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ईपीआई के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल सूसो
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ईपीआई के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल सूसो

बैरल प्रकार एपिटैक्सियल वेफर हीटिंग बेस जटिल प्रसंस्करण तकनीक वाला एक उत्पाद है, जो मशीनिंग उपकरण और क्षमता के लिए बहुत चुनौतीपूर्ण है। वेटेक सेमीकंडक्टर के पास ईपीआई के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर के प्रसंस्करण में उन्नत उपकरण और समृद्ध अनुभव है, जो मूल कारखाने के जीवन के समान, अधिक लागत प्रभावी एपिटैक्सियल बैरल प्रदान कर सकता है। यदि आप हमारे डेटा में रुचि रखते हैं, तो कृपया हमसे संपर्क करने में संकोच न करें।

वेटेक सेमीकंडक्टर चीन निर्माता और आपूर्तिकर्ता है जो मुख्य रूप से कई वर्षों के अनुभव के साथ ईपीआई के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल सूसोसेप्टर का उत्पादन करता है। आपके साथ व्यावसायिक संबंध बनाने की उम्मीद है।ईपीआई (एपिटेक्सी)उन्नत अर्धचालकों के निर्माण में एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। इसमें जटिल डिवाइस संरचनाओं को बनाने के लिए एक सब्सट्रेट पर सामग्री की पतली परतों का जमाव शामिल है। ईपीआई के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल सूसोसेस का उपयोग आमतौर पर ईपीआई रिएक्टरों में संवेदनशील के रूप में किया जाता है क्योंकि उनकी उत्कृष्ट तापीय चालकता और उच्च तापमान के प्रतिरोध के कारण होता है। साथसीवीडी-एसआईसी कोटिंग, यह संदूषण, कटाव और थर्मल शॉक के लिए अधिक प्रतिरोधी हो जाता है। इससे सस्पेक्टर और बेहतर फिल्म की गुणवत्ता के लिए एक लंबा जीवनकाल होता है।


हमारे SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल सुसेप्टर के लाभ:


संदूषण में कमी: SiC की निष्क्रिय प्रकृति अशुद्धियों को ससेप्टर सतह पर चिपकने से रोकती है, जिससे जमा फिल्मों के दूषित होने का खतरा कम हो जाता है।

कटाव प्रतिरोध में वृद्धि: SiC पारंपरिक ग्रेफाइट की तुलना में क्षरण के प्रति काफी अधिक प्रतिरोधी है, जिससे रिसेप्टर का जीवनकाल लंबा हो जाता है।

थर्मल स्थिरता में सुधार: SiC में उत्कृष्ट तापीय चालकता है और यह महत्वपूर्ण विरूपण के बिना उच्च तापमान का सामना कर सकता है।

उन्नत फिल्म गुणवत्ता: बेहतर थर्मल स्थिरता और कम संदूषण के परिणामस्वरूप उच्च गुणवत्ता वाले जमा फिल्मों में बेहतर एकरूपता और मोटाई नियंत्रण के साथ जमा की गई थी।


आवेदन:

एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल सेंसेस का व्यापक रूप से विभिन्न ईपीआई अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:

✔ गण-आधारित एल ई डी

✔ पावर इलेक्ट्रॉनिक्स

✔ ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण

✔ उच्च आवृत्ति ट्रांजिस्टर

✔ सेंसर

एसआईसी कोटेड ग्रेफाइट बैरल सेंसिटर का उत्पाद पैरामीटर

के भौतिक गुणआइसोस्टैटिक ग्रेफाइट
संपत्ति इकाई विशिष्ट मूल्य
थोक घनत्व g/cm g 1.83
कठोरता एचएसडी 58
विद्युत प्रतिरोधकता μ μ। 10
आनमनी सार्मथ्य एमपीए 47
सम्पीडक क्षमता एमपीए 103
तन्यता ताकत एमपीए 31
यंग का मापांक जीपीए 11.8
थर्मल विस्तार (सीटीई) 10-6K-1 4.6
ऊष्मीय चालकता डब्ल्यू·एम-1·के-1 130
औसत अनाज का आकार माइक्रोन 8-10
सरंध्रता % 10
राख सामग्री पीपीएम ≤10 (शुद्ध करने के बाद)

        नोट: कोटिंग से पहले, हम कोटिंग के बाद, पहले शोधन करेंगे, दूसरा शुद्धि करेंगे।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
सिसक कोटिंग घनत्व 3.21 ग्राम/सेमी³
CVD SiC कोटिंग कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार 2~10माइक्रोन
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
ताप की गुंजाइश 640 जे · किग्रा-1·के-1
उच्चता तापमान 2700℃
आनमनी सार्मथ्य 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक 430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता 300डब्ल्यू·एम-1·के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई) 4.5×10-6K-1

वीटेक सेमीकंडक्टरईपीआई के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल सूसोउत्पादन की दुकान

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

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    वांग्डा रोड, ज़ियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिंघुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन

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    +86-18069220752

  • ईमेल

    anny@veteksemi.com

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट या मूल्य सूची के बारे में पूछताछ के लिए, कृपया अपना ईमेल हमें छोड़ दें और हम 24 घंटों के भीतर संपर्क करेंगे।
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