सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek का यह AMAT 0200-03201 वेफर लिफ्ट पिन उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से शुरू होता है, फिर हम शीर्ष पर एक सघन CVD SiC कोटिंग जोड़ते हैं। यह 300 मिमी एपिटैक्सी सिस्टम और एप्लाइड मटेरियल ईपीआई रिएक्टरों के लिए बनाया गया है। ग्रेफाइट और SiC क्यों? ग्रेफाइट वास्तव में गर्मी को अच्छी तरह से संभालता है। SiC परत संक्षारक गैसों को ग्रहण करती है और तेजी से खराब नहीं होती है। पतली दीवार का डिज़ाइन? यह क्लीनर वेफर उठाने और स्थिति, कम कणों और उच्च तापमान के तहत लंबे समय तक जीवन के लिए है। हम ASM, Aixtron और LPE सिस्टम के लिए समान SiC लेपित ग्रेफाइट हिस्से भी बनाते हैं। आपकी पूछताछ की प्रतीक्षा में हूं.

वीटेक सेमीकंडक्टर VEECO MOCVD सिस्टम के लिए वेफर कैरियर बनाता है, जो विशेष रूप से GaN LED, ब्लू-ग्रीन LED और डीप UV LED ग्रोथ जैसे LED एपिटेक्सी कार्य के लिए बनाया गया है। ये वाहक उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से शुरू होते हैं और घने सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग प्राप्त करते हैं। यह संयोजन एमओसीवीडी में दिखाई देने वाले उच्च तापमान के तहत अच्छी तरह से टिकता है - अच्छा थर्मल स्थिरता, संक्षारण प्रतिरोध, और कोटिंग लंबे समय तक चलती है।

हाफमून एक ग्रेफाइट घटक है जिसका उपयोग एलपीई सीआईसी रिएक्टरों के अंदर किया जाता है, जो मुख्य रूप से चैम्बर हॉट जोन के आसपास स्थापित होता है। यद्यपि यह सीधे वेफर से संपर्क नहीं करता है, फिर भी यह एपिटैक्सियल विकास के दौरान गैस प्रवाह स्थिरता और रिएक्टर संचालन में भूमिका निभाता है। उच्च तापमान और प्रतिक्रियाशील प्रक्रिया स्थितियों को संभालने के लिए, घटक को आमतौर पर सीवीडी SiC कोटिंग के साथ संरक्षित किया जाता है, जबकि TaC कोटिंग कुछ अनुप्रयोगों के लिए भी उपलब्ध है। VETEK SiC एपिटैक्सी सिस्टम के लिए ग्रेफाइट फेल्ट इंसुलेशन और अन्य लेपित ग्रेफाइट भागों की भी आपूर्ति करता है।

8-इंच SiC एपी टॉप रिंग सेमीकंडक्टर रिएक्टरों के लिए एक हार्डवेयर हिस्सा है। यह Si/SiC एपिटैक्सी और MOCVD/CVD सिस्टम के अंदर काम करता है। यह रिंग चैम्बर के अंदर की गर्मी को स्थिर करती है। यह गैसों के प्रवाह को भी नियंत्रित करता है। सामग्री उच्च शुद्धता सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड है। इसमें ग्रेफाइट की अत्यधिक गैसीय समस्या नहीं है। यह उत्पादन के दौरान कण संदूषण को भी कम करता है। हम आपकी पूछताछ का स्वागत करते हैं।

VETEK MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर एक सटीक-इंजीनियर्ड कैरियर समाधान है जिसे विशेष रूप से एलईडी और कंपाउंड सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए विकसित किया गया है। यह जटिल MOCVD वातावरण के भीतर असाधारण तापीय एकरूपता और रासायनिक जड़ता को प्रदर्शित करता है। VETEK की कठोर सीवीडी जमाव प्रक्रिया का लाभ उठाते हुए, हम वेफर विकास स्थिरता को बढ़ाने और मुख्य घटकों की सेवा जीवन का विस्तार करने, आपके अर्धचालक उत्पादन के प्रत्येक बैच के लिए स्थिर और विश्वसनीय प्रदर्शन आश्वासन प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं।

वेटेकसेमिकॉन सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) फोकसिंग रिंग एक महत्वपूर्ण उपभोज्य घटक है जिसका उपयोग उन्नत सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी और प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में किया जाता है, जहां प्लाज्मा वितरण, थर्मल एकरूपता और वेफर एज प्रभाव का सटीक नियंत्रण आवश्यक है। उच्च शुद्धता वाले ठोस सिलिकॉन कार्बाइड से निर्मित, यह फोकसिंग रिंग असाधारण प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोध, उच्च तापमान स्थिरता और रासायनिक जड़ता प्रदर्शित करती है, जो आक्रामक प्रक्रिया स्थितियों के तहत विश्वसनीय प्रदर्शन को सक्षम करती है। हम आपकी पूछताछ की प्रतीक्षा कर रहे हैं.