टीएसी कोटिंग रोटेशन सूस्विनर

Vetek सेमीकंडक्टर TAC कोटिंग रोटेशन Suscector अर्धचालक प्रसंस्करण में वेफर हैंडलिंग के लिए एक प्रमुख घटक है। इसकाटीएसी क्याहमाराउत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता (3880 डिग्री सेल्सियस तक पिघलने बिंदु), रासायनिक स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध है, जो वेफर प्रसंस्करण में उच्च परिशुद्धता और उच्च गुणवत्ता सुनिश्चित करता है।

टीएसी कोटिंग रोटेशन सूसोसेप्टर (टैंटालम कार्बन कोटिंग रोटेशन सुसज्जित) एक प्रमुख उपकरण घटक है जिसका उपयोग अर्धचालक प्रसंस्करण में किया जाता है। यह आमतौर पर में स्थापित हैरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)और आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) उपकरण एक समान सामग्री जमाव और कुशल प्रतिक्रिया सुनिश्चित करने के लिए वेफर्स को समर्थन और घुमाने के लिए उपकरण। इस प्रकार के उत्पाद में उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में उपकरणों के सेवा जीवन और प्रदर्शन में सुधार होता है।टैंटलम कार्बन (टीएसी) कोटिंग.

टीएसी कोटिंग रोटेशन सूस्विनर आमतौर पर टीएसी कोटिंग और ग्रेफाइट या सिलिकॉन कार्बाइड से बना होता है जो सब्सट्रेट सामग्री के रूप में होता है। टीएसी एक अल्ट्रा-हाई तापमान सिरेमिक सामग्री है जिसमें अत्यधिक उच्च पिघलने बिंदु (3880 डिग्री सेल्सियस तक पिघलने बिंदु), कठोरता (विकर्स हार्डनेस लगभग 2000 एचके है) और उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध है। वेटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी तकनीक के माध्यम से सब्सट्रेट सामग्री पर टैंटलम कार्बन कोटिंग को प्रभावी ढंग से और समान रूप से कवर कर सकता है।

रोटेशन सूस्विनर आमतौर पर उच्च तापीय चालकता और उच्च शक्ति सामग्री (ग्रेफाइट या) से बना होता हैसिलिकन कार्बाइड), जो उच्च तापमान वातावरण में अच्छा यांत्रिक समर्थन और थर्मल स्थिरता प्रदान कर सकता है। दोनों का सही संयोजन वेफर्स का समर्थन करने और घूर्णन में टीएसी कोटिंग रोटेशन सूस्वियों के सही प्रदर्शन को निर्धारित करता है।

TAC कोटिंग रोटेशन Souscector CVD प्रक्रिया में वेफर का समर्थन और घुमाता है। TAC की विकर्स कठोरता लगभग 2000 hk है, जो इसे सामग्री के बार -बार घर्षण का विरोध करने और एक अच्छी सहायक भूमिका निभाने में सक्षम बनाता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि प्रतिक्रिया गैस समान रूप से वेफर सतह पर वितरित की जाती है और सामग्री समान रूप से जमा होती है। इसी समय, टीएसी कोटिंग के उच्च तापमान सहिष्णुता और संक्षारण प्रतिरोध इसे उच्च तापमान और संक्षारक वायुमंडल में लंबे समय तक उपयोग करने में सक्षम बनाते हैं, जो प्रभावी रूप से वेफर और वाहक के संदूषण से बचता है।

इसके अलावा, TAC की थर्मल चालकता 21 w/m · k है, जिसमें अच्छी गर्मी हस्तांतरण है। इसलिए, टीएसी कोटिंग रोटेशन सूस्विनर उच्च तापमान की स्थिति में समान रूप से वेफर को गर्म कर सकता है और घूर्णी गति के माध्यम से गैस बयान प्रक्रिया की एकरूपता सुनिश्चित कर सकता है, जिससे स्थिरता और उच्च गुणवत्ता को बनाए रखा जा सकता हैवेफर वृद्धि.

एक सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग：

टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण：

टीएसी कोटिंग रोटेशन सूसोसेप्टर दुकानें: