सॉलिड SiC गैस शावर हेड

ठोस sic गैस शावर सिर

वीटेक सेमीकंडक्टर एक एकीकृत कंपनी है जो अनुसंधान, उत्पादन और बिक्री के लिए समर्पित है। VeTek सेमीकंडक्टर कई वर्षों से सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी, नक़्क़ाशी और अन्य प्रक्रिया-संबंधित उत्पादों पर काम कर रहा है, विशेष रूप से CVD SiC कोटिंग, CVD TaC कोटिंग और CVD सॉलिड SiC हमारे प्रमुख उत्पाद हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड एसआईसी गैस शॉवर हेड आमतौर पर अर्धचालक सीवीडी प्रक्रियाओं के दौरान सब्सट्रेट सतह पर अग्रदूत गैसों को समान रूप से वितरित करने के लिए उपयोग किया जाता है। शॉवर हेड के लिए सीवीडी-एसआईसी सामग्री का उपयोग करना कई फायदे प्रदान करता है। इसकी उच्च तापीय चालकता सीवीडी प्रक्रिया में उत्पन्न गर्मी को फैलाने में मदद करती है, जो सब्सट्रेट पर समान तापमान वितरण सुनिश्चित करती है। इसके अतिरिक्त, सीवीडी एसआईसी शॉवर हेड की रासायनिक स्थिरता इसे संक्षारक गैसों और कठोर वातावरणों का सामना करने में सक्षम बनाती है जो आमतौर पर सीवीडी प्रक्रियाओं में सामना करती है। 

सीवीडी सीआईसी शावर हेड का डिज़ाइन विशिष्ट सीवीडी सिस्टम और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुरूप बनाया जा सकता है। हालाँकि, उनमें आमतौर पर एक प्लेट या डिस्क के आकार का घटक होता है जिसमें सटीक-ड्रिल किए गए छेद या स्लॉट की एक श्रृंखला होती है। सब्सट्रेट सतह पर समान गैस वितरण और प्रवाह वेग सुनिश्चित करने के लिए छेद पैटर्न और ज्यामिति को सावधानीपूर्वक डिजाइन किया गया है।

ठोस sic के भौतिक गुण