झरझरा ग्रेफाइट

SiC सब्सट्रेट निर्माता आमतौर पर गर्म क्षेत्र प्रक्रिया के लिए झरझरा ग्रेफाइट सिलेंडर के साथ क्रूसिबल डिज़ाइन का उपयोग करते हैं। यह डिज़ाइन वाष्पीकरण क्षेत्र और चार्ज वॉल्यूम को बढ़ाता है। क्रिस्टल दोषों को दूर करने, बड़े पैमाने पर स्थानांतरण को स्थिर करने और SiC क्रिस्टल गुणवत्ता को बढ़ाने के लिए एक नई प्रक्रिया विकसित की गई है। इसमें थर्मल विस्तार और तनाव से राहत के लिए बीज रहित क्रिस्टल ट्रे निर्धारण विधि शामिल है। हालाँकि, क्रूसिबल ग्रेफाइट और झरझरा ग्रेफाइट की सीमित बाजार आपूर्ति SiC एकल क्रिस्टल की गुणवत्ता और उपज के लिए चुनौतियां पैदा करती है।

वीटेक सेमीकंडक्टर पोरस ग्रेफाइट की मुख्य विशेषताएं:

1. उच्च तापमान पर्यावरण सहिष्णुता - उत्पाद उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध का प्रदर्शन करते हुए 2500 डिग्री सेल्सियस के वातावरण का सामना कर सकता है।

2. सख्त सरंध्रता नियंत्रण - वीटेक सेमीकंडक्टर लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करते हुए सख्त सरंध्रता नियंत्रण बनाए रखता है।

3.अति-उच्च शुद्धता - प्रयुक्त झरझरा ग्रेफाइट सामग्री कठोर शुद्धिकरण प्रक्रियाओं के माध्यम से उच्च स्तर की शुद्धता प्राप्त करती है।

4.उत्कृष्ट सतह कण बाइंडिंग क्षमता - वीटेक सेमीकंडक्टर में उत्कृष्ट सतह कण बाइंडिंग क्षमता और पाउडर आसंजन का प्रतिरोध है।

5. गैस परिवहन, प्रसार और एकरूपता - ग्रेफाइट की छिद्रपूर्ण संरचना कुशल गैस परिवहन और प्रसार की सुविधा प्रदान करती है, जिसके परिणामस्वरूप गैसों और कणों की एकरूपता में सुधार होता है।

6. गुणवत्ता नियंत्रण और स्थिरता - वीटेक सेमीकंडक्टर क्रिस्टल विकास में गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए उच्च शुद्धता, कम अशुद्धता सामग्री और रासायनिक स्थिरता पर जोर देता है।

7.तापमान नियंत्रण और एकरूपता - झरझरा ग्रेफाइट की तापीय चालकता समान तापमान वितरण को सक्षम बनाती है, जिससे विकास के दौरान तनाव और दोष कम होते हैं।

8. उन्नत विलेय प्रसार और विकास दर - छिद्रपूर्ण संरचना समान विलेय वितरण को बढ़ावा देती है, जिससे क्रिस्टल की वृद्धि दर और एकरूपता बढ़ती है।