सिसक एज रिंग

सेमीकंडक्टर विनिर्माण के क्षेत्र में, वेफर प्रोसेसिंग उपकरणों के मुख्य घटकों के रूप में, एसआईसी एज रिंग्स, अपने भौतिक गुणों के साथ औद्योगिक परिदृश्य में क्रांति ला रहे हैं। सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल से बने इस सटीक घटक का मूल्य न केवल इसकी उच्च-तकनीकी सामग्री में है, बल्कि परिचालन लागतों के उपज और अनुकूलन में महत्वपूर्ण सुधार में भी है जो यह चिप निर्माताओं को ला सकता है।

Sic एज रिंग संरचनात्मक विशेषताओं

सिलिकॉन कार्बाइड एज रिंग्स अर्धचालक नक़्क़ाशी उपकरणों में प्रमुख उपभोज्य घटक हैं और रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) विधि द्वारा तैयार उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री से बने होते हैं। इसकी कुंडलाकार संरचना का व्यास आमतौर पर 200-450 मिमी है, और मोटाई को 5-15 मिमी के भीतर नियंत्रित किया जाता है, जिसमें निम्नलिखित विशेषताओं की विशेषता होती है:

1.extreme सहिष्णुता: 1500 ℃ के उच्च तापमान वाले वातावरण का सामना कर सकते हैं

2। प्लाज्मा स्थिरता: ढांकता हुआ निरंतर 9.7, ब्रेकडाउन वोल्टेज 3MV/सेमी

3। ज्यामितीय सटीकता: गोलाई की त्रुटि .0.05 मिमी, सतह खुरदरापन आरए <0.2μm

विनिर्माण प्रक्रिया में सफलता

आधुनिक तैयारी प्रक्रिया एक तीन-चरण विधि को अपनाती है:

1। मैट्रिक्स गठन: आइसोस्टैटिक प्रेसिंग फॉर्मिंग एक समान घनत्व सुनिश्चित करता है

2। उच्च तापमान वाले सिंटरिंग: 2100 पर एक अक्रिय वातावरण में घनत्व उपचार

3। सतह संशोधन: नैनोस्केल सुरक्षात्मक परतें प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी (RIE) के माध्यम से बनती हैं। नवीनतम शोध से पता चलता है कि 3% बोरॉन के साथ डोप किए गए सिलिकॉन कार्बाइड एज रिंग्स की सेवा जीवन 40% बढ़ जाती है, और वेफर संदूषण दर 0.01ppm स्तर तक कम हो जाती है

अनुप्रयोग परिदृश्य

यह 5NM से नीचे की प्रक्रियाओं में अपूर्वीयता दिखाता है:

2। नक़्क़ाशी एकरूपता: यह वेफर एज पर ± 1.5% की नक़्क़ाशी दर विचलन बनाए रख सकता है

3। प्रदूषण नियंत्रण: यह पारंपरिक क्वार्ट्ज सामग्री की तुलना में धातु प्रदूषण को 92% तक कम कर देता है

4। रखरखाव चक्र: यह CF4/O2 प्लाज्मा में 1500 घंटे तक लगातार काम कर सकता है

Veteksemicon ने SIC एज रिंग्स के घरेलू उत्पादन में एक सफलता हासिल की है, जो बहुत सारे लागत व्यय को बचा सकता है। किसी भी समय हमसे संपर्क करने के लिए आपका स्वागत है!