टीएसी कोटेड थ्री-पंखुड़ी की अंगूठी

वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर चीन टीएसी कोटेड थ्री-पीटल रिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। टीएसी लेपित तीन-पेटल रिंग का उपयोग यौगिक सेमीकंडक्टर के लिए AIXTRON G10- डिपोज़िशन सिस्टम में किया जाता है आवेदन।

Vetek सेमीकंडक्टर TAC कोटिंग उच्च तापमान प्रतिरोधी सामग्री की एक नई पीढ़ी है, जो SIC की तुलना में बेहतर उच्च तापमान स्थिरता के साथ, एक संक्षारण प्रतिरोधी कोटिंग, ऑक्सीकरण प्रतिरोधी कोटिंग, पहनने-प्रतिरोधी कोटिंग के रूप में, 2000 से ऊपर पर्यावरण में उपयोग किया जा सकता है, व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। एयरोस्पेस अल्ट्रा-हाई टेम्परेचर हॉट एंड पार्ट्स, सेमीकंडक्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ और अन्य क्षेत्रों की तीसरी पीढ़ी।

उत्पाद की विशेषताएँ:

1। उच्च शुद्धता, अशुद्धता सामग्री <5ppm

2. उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, उच्च घनत्व, उच्च घनत्व

3। यह उच्च तापमान पर अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलेन और सिलिकॉन के लिए रासायनिक रूप से निष्क्रिय है और इसमें अच्छी थर्मल स्थिरता है।

4. थर्मल शॉक प्रतिरोध, ऑपरेशन चक्र को तेज कर सकता है

5। मजबूत ग्रेफाइट आसंजन लंबी सेवा जीवन और कोई कोटिंग डिलैमिनेशन सुनिश्चित करता है।

6। सख्त आयामी सहिष्णुता।

मुख्य अनुप्रयोग:

1. एपीटैक्सियल वृद्धि

2। एकल क्रिस्टल विकास

3. उच्च तापमान संक्षारण मोड़

4। उच्च तापमान और ऑक्सीकरण प्रतिरोधी नोजल

5। गैस टरबाइन ब्लेड

TaC लेपित तीन पंखुड़ी वाली अंगूठी का उत्पाद पैरामीटर

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