सामग्री एवं डिज़ाइन

मिलान सब्सट्रेट और कोटिंग संयोजन का चयन समयपूर्व घटक विफलता को रोकने, कण संदूषण को कम करने और वेफर उपज को अधिकतम करने की कुंजी है। हम ग्राहक की विशिष्ट प्रक्रिया विंडो (ऑपरेटिंग तापमान, प्रतिक्रियाशील गैस रसायन विज्ञान, रैंप दर) के आसपास अनुरूप सामग्री और संरचनात्मक डिजाइन समाधान प्रदान करते हैं।

हमारी मुख्य डिज़ाइन क्षमताएँ:

कठोर सीटीई तनाव मिलान:तेजी से थर्मल साइक्लिंग (>100 डिग्री सेल्सियस/मिनट) के लिए, हम उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सीवीडी कोटिंग्स के सीटीई तापमान वक्रों से सटीक रूप से मेल खाते हैं, जो मूल रूप से कोटिंग के प्रदूषण और माइक्रो-क्रैकिंग के जोखिम को कम करते हैं।
प्रक्रिया-परिदृश्य-विशिष्ट कोटिंग चयन:Si/SiC एपिटैक्सी (एपीआई), MOCVD, और प्लाज्मा नक़्क़ाशी वातावरण के लिए CVD SiC कोटिंग; उच्च तापमान और अत्यधिक संक्षारक स्थितियों (जैसे, SiC सिंगल-क्रिस्टल PVT ग्रोथ) के लिए CVD TaC कोटिंग।
नियंत्रणीय प्रतिरोधकता और तापीय चालकता अनुकूलन:आरएफ, ईएससी इलेक्ट्रोस्टैटिक चक या हीटिंग ज़ोन की विशिष्ट विद्युत और थर्मल-क्षेत्र आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सब्सट्रेट और कोटिंग की थोक प्रतिरोधकता और थर्मल चालकता का सटीक नियंत्रण।
संदूषण स्रोत नियंत्रण एवं सीओओ में कमी:उच्च शुद्धता सीवीडी जमाव परतें झरझरा ग्रेफाइट को घनी तरह से सील कर देती हैं, जिससे कण बहाव, अल्ट्रा-ट्रेस धातु अशुद्धता प्रसार और उच्च तापमान आउटगैसिंग जोखिम काफी कम हो जाता है।

विशिष्ट कोटिंग चयन तुलना (एक नज़र में गाइड)

कलई करना	विशिष्ट अनुप्रयोग दिशा-निर्देश	मुख्य लाभ
सीवीडी SiC	Si/SiC एपिटैक्सी (एपीआई), एमओसीवीडी, आंशिक प्लाज्मा नक़्क़ाशी	उच्च शुद्धता, अच्छी तापीय स्थिरता, रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध, उच्च समग्र लागत-प्रदर्शन
सीवीडी टीएसी	उच्च तापमान SiC एकल-क्रिस्टल वृद्धि (पीवीटी), अत्यधिक उच्च तापमान लोड-असर घटक	उच्च तापमान रेटिंग (>1600 डिग्री सेल्सियस), मजबूत संक्षारण प्रतिरोध, उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध

वास्तविक मामला और ग्राहक लाभ (अनुभव):

एक अग्रणी SiC एपिटैक्सी (एपीआई) निर्माता:मूल घटक में एक बेमेल सीवीडी टीएसी कोटिंग का उपयोग किया गया था, जिसके परिणामस्वरूप उच्च तापमान पर अत्यधिक इंटरफेसियल तनाव और बार-बार सूक्ष्म दरारें होती थीं। हमने थर्मोडायनामिक सिमुलेशन को फिर से चलाया और एक पर स्विच कियासीटीई-मिलान विशेषता उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट + बफर परत + सीवीडी सीआईसी कोटिंगसमाधान। परिणाम: औसत घटक जीवनकाल 200 घंटे से बढ़कर 850 घंटे हो गया; प्रति उपकरण वार्षिक प्रतिस्थापन आवृत्ति 40 से 9 गुना कम हो गई; व्यापक उपकरण ओ एंड एम लागत बचत प्रति वर्ष आरएमबी 650,000 से अधिक हो गई।

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

TaC और SiC कोटिंग्स के लिए GDMS शुद्धता विश्लेषण रिपोर्ट

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

1. प्रश्न: मुझे CVD SiC कोटिंग और CVD TaC कोटिंग के बीच कैसे चयन करना चाहिए?

