एसआईसी ईपीआई सस्पेक्टर पर जीएएन अपनी उत्कृष्ट तापीय चालकता, उच्च तापमान प्रसंस्करण क्षमता और रासायनिक स्थिरता के माध्यम से अर्धचालक प्रसंस्करण में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और जीएएन एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया की उच्च दक्षता और भौतिक गुणवत्ता सुनिश्चित करता है। Vetek सेमीकंडक्टर Sic Epi Souscector पर GAN का एक चीन पेशेवर निर्माता है, हम ईमानदारी से आपके आगे के परामर्श के लिए तत्पर हैं।
एक पेशेवर के रूप मेंअर्धचालक निर्माताचाइना में,यह अर्धचालकएपि रिसीवर पर गणकी तैयारी प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण घटक हैगान ऑन सिसउपकरण, और इसका प्रदर्शन सीधे एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता को प्रभावित करता है। पावर इलेक्ट्रॉनिक्स, आरएफ उपकरणों और अन्य क्षेत्रों में एसआईसी उपकरणों पर जीएएन के व्यापक अनुप्रयोग के साथ, आवश्यकताओं के लिए आवश्यकताएंइस प्रकार ईपीआई रिसीवरउच्च और उच्च हो जाएगा। हम अर्धचालक उद्योग के लिए अंतिम प्रौद्योगिकी और उत्पाद समाधान प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, और आपके परामर्श का स्वागत करते हैं।
आम तौर पर, अर्धचालक प्रसंस्करण में एसआईसी ईपीआई सूसोसेप्टर पर जीएएन की भूमिकाएं निम्नलिखित के रूप में हैं:
● उच्च तापमान प्रसंस्करण क्षमता: एसआईसी ईपीआई सस्पेक्टोर पर जीएएन (सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ डिस्क पर आधारित जीएएन) मुख्य रूप से गैलियम नाइट्राइड (जीएएन) एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से उच्च तापमान वातावरण में। यह एपिटैक्सियल ग्रोथ डिस्क अत्यधिक उच्च प्रसंस्करण तापमान का सामना कर सकती है, आमतौर पर 1000 ° C और 1500 ° C के बीच, यह GAN सामग्री के एपिटैक्सियल ग्रोथ और सिलिकॉन कार्बाइड (SIC) सब्सट्रेट के प्रसंस्करण के लिए उपयुक्त है।
● उत्कृष्ट तापीय चालकता: एसआईसी ईपीआई सूस्रेसीर को विकास प्रक्रिया के दौरान तापमान एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए हीटिंग स्रोत द्वारा एसआईसी सब्सट्रेट द्वारा उत्पन्न गर्मी को समान रूप से स्थानांतरित करने के लिए अच्छी थर्मल चालकता की आवश्यकता होती है। सिलिकॉन कार्बाइड में अत्यधिक उच्च तापीय चालकता (लगभग 120-150 w/mk) होती है, और Sic एपिटैक्सी सूसोसेप्टर पर GAN सिलिकॉन जैसी पारंपरिक सामग्रियों की तुलना में अधिक प्रभावी ढंग से गर्मी का संचालन कर सकता है। यह सुविधा गैलियम नाइट्राइड एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया में महत्वपूर्ण है क्योंकि यह सब्सट्रेट की तापमान एकरूपता को बनाए रखने में मदद करती है, जिससे फिल्म की गुणवत्ता और स्थिरता में सुधार होता है।
● प्रदूषण को रोकें: एसआईसी ईपीआई सूसिएस पर जीएएन की सामग्री और सतह उपचार प्रक्रिया को विकास के माहौल के प्रदूषण को रोकने और एपिटैक्सियल परत में अशुद्धियों की शुरूआत से बचने में सक्षम होना चाहिए।
के एक पेशेवर निर्माता के रूप मेंएपि रिसीवर पर गण, छिद्रपूर्ण ग्रेफाइटऔरटीएसी कोटिंग प्लेटचीन में, वेटेक सेमीकंडक्टर हमेशा अनुकूलित उत्पाद सेवाएं प्रदान करने पर जोर देता है, और उद्योग को शीर्ष प्रौद्योगिकी और उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम ईमानदारी से आपके परामर्श और सहयोग के लिए तत्पर हैं।
Cvd sic कोटिंग फिल्म क्रिस्टल संरचना
सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
कोटिंग संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
Cvd sic कोटिंग घनत्व
3.21 ग्राम/सेमी।
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500g लोड)
अनाज आकार
2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
ताप की गुंजाइश
640 जे · किग्रा-1· K-1
उच्चता तापमान
2700 ℃
आनमनी सार्मथ्य
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक
430 GPA 4pt बेंड, 1300 ℃
ऊष्मीय चालकता
300W · एम-1· K-1
थर्मल विस्तार
4.5 × 10-6K-1
यह अर्धचालक एसआईसी ईपीआई सस्पेक्टर प्रोडक्शन शॉप्स पर गन
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