टीएसी कोटिंग 2200 ℃ के उच्च तापमान का सामना कर सकती है। Vetek सेमीकंडक्टर चीन में 5ppm से नीचे अशुद्धियों के साथ उच्च शुद्धता TAC कोटिंग प्रदान करता है। टीएसी कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट अमोनिया हाइड्रोजन, आर्गोनिन को एपिटैक्सियल डिवाइस रिएक्शन चैंबर में ले जाने में सक्षम है। यह उत्पाद के सेवा जीवन में सुधार करता है। आप आवश्यकताएं प्रदान करते हैं, हम अनुकूलन प्रदान करते हैं।
Vetek सेमीकंडक्टर चीन निर्माता और आपूर्तिकर्ता है जो मुख्य रूप से CVD TAC कोटिंग सेंसेस, इनलेट रिंग, वेफर चुन, TAC लेपित धारक, TAC कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट का उत्पादन करता है। आपके साथ व्यावसायिक संबंध बनाने की उम्मीद है।
TAC सिरेमिक में 3880 ℃, उच्च कठोरता (Mohs Hastness 9 ~ 10), बड़े तापीय चालकता (22w · m का एक पिघलने बिंदु होता है-1· K-1), बड़ी झुकने की ताकत (340 ~ 400mpa), और छोटे थर्मल विस्तार गुणांक (6.6 × 10-6K-1), और उत्कृष्ट थर्मोकैमिकल स्थिरता और उत्कृष्ट भौतिक गुणों को दिखाएं। इसमें ग्रेफाइट और सी/सी कम्पोजिट सामग्री के साथ अच्छी रासायनिक और यांत्रिक संगतता है, इसलिए टीएसी कोटिंग का व्यापक रूप से एयरोस्पेस थर्मल प्रोटेक्शन, सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ और एपिटैक्सियल रिएक्टर्स जैसे ऐक्सट्रॉन, एलपीई ईपीआई रिएक्टर में सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किया जाता है।
टीएसी लेपित ग्रेफाइट में नंगे पत्थर की स्याही या एसआईसी लेपित ग्रेफाइट की तुलना में बेहतर रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध होता है, 2200 ° उच्च तापमान पर स्टाइब का उपयोग किया जा सकता है, कई धातु तत्वों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है, सेमीकंडक्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपिटैक्सी की तीसरी पीढ़ी है, जो कि सबसे अच्छा प्रदर्शन कोटिंग की प्रक्रिया में सुधार कर सकती है, जो कि उच्च प्रदर्शन कोटि के रूप में होती है, जो कि उच्च प्रदर्शन कोटिंग होती है। वेफर्स। यह विशेष रूप से MOCVD उपकरणों में GAN या ALN सिंगल क्रिस्टल और PVT उपकरणों में SIC सिंगल क्रिस्टल को बढ़ाने के लिए उपयुक्त है, और सिंगल क्रिस्टल की गुणवत्ता में स्पष्ट रूप से सुधार हुआ है।
टीएसी कोटिंग और एसआईसी कोटिंग स्पेयर पार्ट्स हम कर सकते हैं:
टीएसी कोटिंग का पैरामीटर:
टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण
टीएसी कोटिंग घनत्व
14.3 (जी/सेमी))
विशिष्ट उत्सर्जन
0.3
थर्मल विस्तार गुणांक
6.3 10-6/K
टीएसी कोटिंग कठोरता (एचके)
2000 एचके
प्रतिरोध
1 × 10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदलता है
-10 ~ -20UM
कोटिंग मोटाई
≥20um ठेठ मान (35UM ± 10UM)
गाड़ी की डिक्कीअर्धचालक चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला औद्योगिक श्रृंखला:
यह अर्धचालकटीएसी कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेटउत्पादन -दुकान
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