिल करने वाली अर्धचालक प्रक्रियाओं में, टीएसी कोटिंग उपकरण घटकों को रासायनिक हमले से बचाता है, सेवा जीवन को बढ़ाता है और प्रक्रिया स्थिरता में सुधार करता है, विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट और अन्य प्रमुख घटकों के आवेदन में।

● उत्कृष्ट यांत्रिक कठोरता:

फ़ीचर विवरण: TAC कोटिंग की कठोरता 9-10 mohs जितना अधिक है, जो इसे यांत्रिक पहनने और उच्च तापमान तनाव के लिए प्रतिरोधी बनाती है।

लाभ: उच्च कठोरता संपत्ति टीएसी कोटिंग को उच्च पहनने और उच्च तनाव वातावरण में उपयोग के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाती है, जो कठोर परिस्थितियों में दीर्घकालिक स्थिरता और उपकरणों की विश्वसनीयता सुनिश्चित करती है।

● कम रासायनिक प्रतिक्रियाशीलता:

फ़ीचर विवरण: इसकी रासायनिक जड़ता के कारण, TAC कोटिंग उच्च तापमान वातावरण में कम प्रतिक्रियाशीलता बनाए रख सकती है और प्रतिक्रियाशील गैसों के साथ अनावश्यक रासायनिक प्रतिक्रियाओं से बच सकती है।

लाभ: यह विशेष रूप से अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में महत्वपूर्ण है क्योंकि यह प्रक्रिया के वातावरण की शुद्धता और सामग्री के उच्च गुणवत्ता वाले बयान को सुनिश्चित करता है।

अर्धचालक प्रसंस्करण में टीएसी कोटिंग की भूमिका

● प्रमुख उपकरण घटकों की रक्षा करना:

फ़ंक्शन विवरण: TAC कोटिंग का उपयोग व्यापक रूप से अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों के प्रमुख घटकों में किया जाता है, जैसे कि TAC लेपित सूसोसेप्टर, जिसे चरम परिस्थितियों में काम करने की आवश्यकता होती है। टीएसी के साथ कोटिंग करके, ये घटक उच्च तापमान और संक्षारक गैस वातावरण में लंबे समय तक क्षतिग्रस्त हो सकते हैं।

● उपकरण जीवन का विस्तार करें:

फ़ंक्शन विवरण: MOCVD उपकरण जैसे कि Aixtron G5, TAC कोटिंग उपकरण घटकों के स्थायित्व में काफी सुधार कर सकती है और जंग और पहनने के कारण उपकरण रखरखाव और प्रतिस्थापन की आवश्यकता को कम कर सकती है।

● प्रक्रिया स्थिरता बढ़ाएं:

फ़ंक्शन विवरण: अर्धचालक विनिर्माण में, टीएसी कोटिंग एक स्थिर उच्च तापमान और रासायनिक वातावरण प्रदान करके बयान प्रक्रिया की एकरूपता और स्थिरता सुनिश्चित करता है। यह सिलिकॉन एपिटैक्सी और गैलियम नाइट्राइड (GAN) जैसे एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रियाओं में विशेष रूप से महत्वपूर्ण है।

● प्रक्रिया दक्षता में सुधार करें:

फ़ंक्शन विवरण: उपकरण की सतह पर कोटिंग का अनुकूलन करके, टीएसी कोटिंग प्रक्रिया की समग्र दक्षता में सुधार कर सकती है, दोष दर को कम कर सकती है, और उत्पाद की उपज में वृद्धि कर सकती है। यह उच्च-सटीक, उच्च-शुद्धता अर्धचालक सामग्री के निर्माण के लिए महत्वपूर्ण है।

अर्धचालक प्रसंस्करण के दौरान टीएसी कोटिंग द्वारा प्रदर्शित उच्च थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, यांत्रिक कठोरता और कम रासायनिक प्रतिक्रियाशीलता इसे अर्धचालक विनिर्माण उपकरण घटकों की रक्षा के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है। चूंकि उच्च तापमान के लिए अर्धचालक उद्योग की मांग, उच्च शुद्धता और कुशल विनिर्माण प्रक्रियाओं में वृद्धि जारी है, टीएसी कोटिंग में व्यापक आवेदन की संभावनाएं हैं, विशेष रूप से उपकरण और प्रक्रियाओं में जिसमें सीवीडी टीएसी कोटिंग, टीएसी लेपित सूसोसेक और एआईएक्सट्रॉन जी 5 शामिल हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर टेक्नोलॉजी कंपनी, लिमिटेड सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए उन्नत कोटिंग सामग्री का एक प्रमुख प्रदाता है। हमारी कंपनी उद्योग के लिए अत्याधुनिक समाधान विकसित करने पर ध्यान केंद्रित करती है।

हमारे मुख्य उत्पाद प्रसाद में शामिल हैंसीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कोटिंग्स, टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग्स।

वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए अत्याधुनिक प्रौद्योगिकी और उत्पाद विकास समाधान विकसित करने पर ध्यान केंद्रित करता है।हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की उम्मीद करते हैं.