SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर की अनूठी कार्बाइड कोटिंग्स सेमीकंडक्टर और मिश्रित सेमीकंडक्टर सामग्री की मांग के प्रसंस्करण के लिए SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया में ग्रेफाइट भागों के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करती हैं। इसके परिणामस्वरूप ग्रेफाइट घटक का जीवन विस्तारित होता है, प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री का संरक्षण होता है, एपिटेक्सी और क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में अशुद्धता प्रवासन में बाधा आती है, जिसके परिणामस्वरूप उपज और गुणवत्ता में वृद्धि होती है।

हमारी टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स गर्म अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प और पिघली हुई धातुओं से उच्च तापमान (2200 डिग्री सेल्सियस तक) पर महत्वपूर्ण भट्टी और रिएक्टर घटकों की रक्षा करती हैं। वीटेक सेमीकंडक्टर के पास आपकी अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेफाइट प्रसंस्करण और माप क्षमताओं की एक विस्तृत श्रृंखला है, इसलिए हम आपके और आपके विशिष्ट एप्लिकेशन के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम के साथ शुल्क-भुगतान कोटिंग या पूर्ण-सेवा की पेशकश कर सकते हैं। .

यौगिक अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकंडक्टर विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष TaC कोटिंग प्रदान कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उद्योग की अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से, टीएसी कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त कर सकती है, जिससे क्रिस्टल टीएसी/जीएएन) और ईपीएल परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है, और महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकों के जीवनकाल का विस्तार होता है।

थर्मल इन्सुलेटर

क्रूसिबल, बीज धारक, डिफ्लेक्टर और फिल्टर सहित SiC, GaN और AlN क्रिस्टल विकास घटक। प्रतिरोधक ताप तत्व, नोजल, परिरक्षण रिंग और ब्रेजिंग फिक्स्चर, GaN और SiC एपिटैक्सियल CVD रिएक्टर घटकों सहित वेफर कैरियर, सैटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड, कैप और पेडस्टल, MOCVD घटकों सहित औद्योगिक असेंबली।

उद्देश्य:

● एलईडी (लाइट एमिटिंग डायोड) वेफर कैरियर

● ALD (सेमीकंडक्टर) रिसीवर

● ईपीआई रिसेप्टर (SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर सिक एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग टीएसी लेपित तीन पंखुड़ी वाली अंगूठी एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

सिक कोटिंग और TaC कोटिंग की तुलना:

	सिक	टीएसी
मुख्य विशेषताएं	अति उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
पवित्रता	>99.9999%	>99.9999%
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	3.21	15
कठोरता (किलो/मिमी²)	2900-3300	6.7-7.2
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
तापीय चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्तार का गुणांक(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
आवेदन	सेमीकंडक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर)	सिक सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपी, यूवी एलईडी उपकरण भाग

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पोरस टैंटलम कार्बाइड

वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर निर्माता और चीन में झरझरा टैंटलम कार्बाइड उत्पादों के नेता हैं। झरझरा टैंटलम कार्बाइड आमतौर पर रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) विधि द्वारा निर्मित होता है, जो इसके छिद्र आकार और वितरण का सटीक नियंत्रण सुनिश्चित करता है, और उच्च तापमान चरम वातावरण के लिए समर्पित एक सामग्री उपकरण है। अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें।

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TaC कोटिंग गाइड रिंग

Vetek सेमीकंडक्टर की TAC कोटिंग गाइड रिंग को रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) नामक एक उच्च उन्नत तकनीक का उपयोग करके ग्रेफाइट भागों पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग को लागू करके बनाया जाता है। यह विधि अच्छी तरह से स्थापित है और असाधारण कोटिंग गुण प्रदान करती है। टीएसी कोटिंग गाइड रिंग का उपयोग करके, ग्रेफाइट घटकों के जीवनकाल को काफी बढ़ाया जा सकता है, ग्रेफाइट अशुद्धियों के आंदोलन को दबा दिया जा सकता है, और एसआईसी और एआईएन एकल क्रिस्टल गुणवत्ता को मज़बूती से बनाए रखा जा सकता है। हमें पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।

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टैंटलम कार्बाइड रिंग

चीन में टैंटलम कार्बाइड रिंग उत्पादों के एक उन्नत निर्माता और निर्माता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड रिंग में बहुत अधिक कठोरता, पहनने का प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता है, और यह व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर विनिर्माण क्षेत्र में उपयोग किया जाता है। विशेष रूप से सीवीडी, पीवीडी, आयन आरोपण प्रक्रिया, नक़्क़ाशी प्रक्रिया, और वेफर प्रसंस्करण और परिवहन में, यह अर्धचालक प्रसंस्करण और विनिर्माण के लिए एक अपरिहार्य उत्पाद है। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।

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टैंटलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन

चीन में एक पेशेवर टैंटालम कार्बाइड कोटिंग समर्थन उत्पाद निर्माता और कारखाने के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन आमतौर पर सेमीकंडक्टर उपकरणों में संरचनात्मक घटकों या समर्थन घटकों की सतह कोटिंग के लिए उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से सीवीडी और पीवीडी जैसे अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में प्रमुख उपकरण घटकों की सतह संरक्षण के लिए। अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें।

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टैंटलम कार्बाइड गाइड रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर निर्माता और चीन में टैंटलम कार्बाइड गाइड रिंग उत्पादों के नेता हैं। हमारा टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) गाइड रिंग टैंटलम कार्बाइड से बना एक उच्च-प्रदर्शन रिंग घटक है, जो आमतौर पर अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से उच्च तापमान और उच्च संक्षारक वातावरण जैसे कि सीवीडी, पीवीडी, नक़्क़ाशी और प्रसार में। वेटेक सेमीकंडक्टर अर्धचालक उद्योग के लिए उन्नत प्रौद्योगिकी और उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है, और आपकी आगे की पूछताछ का स्वागत करता है।

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टीएसी कोटिंग रोटेशन सूस्विनर

एक पेशेवर निर्माता के रूप में, इनोवेटर और टीएसी कोटिंग रोटेशन के नेता चीन में रोटेशन सूसोसेप्टर उत्पाद। VETEK सेमीकंडक्टर TAC कोटिंग रोटेशन सुस्पष्ट व्यक्ति आमतौर पर रासायनिक वाष्पीकरण (CVD) और आणविक बीम एपिटैक्सी (MBE) उपकरणों में एक समान सामग्री जमाव और कुशल प्रतिक्रिया सुनिश्चित करने के लिए वेफर्स को समर्थन और घुमाने के लिए स्थापित किया जाता है। यह अर्धचालक प्रसंस्करण में एक प्रमुख घटक है। अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें।

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चीन में एक पेशेवर SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।