टैंटलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन

वेटेक सेमीकंडक्टर का मुख्य कार्यटैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंगसमर्थन में सुधार करना हैगर्मी प्रतिरोध, पहनें प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोधटैंटलम कार्बाइड कोटिंग की एक परत को कोटिंग करके सब्सट्रेट, ताकि प्रक्रिया की सटीकता और विश्वसनीयता में सुधार हो और घटकों के सेवा जीवन का विस्तार किया जा सके। यह एक उच्च-प्रदर्शन कोटिंग उत्पाद है जिसका उपयोग अर्धचालक प्रसंस्करण के क्षेत्र में किया जाता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर के टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्टर में लगभग 9 ~ 10 की एक कठोरता है, जो केवल हीरे के लिए दूसरा है। इसमें बेहद मजबूत पहनने का प्रतिरोध है और प्रसंस्करण के दौरान सतह के पहनने और प्रभाव का प्रभावी ढंग से विरोध कर सकता है, जिससे उपकरण घटकों के सेवा जीवन को प्रभावी ढंग से बढ़ाया जा सकता है। लगभग 3880 डिग्री सेल्सियस के अपने उच्च पिघलने बिंदु के साथ, यह अक्सर अर्धचालक उपकरणों के प्रमुख घटकों को कोटिंग के लिए उपयोग किया जाता है, जैसे कि समर्थन संरचनाओं की सतह कोटिंग्स, गर्मी उपचार उपकरण, चेम्बर्स या गास्केट को अर्धचालक उपकरणों में इसके पहनने के प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रतिरोध को बढ़ाने के लिए।

लगभग 3880 डिग्री सेल्सियस के टैंटलम कार्बाइड के अत्यधिक उच्च पिघलने बिंदु के कारण, जैसे कि अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रियाओं मेंरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)औरभौतिक वाष्प जमाव, मजबूत उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध के साथ टीएसी कोटिंग प्रभावी रूप से उपकरण घटकों की रक्षा कर सकता है और चरम वातावरण में सब्सट्रेट को जंग या क्षति को रोक सकता है, वेफर विनिर्माण में उच्च तापमान वातावरण के लिए प्रभावी सुरक्षा प्रदान करता है। यह सुविधा यह भी निर्धारित करती है कि वेटेक सेमीकंडक्टर के टैंटलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन का उपयोग अक्सर नक़्क़ाशी और संक्षारक प्रक्रियाओं में किया जाता है।

टैंटलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन में भी कण संदूषण को कम करने का कार्य होता है। वेफर प्रोसेसिंग के दौरान, सरफेस वियर आमतौर पर कण संदूषण पैदा करता है, जो वेफर के उत्पाद की गुणवत्ता को प्रभावित करता है। TAC कोटिंग की चरम उत्पाद विशेषताओं के करीब 9-10 Mohs कठोरता इस पहनने को प्रभावी ढंग से कम कर सकती है, जिससे कणों की पीढ़ी कम हो जाती है। TAC कोटिंग की उत्कृष्ट तापीय चालकता (लगभग 21 w/m · k) के साथ संयुक्त, यह उच्च तापमान की स्थिति में अच्छी तापीय चालकता बनाए रख सकता है, जिससे वेफर विनिर्माण की उपज और स्थिरता में बहुत सुधार होता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर के मुख्य टीएसी कोटिंग उत्पादों में शामिल हैंटीएसी कोटिंग हीटर, सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल, टीएसी कोटिंग रोटेशन सूस्विनरऔरटीएसी कोटिंग स्पेयर पार्ट, आदि, और अनुकूलित उत्पाद सेवाओं का समर्थन करें। वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए उत्कृष्ट उत्पाद और तकनीकी समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की उम्मीद करते हैं।

एक सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग:

सीवीडी टीएसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण：