SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर की अनूठी कार्बाइड कोटिंग्स सेमीकंडक्टर और मिश्रित सेमीकंडक्टर सामग्री की मांग के प्रसंस्करण के लिए SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया में ग्रेफाइट भागों के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करती हैं। इसके परिणामस्वरूप ग्रेफाइट घटक का जीवन विस्तारित होता है, प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री का संरक्षण होता है, एपिटेक्सी और क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में अशुद्धता प्रवासन में बाधा आती है, जिसके परिणामस्वरूप उपज और गुणवत्ता में वृद्धि होती है।

हमारी टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स गर्म अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प और पिघली हुई धातुओं से उच्च तापमान (2200 डिग्री सेल्सियस तक) पर महत्वपूर्ण भट्टी और रिएक्टर घटकों की रक्षा करती हैं। वीटेक सेमीकंडक्टर के पास आपकी अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेफाइट प्रसंस्करण और माप क्षमताओं की एक विस्तृत श्रृंखला है, इसलिए हम आपके और आपके विशिष्ट एप्लिकेशन के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम के साथ शुल्क-भुगतान कोटिंग या पूर्ण-सेवा की पेशकश कर सकते हैं। .

यौगिक अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकंडक्टर विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष TaC कोटिंग प्रदान कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उद्योग की अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से, टीएसी कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त कर सकती है, जिससे क्रिस्टल टीएसी/जीएएन) और ईपीएल परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है, और महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकों के जीवनकाल का विस्तार होता है।

थर्मल इन्सुलेटर

क्रूसिबल, बीज धारक, डिफ्लेक्टर और फिल्टर सहित SiC, GaN और AlN क्रिस्टल विकास घटक। प्रतिरोधक ताप तत्व, नोजल, परिरक्षण रिंग और ब्रेजिंग फिक्स्चर, GaN और SiC एपिटैक्सियल CVD रिएक्टर घटकों सहित वेफर कैरियर, सैटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड, कैप और पेडस्टल, MOCVD घटकों सहित औद्योगिक असेंबली।

उद्देश्य:

● एलईडी (लाइट एमिटिंग डायोड) वेफर कैरियर

● ALD (सेमीकंडक्टर) रिसीवर

● ईपीआई रिसेप्टर (SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर सिक एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग टीएसी लेपित तीन पंखुड़ी वाली अंगूठी एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

सिक कोटिंग और TaC कोटिंग की तुलना:

	सिक	टीएसी
मुख्य विशेषताएं	अति उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
पवित्रता	>99.9999%	>99.9999%
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	3.21	15
कठोरता (किलो/मिमी²)	2900-3300	6.7-7.2
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
तापीय चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्तार का गुणांक(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
आवेदन	सेमीकंडक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर)	सिक सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपी, यूवी एलईडी उपकरण भाग

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टीएसी कोटिंग प्लेट

सटीकता के साथ डिज़ाइन किया गया और पूर्णता के लिए इंजीनियर, वेटेक सेमीकंडक्टर की टीएसी कोटिंग प्लेट विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रोसेस में विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए सिलवाया गया है। टीएसी कोटिंग प्लेट के प्रीसिस आयामों और मजबूत निर्माण को मौजूदा सिस्टम में एकीकृत करना आसान है, जो सीमलेस संगतता और कुशल संचालन को सुनिश्चित करता है। इसके विश्वसनीय प्रदर्शन और उच्च गुणवत्ता वाले कोटिंग SIC क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में सुसंगत और समान परिणामों में योगदान करते हैं। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में अपने दीर्घकालिक भागीदार होने के लिए तत्पर हैं।

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सीवीडी टीएसी कोटिंग कवर

वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा प्रदान की गई सीवीडी टीएसी कोटिंग कवर एक उच्च विशिष्ट घटक है जिसे विशेष रूप से अनुप्रयोगों की मांग के लिए डिज़ाइन किया गया है। अपनी उन्नत सुविधाओं और असाधारण प्रदर्शन के साथ, हमारा सीवीडी टीएसी कोटिंग कवर कई प्रमुख लाभ प्रदान करता है। सीवीडी टीएसी कोटिंग कवर सफलता के लिए आवश्यक सुरक्षा और प्रदर्शन प्रदान करता है। हम आपके साथ संभावित सहयोग की खोज के लिए तत्पर हैं!

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टीएसी कोटिंग प्लैनेटरी सूस्विनर

TAC कोटिंग प्लैनेटरी सूसोसेटर Aixtron epitaxy उपकरण के लिए एक असाधारण उत्पाद है। वेटेक सेमीकंडक्टर की टीएसी कोटिंग उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता प्रदान करती है। यह अद्वितीय संयोजन विश्वसनीय प्रदर्शन और लंबी सेवा जीवन सुनिश्चित करता है, यहां तक कि मांग वाले वातावरण में भी। वेटेक उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने और प्रतिस्पर्धी मूल्य निर्धारण के साथ चीनी बाजार में एक दीर्घकालिक भागीदार के रूप में सेवा करने के लिए प्रतिबद्ध है।

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टीएसी कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट

टीएसी कोटिंग 2200 ℃ के उच्च तापमान का सामना कर सकती है। Vetek सेमीकंडक्टर चीन में 5ppm से नीचे अशुद्धियों के साथ उच्च शुद्धता TAC कोटिंग प्रदान करता है। टीएसी कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट अमोनिया हाइड्रोजन, आर्गोनिन को एपिटैक्सियल डिवाइस रिएक्शन चैंबर में ले जाने में सक्षम है। यह उत्पाद के सेवा जीवन में सुधार करता है। आप आवश्यकताएं प्रदान करते हैं, हम अनुकूलन प्रदान करते हैं।

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टीएसी कोटिंग चक

वेटेक सेमीकंडक्टर के टीएसी कोटिंग चक में एक उच्च गुणवत्ता वाली कोटिंग सतह है, जो अपने उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक निष्क्रियता के लिए जाना जाता है, विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) एपिटैक्सी (ईपीआई) प्रक्रियाओं में। अपनी असाधारण विशेषताओं और बेहतर प्रदर्शन के साथ, हमारे टीएसी कोटिंग चक कई प्रमुख लाभ प्रदान करता है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में अपने दीर्घकालिक भागीदार होने के लिए तत्पर हैं।

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एलपीई सीआईसी ईपीआई हाफमून

एलपीई सीआईसी एपी हाफमून क्षैतिज एपिटैक्सी फर्नेस के लिए एक विशेष डिजाइन है, एक क्रांतिकारी उत्पाद जो एलपीई रिएक्टर सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रियाओं को ऊंचा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह अत्याधुनिक समाधान कई प्रमुख विशेषताओं का दावा करता है जो आपके विनिर्माण कार्यों में बेहतर प्रदर्शन और दक्षता सुनिश्चित करता है। वीटेक सेमीकंडक्टर 6 इंच, 8 इंच में एलपीई सीआईसी एपी हाफमून के निर्माण में पेशेवर है। आपके साथ दीर्घकालिक सहयोग स्थापित करने के लिए तत्पर है।

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चीन में एक पेशेवर SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।