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एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट
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एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में LPE के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटेड हाफमून पार्ट का एक प्रमुख आपूर्तिकर्ता है, जो कई वर्षों से TaC कोटिंग तकनीक पर ध्यान केंद्रित कर रहा है। एलपीई के लिए हमारा टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट तरल चरण एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है और 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक के उच्च तापमान का सामना कर सकता है। उत्कृष्ट सामग्री प्रदर्शन और प्रक्रिया नवाचार के साथ, हमारा उत्पाद जीवन उद्योग में अग्रणी स्तर पर है। VeTek सेमीकंडक्टर चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर है।

पेशेवर निर्माता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर आपको एलपीई के लिए उच्च गुणवत्ता वाला टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट प्रदान करना चाहता है।

VeTek सेमीकंडक्टर एक पेशेवर नेता चीन SiC, TaC कोटिंग, उच्च गुणवत्ता और उचित मूल्य के साथ ठोस SiC निर्माता है। LPE के लिए हमारे टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट का उपयोग सब्सट्रेट, तापमान नियंत्रण, गर्मी ले जाने के लिए क्षैतिज और ऊर्ध्वाधर एपिटेक्सी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष में किया जाता है। संरक्षण, वेंटिलेशन, सुरक्षा और अन्य कार्य, ताकि प्रतिक्रिया कक्ष के अंदर SiC एपिटॉक्सी परत वृद्धि की मोटाई, डोपिंग, दोष और अन्य भौतिक विशेषताओं को संयुक्त रूप से नियंत्रित किया जा सके।

वीटेक सेमीकंडक्टर संबंधित उत्पाद: ऊपरी हाफमून, निचला हाफमून, सुरक्षात्मक आवरण, इन्सुलेशन कवर, प्रोसेस एयर डायवर्जन इंटरफ़ेस। हमारी कंपनी ग्राहकों को प्रतिक्रिया कक्ष SiC लेपित और TaC लेपित घटक समाधानों की पूरी श्रृंखला प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है।


एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट का उत्पाद पैरामीटर

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व 14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन 0.3
थर्मल विस्तार गुणांक 6.3×10-6/के
कठोरता (एचके) 2000 एच.के
प्रतिरोध 1×10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता <2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है -10~-20um
कोटिंग की मोटाई ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)


वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप:

VeTek Semiconductor Production Shop


सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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    +86-18069220752

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    anny@veteksemi.com

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