सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

Veteksemicon उच्च-शुद्धता SIC एज रिंग्स, विशेष रूप से अर्धचालक नक़्क़ाशी उपकरणों के लिए डिज़ाइन किया गया है, बकाया जंग प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता की सुविधा है, काफी बढ़ती हुई वेफर उपज

एक प्रमुख चीनी निर्माता और सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों के आपूर्तिकर्ता के रूप में, नक़्क़ाशी के लिए वीटेकिकॉन के एसआईसी कोटेड वेफर वाहक अपने उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापीय चालकता के साथ नक़्क़ाशी प्रक्रिया में एक अपूरणीय मुख्य भूमिका निभाता है।

Veteksemicon का CVD SIC कोटेड वेफर सूसोसेप्टर अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं के लिए एक अत्याधुनिक समाधान है, जो अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (00100PPB, ICP-E10 प्रमाणित) और असाधारण थर्मल/रासायनिक स्थिरता की पेशकश करता है, जो कि GAN, SIC, और सिलिकॉन-आधारित एपिवल-लेयर्स के लिए संदूषण-प्रतिरोधी विकास के लिए है। सटीक सीवीडी तकनीक के साथ इंजीनियर, यह 6 "/8"/12 "वेफर्स का समर्थन करता है, न्यूनतम थर्मल तनाव सुनिश्चित करता है, और 1600 डिग्री सेल्सियस तक के चरम तापमान का सामना करता है।

हमारे SIC कोटेड प्लैनेटरी सूसिएटर सेमीकंडक्टर विनिर्माण की उच्च तापमान प्रक्रिया में एक मुख्य घटक है। इसका डिज़ाइन थर्मल प्रबंधन प्रदर्शन, रासायनिक स्थिरता और यांत्रिक शक्ति के व्यापक अनुकूलन को प्राप्त करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ ग्रेफाइट सब्सट्रेट को जोड़ती है।

एपिटैक्सी के लिए हमारी एसआईसी लेपित सीलिंग रिंग एक उच्च-प्रदर्शन वाली सीलिंग घटक है, जो कि रासायनिक वाष्प के बयान (सीवीडी) द्वारा उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) के साथ लेपित ग्रेफाइट या कार्बन-कार्बन कंपोजिट पर आधारित है, जो कि एसआईसी के चरम पर्यावरणीय प्रतिरोध के साथ ग्रैफिट की थर्मल स्थिरता को जोड़ती है, और इसे सेमिक अन्य उपकरणों के लिए तैयार करता है।

Veteksemicon सिंगल वेफर EPI ग्रेफाइट सूसोसेप्टर को उच्च-प्रदर्शन सिलिकॉन कार्बाइड (SIC), गैलियम नाइट्राइड (GAN) और अन्य तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है, और बड़े पैमाने पर उत्पादन में हाई-प्रेसिशन एपिटैक्सियल शीट का मुख्य असर घटक है।