एपि समर्थक

वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर नेता चीन ईपीआई, एल्ड प्लैनेटरी टुगर और टीएसी लेपित ग्रेफाइट सपोर्ट निर्माता है। और हमारा ईपीआई समर्थन का एक महत्वपूर्ण घटक हैउपकला वृद्धिअर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में। इसका मुख्य कार्य वेफर को समर्थन और गर्म करना है ताकि एक उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल परत को वेफर सतह पर समान रूप से उगाया जा सके।

Vetek सेमीकंडक्टर्स के EPI सस्पेक्टर्स आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बने होते हैं और सिलिकॉन कार्बाइड (SIC) की एक परत के साथ लेपित होते हैं।इस डिजाइन के निम्नलिखित प्रमुख लाभ हैं:

● उच्च तापमान स्थिरता: ईपीआई सूसिनर उच्च तापमान वातावरण में स्थिर रह सकता है, जो एपिटैक्सियल परत की समान वृद्धि को सुनिश्चित करता है।

● जंग प्रतिरोध: एसआईसी कोटिंग में उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध है और यह रासायनिक गैसों के कटाव का विरोध कर सकता है, ट्रे के सेवा जीवन का विस्तार कर सकता है।

● तापीय चालकता: SIC सामग्री की उच्च तापीय चालकता हीटिंग के दौरान वेफर के समान तापमान वितरण को सुनिश्चित करती है, जिससे एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में सुधार होता है।

● थर्मल विस्तार गुणांक मिलान: एसआईसी का थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइट के समान है, थर्मल विस्तार और संकुचन के कारण कोटिंग शेडिंग की समस्या से बचता है।

के बुनियादी भौतिक गुणसीवीडी एसआईसी कोटिंग:

Cvd sic कोटिंग उत्पादन दुकान:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: