सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

Veteksemicon से CVD SIC लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड एक उच्च-प्रदर्शन घटक है जो विशेष रूप से अर्धचालक रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से निर्मित और एक रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कोटिंग के साथ संरक्षित, यह शॉवर हेड उत्कृष्ट स्थायित्व, थर्मल स्थिरता और संक्षारक प्रक्रिया गैसों के प्रतिरोध को वितरित करता है। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।

Veteksemicon द्वारा सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग वेफर धारक को MOCVD, LPCVD और उच्च-तापमान एनीलिंग जैसी उन्नत अर्धचालक प्रक्रियाओं में सटीक और प्रदर्शन के लिए इंजीनियर किया गया है। एक समान सीवीडी एसआईसी कोटिंग के साथ, यह वेफर धारक असाधारण तापीय चालकता, रासायनिक जड़ता और यांत्रिक शक्ति सुनिश्चित करता है-संदूषण-मुक्त, उच्च उपज वेफर प्रसंस्करण के लिए आवश्यक है।

Veteksemicon उच्च-शुद्धता SIC एज रिंग्स, विशेष रूप से अर्धचालक नक़्क़ाशी उपकरणों के लिए डिज़ाइन किया गया है, बकाया जंग प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता की सुविधा है, काफी बढ़ती हुई वेफर उपज

एक प्रमुख चीनी निर्माता और सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादों के आपूर्तिकर्ता के रूप में, नक़्क़ाशी के लिए वीटेकिकॉन के एसआईसी कोटेड वेफर वाहक अपने उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापीय चालकता के साथ नक़्क़ाशी प्रक्रिया में एक अपूरणीय मुख्य भूमिका निभाता है।

Veteksemicon का CVD SIC कोटेड वेफर सूसोसेप्टर अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं के लिए एक अत्याधुनिक समाधान है, जो अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (00100PPB, ICP-E10 प्रमाणित) और असाधारण थर्मल/रासायनिक स्थिरता की पेशकश करता है, जो कि GAN, SIC, और सिलिकॉन-आधारित एपिवल-लेयर्स के लिए संदूषण-प्रतिरोधी विकास के लिए है। सटीक सीवीडी तकनीक के साथ इंजीनियर, यह 6 "/8"/12 "वेफर्स का समर्थन करता है, न्यूनतम थर्मल तनाव सुनिश्चित करता है, और 1600 डिग्री सेल्सियस तक के चरम तापमान का सामना करता है।

हमारे SIC कोटेड प्लैनेटरी सूसिएटर सेमीकंडक्टर विनिर्माण की उच्च तापमान प्रक्रिया में एक मुख्य घटक है। इसका डिज़ाइन थर्मल प्रबंधन प्रदर्शन, रासायनिक स्थिरता और यांत्रिक शक्ति के व्यापक अनुकूलन को प्राप्त करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ ग्रेफाइट सब्सट्रेट को जोड़ती है।