टीएसी लेपित ग्रेफाइट समर्थन

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टैंटलम कार्बाइड सिरेमिक सामग्री पिघलने बिंदु 3880 ℃ तक, एक उच्च पिघलने बिंदु और यौगिक की अच्छी रासायनिक स्थिरता है, इसका उच्च तापमान वातावरण अभी भी स्थिर प्रदर्शन को बनाए रख सकता है, इसके अलावा, इसमें उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध, अच्छा रासायनिक भी है और कार्बन सामग्री और अन्य विशेषताओं के साथ यांत्रिक संगतता, यह एक आदर्श ग्रेफाइट सब्सट्रेट सुरक्षात्मक कोटिंग सामग्री बनाती है। टैंटलम कार्बाइड कोटिंग प्रभावी रूप से हॉट अमोनिया, हाइड्रोजन और सिलिकॉन वाष्प और पिघले हुए धातु के प्रभाव से ग्रेफाइट घटकों को कठोर उपयोग वातावरण में बचा सकती है, ग्रेफाइट घटकों के सेवा जीवन को महत्वपूर्ण रूप से विस्तारित करती है, और ग्रेफाइट में अशुद्धियों के प्रवास को रोकती है, एपिटैक्सी और क्रिस्टल ग्रोथ की गुणवत्ता सुनिश्चित करना। यह मुख्य रूप से गीले सिरेमिक प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है।

ग्रेफाइट की सतह पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) सबसे परिपक्व और इष्टतम तैयारी विधि है।

TAC लेपित ग्रेफाइट सूसप्लेर के लिए CVD TAC कोटिंग विधि:

कोटिंग प्रक्रिया क्रमशः कार्बन स्रोत और टैंटालम स्रोत के रूप में TACL5 और प्रोपलीन का उपयोग करती है, और उच्च तापमान गैसीकरण के बाद प्रतिक्रिया कक्ष में टैंटलम पेंटाक्लोराइड वाष्प को लाने के लिए वाहक गैस के रूप में आर्गन। लक्ष्य तापमान और दबाव के तहत, अग्रदूत सामग्री के वाष्प को ग्रेफाइट भाग की सतह पर सोख दिया जाता है, और जटिल रासायनिक प्रतिक्रियाओं की एक श्रृंखला जैसे कि अपघटन और कार्बन स्रोत और टैंटलम स्रोत का संयोजन होता है। इसी समय, सतह की प्रतिक्रियाओं की एक श्रृंखला जैसे कि अग्रदूत के प्रसार और उप-उत्पादों के desorption भी शामिल हैं। अंत में, ग्रेफाइट भाग की सतह पर एक घनी सुरक्षात्मक परत बनती है, जो ग्रेफाइट भाग को चरम पर्यावरणीय परिस्थितियों में स्थिर होने से बचाती है। ग्रेफाइट सामग्रियों के अनुप्रयोग परिदृश्यों का विस्तार किया जाता है।

टीएसी कोटेड ग्रेफाइट सूस्विनर का उत्पाद पैरामीटर:

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