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ए:अपनी प्रक्रिया के तापमान और गैस-चरण संक्षारण तीव्रता को देखें। यदि प्रक्रिया का तापमान 1000 डिग्री सेल्सियस से कम है और इसमें मुख्य रूप से सीएल₂/एफ₂-आधारित नक़्क़ाशी या पारंपरिक एपिटेक्सी शामिल है, तो चुनेंसीवीडी SiCसर्वोत्तम लागत-प्रदर्शन के लिए; यदि प्रक्रिया का तापमान 1200 डिग्री सेल्सियस से अधिक है और इसमें अत्यधिक संक्षारक वातावरण शामिल है (उदाहरण के लिए, SiC PVT एकल-क्रिस्टल वृद्धि), तो हम अनुशंसा करते हैंसीवीडी टीएसी, जो बेहतर तापमान और संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है। हम आपके विशिष्ट प्रक्रिया मापदंडों के आधार पर एक निःशुल्क चयन अनुशंसा रिपोर्ट प्रदान कर सकते हैं।

2. प्रश्न: क्या आप एकल-टुकड़ा/छोटे-बैच प्रोटोटाइप का समर्थन करते हैं? लीड टाइम क्या है?

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ए:हाँ! रिवर्स-इंजीनियरिंग प्रोटोटाइप के लिए,MOQ 1 टुकड़ा है. पारंपरिक सरल भागों के लिए, नमूने की प्राप्ति से लेकर मैप किए गए हिस्से की डिलीवरी तक, सबसे तेज़ लीड समय लगभग होता है10-15 कार्य दिवस; जटिल कोटिंग प्रक्रियाओं वाले भागों के लिए यह लगभग है20-25 कार्य दिवस. शीघ्र मूल्यांकन के लिए हमारे इंजीनियरों से संपर्क करें।

3. प्रश्न: उपयोग के दौरान ग्रेफाइट भागों पर सीवीडी कोटिंग के प्रदूषण का क्या कारण है? क्या इसे हल किया जा सकता है?

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ए:90% प्रदूषण के मामले ग्रेफाइट सब्सट्रेट और कोटिंग के थर्मल विस्तार (सीटीई) के गुणांक के बीच बेमेल के कारण होते हैं, जिससे तेजी से हीटिंग/ठंडा होने पर थकान छीलने लगती है। हमारा समाधान: पहले अपने मूल भाग के सीटीई वक्र को सटीक रूप से मापें, फिर विशेष रूप से सब्सट्रेट घनत्व और जमाव तापमान ढाल को समायोजित करें ताकि दोनों सीटीई अत्यधिक मेल खा सकें। बॉन्ड की ताकत को इससे अधिक तक सुधारा जा सकता है1.5 गुनाउद्योग पारंपरिक स्तर।

4. प्रश्न: क्या आप उत्पादों के लिए सीओए (विश्लेषण प्रमाणपत्र) प्रदान कर सकते हैं? इसमें कौन सा डेटा शामिल है?

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ए:प्रत्येक भेजा गया उत्पाद मानक के साथ आता हैअद्वितीय सीरियल नंबर + पूर्ण सीओए रिपोर्ट. रिपोर्ट में शामिल हैं: महत्वपूर्ण आयाम सीएमएम निरीक्षण डेटा, बहु-बिंदु कोटिंग मोटाई वितरण मानचित्र, सतह खुरदरापन (आरए) मान, और सामग्री शुद्धता (जीडीएमएस) विश्लेषण निष्कर्ष।