SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर की अनूठी कार्बाइड कोटिंग्स सेमीकंडक्टर और मिश्रित सेमीकंडक्टर सामग्री की मांग के प्रसंस्करण के लिए SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया में ग्रेफाइट भागों के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करती हैं। इसके परिणामस्वरूप ग्रेफाइट घटक का जीवन विस्तारित होता है, प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री का संरक्षण होता है, एपिटेक्सी और क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में अशुद्धता प्रवासन में बाधा आती है, जिसके परिणामस्वरूप उपज और गुणवत्ता में वृद्धि होती है।

हमारी टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स गर्म अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प और पिघली हुई धातुओं से उच्च तापमान (2200 डिग्री सेल्सियस तक) पर महत्वपूर्ण भट्टी और रिएक्टर घटकों की रक्षा करती हैं। वीटेक सेमीकंडक्टर के पास आपकी अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेफाइट प्रसंस्करण और माप क्षमताओं की एक विस्तृत श्रृंखला है, इसलिए हम आपके और आपके विशिष्ट एप्लिकेशन के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम के साथ शुल्क-भुगतान कोटिंग या पूर्ण-सेवा की पेशकश कर सकते हैं। .

यौगिक अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकंडक्टर विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष TaC कोटिंग प्रदान कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उद्योग की अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से, टीएसी कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त कर सकती है, जिससे क्रिस्टल टीएसी/जीएएन) और ईपीएल परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है, और महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकों के जीवनकाल का विस्तार होता है।

थर्मल इन्सुलेटर

क्रूसिबल, बीज धारक, डिफ्लेक्टर और फिल्टर सहित SiC, GaN और AlN क्रिस्टल विकास घटक। प्रतिरोधक ताप तत्व, नोजल, परिरक्षण रिंग और ब्रेजिंग फिक्स्चर, GaN और SiC एपिटैक्सियल CVD रिएक्टर घटकों सहित वेफर कैरियर, सैटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड, कैप और पेडस्टल, MOCVD घटकों सहित औद्योगिक असेंबली।

उद्देश्य:

● एलईडी (लाइट एमिटिंग डायोड) वेफर कैरियर

● ALD (सेमीकंडक्टर) रिसीवर

● ईपीआई रिसेप्टर (SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर सिक एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग टीएसी लेपित तीन पंखुड़ी वाली अंगूठी एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

सिक कोटिंग और TaC कोटिंग की तुलना:

	सिक	टीएसी
मुख्य विशेषताएं	अति उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
पवित्रता	>99.9999%	>99.9999%
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	3.21	15
कठोरता (किलो/मिमी²)	2900-3300	6.7-7.2
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
तापीय चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्तार का गुणांक(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
आवेदन	सेमीकंडक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर)	सिक सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपी, यूवी एलईडी उपकरण भाग

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झरझरा TaC लेपित ग्रेफाइट अंगूठी

VETEK द्वारा निर्मित झरझरा TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग एक हल्के झरझरा ग्रेफाइट सब्सट्रेट का उपयोग करती है और इसे उच्च शुद्धता वाले टैंटलम कार्बाइड कोटिंग के साथ लेपित किया जाता है, जिसमें उच्च तापमान, संक्षारक गैसों और प्लाज्मा क्षरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध होता है।

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CVD TAC कोटेड थ्री-पंखुड़ी गाइड रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर ने कई वर्षों के तकनीकी विकास का अनुभव किया है और सीवीडी टीएसी कोटिंग की अग्रणी प्रक्रिया प्रौद्योगिकी में महारत हासिल की है। CVD TAC कोटेड थ्री-पीटल गाइड रिंग Vetek सेमीकंडक्टर के सबसे परिपक्व CVD TAC कोटिंग उत्पादों में से एक है और PVT विधि द्वारा SIC क्रिस्टल तैयार करने के लिए एक महत्वपूर्ण घटक है। वेटेक सेमीकंडक्टर की मदद से, मेरा मानना है कि आपका SIC क्रिस्टल उत्पादन चिकना और अधिक कुशल होगा।

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टैंटलम कार्बाइड लेपित झरझरा ग्रेफाइट

टैंटलम कार्बाइड लेपित झरझरा ग्रेफाइट अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रिया में एक अपरिहार्य उत्पाद है, विशेष रूप से एसआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में। निरंतर आर एंड डी निवेश और प्रौद्योगिकी उन्नयन के बाद, वेटेक सेमीकंडक्टर के टीएसी लेपित झरझरा ग्रेफाइट उत्पाद गुणवत्ता ने यूरोपीय और अमेरिकी ग्राहकों से उच्च प्रशंसा जीती है। आपके आगे के परामर्श में आपका स्वागत है।

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CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर

CVD TAC कोटिंग प्लैनेटरी SIC एपिटैक्सियल सूसोसेप्टर MOCVD प्लैनेटरी रिएक्टर के मुख्य घटकों में से एक है। सीवीडी टीएसी कोटिंग प्लैनेटरी एसआईसी एपिटैक्सियल सूसोसेप्टर के माध्यम से, बड़ी डिस्क ऑर्बिट्स और छोटी डिस्क घूमती है, और क्षैतिज प्रवाह मॉडल को मल्टी-चिप मशीनों तक बढ़ाया जाता है, ताकि इसमें उच्च-गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल वेवलेंथ मैनेजमेंट और सिंगल ऑप्टिमाइज़ेशन दोनों हैं। -चिप मशीनों और मल्टी-चिप मशीनों के उत्पादन लागत लाभ। यदि आप भी Aixtron की तरह एक ग्रह mocvd भट्ठी बनाना चाहते हैं, तो हमारे पास आओ!

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गान एपिटैक्सी अंडरटेकर

Vetek सेमीकंडक्टर एक चीनी कंपनी है जो एक विश्व स्तरीय निर्माता और GAN एपिटैक्सी सूसोसेप्टर का आपूर्तिकर्ता है। हम सेमीकंडक्टर उद्योग में काम कर रहे हैं जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स और जीएएन एपिटैक्सी सूसोसेप्टर लंबे समय से। हम आपको उत्कृष्ट उत्पाद और अनुकूल कीमतें प्रदान कर सकते हैं। वेटेक सेमीकंडक्टर आपके दीर्घकालिक साथी बनने के लिए तत्पर है।

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टीएसी कोटेड वेफर सूसोसेप्टर

वेटर गुणवत्ता और प्रदर्शन में सुधार करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए टैंटलम कार्बाइड के साथ लेपित एक ग्रेफाइट ट्रे को लेपित एक ग्रेफाइट ट्रे है। वेटेक को अपनी उन्नत कोटिंग तकनीक और टिकाऊ समाधानों के कारण चुना जाता है ताकि उत्कृष्ट एसआईसी एपिटैक्सी परिणाम और विस्तारित सूसोसेटर जीवन सुनिश्चित किया जा सके, आपकी आगे की पूछताछ का स्वागत करें।

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चीन में एक पेशेवर SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।