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सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक
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सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक

सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक मुख्य रूप से अर्धचालक विनिर्माण की एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक के अल्ट्रा-हाई पिघलने बिंदु, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, और उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रिया में इस उत्पाद की अपरिहार्यता को निर्धारित करती है। आपकी आगे की जांच में आपका स्वागत है।

वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर नेता चीन सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक, एपिटैक्सी सूसोसेक्टर है,टीएसी लेपित ग्रेफाइट समर्थननिर्माता।


निरंतर प्रक्रिया और सामग्री नवाचार अनुसंधान के माध्यम से, वेटेक सेमीकंडक्टर के सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक एपिटैक्सियल प्रक्रिया में बहुत महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं, मुख्य रूप से निम्नलिखित पहलुओं सहित:


सब्सट्रेट संरक्षण: सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और थर्मल स्थिरता प्रदान करता है, उच्च तापमान और संक्षारक गैसों को प्रभावी ढंग से रिएक्टर की सब्सट्रेट और आंतरिक दीवार को मिटाने से रोकता है, प्रक्रिया वातावरण की शुद्धता और स्थिरता को सुनिश्चित करता है।


थर्मल एकरूपता: सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक की उच्च तापीय चालकता के साथ संयुक्त, यह रिएक्टर के भीतर तापमान वितरण की एकरूपता सुनिश्चित करता है, एपिटैक्सियल परत की क्रिस्टल गुणवत्ता और मोटाई एकरूपता का अनुकूलन करता है, और अंतिम उत्पाद की प्रदर्शन स्थिरता को बढ़ाता है।


कण संदूषण नियंत्रण: चूंकि सीवीडी टीएसी लेपित वाहक में बहुत कम कण पीढ़ी दर होती है, इसलिए चिकनी सतह के गुण कण संदूषण के जोखिम को काफी कम करते हैं, जिससे एपिटैक्सियल विकास के दौरान शुद्धता और उपज में सुधार होता है।


विस्तारित उपकरण जीवन: सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक के उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध के साथ संयुक्त, यह प्रतिक्रिया कक्ष घटकों के सेवा जीवन को काफी बढ़ाता है, उपकरण डाउनटाइम और रखरखाव लागत को कम करता है, और उत्पादन दक्षता में सुधार करता है।


उपरोक्त विशेषताओं को मिलाकर, वेटेक सेमीकंडक्टर के सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक न केवल एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया में प्रक्रिया की विश्वसनीयता और उत्पाद की गुणवत्ता में सुधार करता है, बल्कि अर्धचालक विनिर्माण के लिए एक लागत प्रभावी समाधान भी प्रदान करता है।


एक माइक्रोस्कोपिक क्रॉस सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग:


Tantalum carbide coating on a microscopic cross section picture


सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक के भौतिक गुण:

टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व
14.3 (जी/सेमी))
विशिष्ट उत्सर्जन
0.3
थर्मल विस्तार गुणांक
6.3*10-6/K
कठोरता (एचके)
2000 एचके
प्रतिरोध
1 × 10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदलता है
-10 ~ -20UM
कोटिंग मोटाई
≥20um ठेठ मान (35UM ± 10UM)


वेटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी एसआईसी कोटिंग प्रोडक्शन शॉप:

vETEK CVD TaC Coating Carrier SHOPS


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