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SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर की अनूठी कार्बाइड कोटिंग्स सेमीकंडक्टर और मिश्रित सेमीकंडक्टर सामग्री की मांग के प्रसंस्करण के लिए SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया में ग्रेफाइट भागों के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करती हैं। इसके परिणामस्वरूप ग्रेफाइट घटक का जीवन विस्तारित होता है, प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री का संरक्षण होता है, एपिटेक्सी और क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में अशुद्धता प्रवासन में बाधा आती है, जिसके परिणामस्वरूप उपज और गुणवत्ता में वृद्धि होती है।


हमारी टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स गर्म अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प और पिघली हुई धातुओं से उच्च तापमान (2200 डिग्री सेल्सियस तक) पर महत्वपूर्ण भट्टी और रिएक्टर घटकों की रक्षा करती हैं। वीटेक सेमीकंडक्टर के पास आपकी अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेफाइट प्रसंस्करण और माप क्षमताओं की एक विस्तृत श्रृंखला है, इसलिए हम आपके और आपके विशिष्ट एप्लिकेशन के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम के साथ शुल्क-भुगतान कोटिंग या पूर्ण-सेवा की पेशकश कर सकते हैं। .


यौगिक अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकंडक्टर विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष TaC कोटिंग प्रदान कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उद्योग की अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से, टीएसी कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त कर सकती है, जिससे क्रिस्टल टीएसी/जीएएन) और ईपीएल परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है, और महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकों के जीवनकाल का विस्तार होता है।


थर्मल इन्सुलेटर

क्रूसिबल, बीज धारक, डिफ्लेक्टर और फिल्टर सहित SiC, GaN और AlN क्रिस्टल विकास घटक। प्रतिरोधक ताप तत्व, नोजल, परिरक्षण रिंग और ब्रेजिंग फिक्स्चर, GaN और SiC एपिटैक्सियल CVD रिएक्टर घटकों सहित वेफर कैरियर, सैटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड, कैप और पेडस्टल, MOCVD घटकों सहित औद्योगिक असेंबली।


उद्देश्य:

 ● एलईडी (लाइट एमिटिंग डायोड) वेफर कैरियर

● ALD (सेमीकंडक्टर) रिसीवर

● ईपीआई रिसेप्टर (SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया)


सिक कोटिंग और TaC कोटिंग की तुलना:

सिक टीएसी
मुख्य विशेषताएं अति उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
पवित्रता >99.9999% >99.9999%
घनत्व (ग्राम/सेमी.)3) 3.21 15
कठोरता (किलो/मिमी2) 2900-3300 6.7-7.2
प्रतिरोधकता [Ωcm] 0.1-15,000 <1
तापीय चालकता (W/m-K) 200-360 22
थर्मल विस्तार का गुणांक(10-6/℃) 4.5-5 6.3
आवेदन सेमीकंडक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर) सिक सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपी, यूवी एलईडी उपकरण भाग


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सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल

सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल

वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर निर्माता और चीन में सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल उत्पादों के नेता हैं। CVD TAC कोटिंग क्रूसिबल टैंटलम कार्बन (TAC) कोटिंग पर आधारित है। टैंटलम कार्बन कोटिंग समान रूप से अपने गर्मी प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया के माध्यम से क्रूसिबल की सतह पर कवर किया जाता है। यह एक सामग्री उपकरण है जिसका उपयोग विशेष रूप से उच्च तापमान चरम वातावरण में किया जाता है। अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें।
सीवीडी टीएसी कोटिंग वेफर वाहक

सीवीडी टीएसी कोटिंग वेफर वाहक

चीन में एक पेशेवर सीवीडी टीएसी कोटिंग वेफर वाहक उत्पाद निर्माता और कारखाने के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी टीएसी कोटिंग वेफर कैरियर एक वेफर ले जाने वाला उपकरण है जो विशेष रूप से अर्धचालक विनिर्माण में उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। और CVD TAC कोटिंग वेफर वाहक में उच्च यांत्रिक जंग प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता है, जो उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों के निर्माण के लिए आवश्यक गारंटी प्रदान करता है। आपकी आगे की पूछताछ का स्वागत है।
टीएसी कोटिंग हीटर

टीएसी कोटिंग हीटर

वेटेक सेमीकंडक्टर टीएसी कोटिंग हीटर में एक उच्च पिघलने बिंदु (लगभग 3880 डिग्री सेल्सियस) है। उच्च पिघलने बिंदु इसे अत्यधिक उच्च तापमान पर संचालित करने में सक्षम बनाता है, विशेष रूप से धातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (MOCVD) प्रक्रिया में गैलियम नाइट्राइड (GAN) एपिटैक्सियल परतों की वृद्धि में। वेटेक सेमीकंडक्टर ग्राहकों को अनुकूलित उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम आपके उत्तर की प्रतीक्षा में हैं।
सीवीडी टीएसी कोटिंग

सीवीडी टीएसी कोटिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर चीन है जो सीवीडी टीएसी कोटिंग उत्पाद निर्माता है। कई वर्षों से, हम विभिन्न CVD TAC कोटिंग उत्पादों जैसे CVD TAC कोटिंग कवर, CVD TAC कोटिंग रिंग पर ध्यान केंद्रित कर रहे हैं। Vetek सेमीकंडक्टर अनुकूलित उत्पाद सेवाओं और संतोषजनक उत्पाद की कीमतों का समर्थन करता है, और आपके आगे के परामर्श के लिए तत्पर है।
टैक लेपित चक

टैक लेपित चक

अपने उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक जड़ता और उत्कृष्ट प्रदर्शन के साथ, वेटेक सेमीकंडक्टर के टीएसी लेपित चक को अर्धचालक भट्टियों के लिए डिज़ाइन किया गया है। हम मानते हैं कि हमारे उत्पाद आपको उन्नत प्रौद्योगिकी और गुणवत्ता वाले उत्पाद समाधान ला सकते हैं।
TaC कोटिंग ट्यूब

TaC कोटिंग ट्यूब

VeTek सेमीकंडक्टर की TaC कोटिंग ट्यूब सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल के सफल विकास के लिए एक प्रमुख घटक है। अपने उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक जड़ता और उत्कृष्ट प्रदर्शन के साथ, यह लगातार परिणामों के साथ उच्च गुणवत्ता वाले क्रिस्टल का उत्पादन सुनिश्चित करता है। अपनी पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया को बढ़ाने और उत्कृष्ट परिणाम प्राप्त करने के लिए हमारे अभिनव समाधानों पर भरोसा करें। हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।
चीन में एक पेशेवर SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।
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