TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कवर रिंग

मुख्य तकनीकी लाभ

• असाधारण रासायनिक प्रतिरोध: 1200°C और 2000°C के बीच तापमान पर कठोर नक़्क़ाशी गैसों (H₂, NH₃, HCl) का सामना करने के लिए इंजीनियर किया गया।

• थर्मल विस्तार मिलान: हमारी मालिकाना सीवीडी प्रक्रिया यह सुनिश्चित करती है कि टीएसी कोटिंग में ग्रेफाइट सब्सट्रेट के साथ एक अनुकूलित सीटीई (थर्मल विस्तार का गुणांक) मैच होता है, जो तेजी से थर्मल साइक्लिंग के दौरान छीलने या टूटने से बचाता है।

• सुपीरियर कण नियंत्रण: छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट को पूरी तरह से सील करके, TaC परत कणों के बहाव को समाप्त कर देती है, सीधे आपकी वेफर उपज में वृद्धि करती है और रिएक्टर डाउनटाइम को कम करती है।

• विस्तारित सेवा जीवन: अत्यधिक पहनने के लिए प्रतिरोधी सतह जो बार-बार सफाई चक्रों का सामना करती है, जो अनकोटेड या SiC-लेपित विकल्पों की तुलना में स्वामित्व की लागत (सीओओ) में काफी कम प्रदान करती है।

सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग

TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कवर रिंग का उत्पाद पैरामीटर

हमारे TaC कवर रिंग क्यों चुनें?

हम समझते हैं कि अर्धचालक निर्माण में, विश्वसनीयता लाभप्रदता के बराबर होती है। हमारे TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कवर रिंग्स को कोटिंग घनत्व और शुद्धता के लिए बैच-परीक्षण किया जाता है। चाहे आप 6-इंच से 8-इंच वेफर उत्पादन में परिवर्तन कर रहे हों या उच्च तापमान वाली एमओसीवीडी प्रक्रिया का अनुकूलन कर रहे हों, हमारे छल्ले विश्व स्तरीय एपिटेक्सी के लिए आवश्यक थर्मल और रासायनिक परिरक्षण प्रदान करते हैं।