पोरस टैंटलम कार्बाइड

वेटेक सेमीकंडक्टर पोरस टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) एक उच्च-प्रदर्शन वाली सिरेमिक सामग्री है जो टैंटलम और कार्बन के गुणों को जोड़ती है। इसकी झरझरा संरचना उच्च तापमान और चरम वातावरण में विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए बहुत उपयुक्त है। टीएसी उत्कृष्ट कठोरता, थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध को जोड़ती है, जिससे यह अर्धचालक प्रसंस्करण में एक आदर्श सामग्री विकल्प बन जाता है।

झरझरा टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) टैंटलम (टीए) और कार्बन (सी) से बना होता है, जिसमें टैंटलम कार्बन परमाणुओं के साथ एक मजबूत रासायनिक बंधन बनाता है, जिससे सामग्री को उच्च उच्च स्थायित्व और पहनने के प्रतिरोध मिलते हैं। झरझरा टीएसी की झरझरा संरचना सामग्री की निर्माण प्रक्रिया के दौरान बनाई जाती है, और विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं के अनुसार छिद्र को नियंत्रित किया जा सकता है। यह उत्पाद आमतौर पर द्वारा निर्मित होता हैरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)विधि, इसके छिद्र आकार और वितरण का सटीक नियंत्रण सुनिश्चित करना।

टैंटलम कार्बाइड की आणविक संरचना

Vetek सेमीकंडक्टर झरझरा टैंटलम कार्बाइड (TAC) में निम्नलिखित उत्पाद विशेषताएं हैं

● पोरसिटी: झरझरा संरचना इसे विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्यों में अलग -अलग कार्य देती है, जिसमें गैस प्रसार, निस्पंदन या नियंत्रित गर्मी अपव्यय शामिल हैं।

● उच्च पिघलने बिंदु: टैंटलम कार्बाइड में लगभग 3,880 डिग्री सेल्सियस का एक उच्च पिघलने बिंदु है, जो अत्यधिक उच्च तापमान वातावरण के लिए उपयुक्त है।

● उत्कृष्ट कठोरता: झरझरा टीएसी में हीरे के समान मोह्स हार्डनेस स्केल में लगभग 9-10 की उच्च कठोरता है। , और चरम परिस्थितियों में यांत्रिक पहनने का विरोध कर सकते हैं।

● थर्मल स्थिरता: टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) सामग्री उच्च तापमान वातावरण में स्थिर रह सकती है और मजबूत थर्मल स्थिरता है, उच्च तापमान वातावरण में इसके लगातार प्रदर्शन को सुनिश्चित करता है।

● उच्च तापीय चालकता: इसकी छिद्रता के बावजूद, झरझरा टैंटलम कार्बाइड अभी भी अच्छी तापीय चालकता को बरकरार रखता है, कुशल गर्मी हस्तांतरण सुनिश्चित करता है।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक: टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) का कम थर्मल विस्तार गुणांक सामग्री को महत्वपूर्ण तापमान में उतार -चढ़ाव के तहत स्थिर रूप से स्थिर रहने में मदद करता है और थर्मल तनाव के प्रभाव को कम करता है।

टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण

अर्धचालक विनिर्माण में, झरझरा टैंटालम कार्बाइड (टीएसी) निम्नलिखित विशिष्ट प्रमुख भूमिका निभाता हैs

उच्च तापमान प्रक्रियाओं मेंप्लाज्मा नक़्क़ाशीऔर सीवीडी, वेटेक सेमीकंडक्टर झरझरा टैंटलम कार्बाइड अक्सर प्रसंस्करण उपकरणों के लिए एक सुरक्षात्मक कोटिंग के रूप में उपयोग किया जाता है। यह मजबूत संक्षारण प्रतिरोध के कारण हैटीएसी कोटिंगऔर इसकी उच्च तापमान स्थिरता। ये गुण यह सुनिश्चित करते हैं कि यह प्रभावी रूप से प्रतिक्रियाशील गैसों या अत्यधिक तापमान के संपर्क में आने वाली सतहों की रक्षा करता है, जिससे उच्च तापमान प्रक्रियाओं की सामान्य प्रतिक्रिया सुनिश्चित होती है।

प्रसार प्रक्रियाओं में, झरझरा टैंटलम कार्बाइड उच्च तापमान प्रक्रियाओं में सामग्रियों के मिश्रण को रोकने के लिए एक प्रभावी प्रसार बाधा के रूप में काम कर सकता है। इस सुविधा का उपयोग अक्सर आयन आरोपण और सेमीकंडक्टर वेफर्स के शुद्धता नियंत्रण जैसी प्रक्रियाओं में डोपेंट के प्रसार को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर झरझरा टैंटलम कार्बाइड की झरझरा संरचना अर्धचालक प्रसंस्करण वातावरण के लिए बहुत उपयुक्त है, जिसमें सटीक गैस प्रवाह नियंत्रण या निस्पंदन की आवश्यकता होती है। इस प्रक्रिया में, झरझरा टीएसी मुख्य रूप से गैस निस्पंदन और वितरण की भूमिका निभाता है। इसकी रासायनिक जड़ता यह सुनिश्चित करती है कि निस्पंदन प्रक्रिया के दौरान कोई भी दूषित पदार्थ पेश नहीं किया जाता है। यह प्रभावी रूप से संसाधित उत्पाद की शुद्धता की गारंटी देता है।

एक सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग