तकनीक एवं समाधान

मामले का अध्ययन

जल-निर्देशित लेजर प्रौद्योगिकी: SiC सबस्ट्रेट्स के लिए सटीक माइक्रो-होल मशीनिंग
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जल-निर्देशित लेजर प्रौद्योगिकी: SiC सबस्ट्रेट्स के लिए सटीक माइक्रो-होल मशीनिंग

पता लगाएं कि वीटेक की जल-निर्देशित लेजर तकनीक 2 मिमी SiC सब्सट्रेट्स में बिना किसी टेपर, न्यूनतम HAZ और सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उच्च उपज के साथ एक समान Φ0.15 मिमी थ्रू-होल प्रदान करती है।
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VETEK-AMAT खोखले लिफ्ट पिन समाधान: CVD SiC कोटिंग के साथ उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट
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VETEK-AMAT खोखले लिफ्ट पिन समाधान: CVD SiC कोटिंग के साथ उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट

सेमीकंडक्टर उपकरण खोखले लिफ्ट पिन के लिए सबसे चुनौतीपूर्ण तकनीकी मुद्दा बाहरी सतह कोटिंग नहीं है, बल्कि खोखले ढांचे की आंतरिक दीवार पर स्थिर और समान सीवीडी कोटिंग प्राप्त करना है। आंतरिक दीवार कोटिंग एकरूपता नियंत्रण से लेकर आंतरिक बोर सफाई आश्वासन तक, प्रत्येक प्रक्रिया चरण सीधे वेफर उपज को प्रभावित करता है। यह लेख खोखली लिफ्ट पिन भीतरी दीवार कोटिंग की मुख्य चुनौतियों और प्रमुख तकनीकी मार्गों का विश्लेषण करता है।
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