ASM के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर

सामान्य उत्पाद जानकारी

उत्पाद व्यवसाय की शर्तें

✔ आवेदन: वेटेक्सेमिकॉन SiC-लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट एएसएम श्रृंखला एपिटैक्सियल उपकरण के लिए एक प्रमुख उपभोज्य है। यह सीधे वेफर का समर्थन करता है और उच्च तापमान एपिटैक्सी के दौरान एक समान और स्थिर थर्मल क्षेत्र प्रदान करता है, जिससे यह GaN और SiC जैसे उन्नत अर्धचालक सामग्रियों की उच्च गुणवत्ता वाली वृद्धि सुनिश्चित करने के लिए एक मुख्य घटक बन जाता है।

✔ सेवाएँ जो प्रदान की जा सकती हैं: ग्राहक एप्लिकेशन परिदृश्य विश्लेषण, मिलान सामग्री, तकनीकी समस्या समाधान। 

✔ कंपनी प्रोफ़ाइल：वेटेक्सेमिकॉन में 2 प्रयोगशालाएं हैं, 20 वर्षों के सामग्री अनुभव वाले विशेषज्ञों की एक टीम, अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन, परीक्षण और सत्यापन क्षमताओं के साथ।

तकनीकी मापदंड

एएसएम मुख्य लाभों के लिए वेटेक्सेमिकॉन SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर

1. अत्यधिक शुद्धता और कम दोष दर

हमारी कड़ाई से नियंत्रित रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) कोटिंग प्रक्रिया के साथ संयुक्त उच्च-शुद्धता, बारीक-कण-ग्रेड विशेष ग्रेफाइट सब्सट्रेट का उपयोग करके, हम यह सुनिश्चित करते हैं कि कोटिंग घनी, पिनहोल से मुक्त और अशुद्धियों से मुक्त है। यह एपिटैक्सियल प्रक्रिया के दौरान कण संदूषण के जोखिम को काफी कम कर देता है, उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल परतों के विकास के लिए एक स्वच्छ सब्सट्रेट वातावरण प्रदान करता है।

2. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और पहनने का प्रतिरोध

पायरोलाइटिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग में अत्यधिक उच्च कठोरता और रासायनिक जड़ता होती है, जो उच्च तापमान पर सिलिकॉन स्रोतों (जैसे SiH4, SiHCl3), कार्बन स्रोतों (जैसे C3H8), और नक़्क़ाशी गैसों (जैसे HCl, H2) के क्षरण को प्रभावी ढंग से रोकती है। यह आधार के रखरखाव चक्र को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है और घटक प्रतिस्थापन के कारण होने वाले मशीन डाउनटाइम को कम करता है।

3. उत्कृष्ट तापीय एकरूपता और स्थिरता

हमने सटीक सब्सट्रेट संरचना डिजाइन और कोटिंग मोटाई नियंत्रण के माध्यम से ऑपरेटिंग तापमान सीमा के भीतर थर्मल क्षेत्र वितरण को अनुकूलित किया है। यह सीधे एपिटैक्सियल वेफर में उत्कृष्ट मोटाई और प्रतिरोधकता एकरूपता में तब्दील हो जाता है, जो बेहतर चिप निर्माण उपज में योगदान देता है।

4. उत्कृष्ट कोटिंग आसंजन शक्ति

अनूठी सतह प्रीट्रीटमेंट और ग्रेडिएंट कोटिंग तकनीक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग को ग्रेफाइट सब्सट्रेट के साथ एक मजबूत बॉन्डिंग परत बनाने में सक्षम बनाती है, जो लंबे समय तक थर्मल साइक्लिंग के दौरान होने वाली कोटिंग के छिलने, झड़ने या टूटने की समस्याओं को प्रभावी ढंग से रोकती है।

5. सटीक आकार और संरचनात्मक प्रतिकृति

हमारे पास परिपक्व सीएनसी मशीनिंग और परीक्षण क्षमताएं हैं, जो हमें जटिल ज्यामिति, कैविटी आयाम और मूल आधार के माउंटिंग इंटरफेस को पूरी तरह से दोहराने में सक्षम बनाती हैं, जिससे ग्राहक के प्लेटफॉर्म के साथ सही मिलान और प्लग-एंड-प्ले कार्यक्षमता सुनिश्चित होती है।

6. पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन समर्थन

एएसएम' पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन के लिए वेटेक्सेमिकॉन सीआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर उत्पादन के लिए कच्चे माल को कवर करता है, अंतरराष्ट्रीय मानक प्रमाणीकरण पारित कर चुका है, और सेमीकंडक्टर और नई ऊर्जा क्षेत्रों में इसकी विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए कई पेटेंट प्रौद्योगिकियां हैं।

विस्तृत तकनीकी विशिष्टताओं, श्वेत पत्रों, या नमूना परीक्षण व्यवस्थाओं के लिए, कृपया हमारी तकनीकी सहायता टीम से संपर्क करें ताकि पता लगाया जा सके कि वेटेक्सेमिकॉन आपकी प्रक्रिया दक्षता को कैसे बढ़ा सकता है।

मुख्य अनुप्रयोग फ़ील्ड

वेटेक्सेमिकॉन उत्पादों की दुकान