SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर की अनूठी कार्बाइड कोटिंग्स सेमीकंडक्टर और मिश्रित सेमीकंडक्टर सामग्री की मांग के प्रसंस्करण के लिए SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया में ग्रेफाइट भागों के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करती हैं। इसके परिणामस्वरूप ग्रेफाइट घटक का जीवन विस्तारित होता है, प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री का संरक्षण होता है, एपिटेक्सी और क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में अशुद्धता प्रवासन में बाधा आती है, जिसके परिणामस्वरूप उपज और गुणवत्ता में वृद्धि होती है।

हमारी टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स गर्म अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प और पिघली हुई धातुओं से उच्च तापमान (2200 डिग्री सेल्सियस तक) पर महत्वपूर्ण भट्टी और रिएक्टर घटकों की रक्षा करती हैं। वीटेक सेमीकंडक्टर के पास आपकी अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेफाइट प्रसंस्करण और माप क्षमताओं की एक विस्तृत श्रृंखला है, इसलिए हम आपके और आपके विशिष्ट एप्लिकेशन के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम के साथ शुल्क-भुगतान कोटिंग या पूर्ण-सेवा की पेशकश कर सकते हैं। .

यौगिक अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकंडक्टर विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष TaC कोटिंग प्रदान कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उद्योग की अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से, टीएसी कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त कर सकती है, जिससे क्रिस्टल टीएसी/जीएएन) और ईपीएल परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है, और महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकों के जीवनकाल का विस्तार होता है।

थर्मल इन्सुलेटर

क्रूसिबल, बीज धारक, डिफ्लेक्टर और फिल्टर सहित SiC, GaN और AlN क्रिस्टल विकास घटक। प्रतिरोधक ताप तत्व, नोजल, परिरक्षण रिंग और ब्रेजिंग फिक्स्चर, GaN और SiC एपिटैक्सियल CVD रिएक्टर घटकों सहित वेफर कैरियर, सैटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड, कैप और पेडस्टल, MOCVD घटकों सहित औद्योगिक असेंबली।

उद्देश्य:

● एलईडी (लाइट एमिटिंग डायोड) वेफर कैरियर

● ALD (सेमीकंडक्टर) रिसीवर

● ईपीआई रिसेप्टर (SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहीय SiC एपीटैक्सियल ससेप्टर सिक एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग टीएसी लेपित तीन पंखुड़ी वाली अंगूठी एलपीई के लिए टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

सिक कोटिंग और TaC कोटिंग की तुलना:

	सिक	टीएसी
मुख्य विशेषताएं	अति उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
पवित्रता	>99.9999%	>99.9999%
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	3.21	15
कठोरता (किलो/मिमी²)	2900-3300	6.7-7.2
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
तापीय चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्तार का गुणांक(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
आवेदन	सेमीकंडक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर)	सिक सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपी, यूवी एलईडी उपकरण भाग

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टीएसी कोटिंग स्पेयर पार्ट

TAC कोटिंग का उपयोग वर्तमान में मुख्य रूप से सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ (PVT विधि), एपिटैक्सियल डिस्क (सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी, एलईडी एपिटैक्सी सहित), आदि जैसी प्रक्रियाओं में किया जाता है, जो TAC कोटिंग प्लेट की अच्छी दीर्घकालिक स्थिरता के साथ संयुक्त रूप से संयुक्त रूप से TAC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स के लिए बेंचमार्क बन गया है। हम आपके दीर्घकालिक साथी बनने के लिए तत्पर हैं।

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एपि रिसीवर पर गण

एसआईसी ईपीआई सस्पेक्टर पर जीएएन अपनी उत्कृष्ट तापीय चालकता, उच्च तापमान प्रसंस्करण क्षमता और रासायनिक स्थिरता के माध्यम से अर्धचालक प्रसंस्करण में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और जीएएन एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया की उच्च दक्षता और भौतिक गुणवत्ता सुनिश्चित करता है। Vetek सेमीकंडक्टर Sic Epi Souscector पर GAN का एक चीन पेशेवर निर्माता है, हम ईमानदारी से आपके आगे के परामर्श के लिए तत्पर हैं।

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सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक

सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक मुख्य रूप से अर्धचालक विनिर्माण की एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक के अल्ट्रा-हाई पिघलने बिंदु, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, और उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रिया में इस उत्पाद की अपरिहार्यता को निर्धारित करती है। आपकी आगे की जांच में आपका स्वागत है।

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टीएसी लेपित ग्रेफाइट समर्थन

Vetek सेमीकंडक्टर के TAC लेपित ग्रेफाइट सूसोसेप्टर ग्रेफाइट भागों की सतह पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तैयार करने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) विधि का उपयोग करते हैं। यह प्रक्रिया सबसे परिपक्व है और इसमें सबसे अच्छा कोटिंग गुण हैं। TAC लेपित ग्रेफाइट सूसप्लेर ग्रेफाइट घटकों के सेवा जीवन का विस्तार कर सकते हैं, ग्रेफाइट अशुद्धियों के प्रवास को रोक सकते हैं, और एपिटैक्सी की गुणवत्ता सुनिश्चित कर सकते हैं। हम आपकी जांच के लिए तत्पर हैं।

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टीएसी कोटिंग सब्सर

Vetek सेमीकंडक्टर TAC कोटिंग सूसप्लेर को प्रस्तुत करता है, इसके असाधारण TAC कोटिंग के साथ, यह सेंसिटर एक भीड़ की भीड़ प्रदान करता है जो इसे पारंपरिक समाधानों से अलग करता है। मौजूदा सिस्टम में मूल रूप से, वेटेक सेमीकंडक्टर से TAC कोटिंग सूसोसेप्टर संगतता और कुशल संचालन की गारंटी देता है। इसका विश्वसनीय प्रदर्शन और उच्च गुणवत्ता वाला टीएसी कोटिंग लगातार SIC एपिटैक्सी प्रक्रियाओं में असाधारण परिणाम प्रदान करता है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में अपने दीर्घकालिक भागीदार होने के लिए तत्पर हैं।

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टीएसी कोटिंग रोटेशन प्लेट

Vetek सेमीकंडक्टर द्वारा निर्मित TAC कोटिंग रोटेशन प्लेट एक उत्कृष्ट TAC कोटिंग का दावा करती है, इसके असाधारण TAC कोटिंग के साथ, TAC कोटिंग रोटेशन प्लेट में उल्लेखनीय उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक निष्क्रियता है, जो इसे पारंपरिक समाधानों से अलग सेट करती है।

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चीन में एक पेशेवर SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।