8-इंच सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित एपिटैक्सी टॉप रिंग

8 इंच SiC एपी टॉप रिंग की मुख्य विशेषताएं

● उच्च शुद्धता: 99.9995% न्यूनतम। धातु एपी-परत में स्थानांतरित नहीं होगी। यह वेफर वाहक सांद्रता को वहीं बनाए रखता है जहां इसकी आवश्यकता होती है।

● कण दमन: सीवीडी संरचना सघन है। कोई छिद्र नहीं. उपकरण चलने के दौरान यह कण नहीं बहाएगा। इस तरह से फैक्टरियों को बेहतर पैदावार मिलती है।

● ताप प्रतिरोध: रिंग 1500°C पर स्थिर रहती है। कम सीटीई (थर्मल विस्तार) का मतलब है तेज ताप-अप/शीतल-डाउन चक्र के दौरान कोई विकृति नहीं।

● रासायनिक स्थिरता: ठोस CVD SiC H2 और HCl गैसों का प्रतिरोध करता है। यह NH3 का भी प्रतिरोध करता है। इसमें छीलने के लिए कोई लेप नहीं है। यह कठोर सीवीडी वातावरण में ख़राब नहीं होता है।

● घटक जीवन: सतह अत्यंत कठोर है। यह बार-बार एचएफ/एचसीएल रासायनिक सफाई से बच जाता है। इससे प्रतिस्थापन आवृत्ति कम हो जाती है। यह फैब के स्वामित्व की कुल लागत को भी कम करता है।

तकनीकी निर्देश

बैचों के बीच कोटिंग की मोटाई की एकरूपता 10um पर नियंत्रित की जाती है

अनुप्रयोग

CVD SiC एपी टॉप रिंग का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है:

● सिलिकॉन एपिटैक्सी (Si Epi) रिएक्टर

● सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी (SiC Epi)

● एमओसीवीडी सिस्टम

● सीवीडी जमाव उपकरण

आम तौर पर इसके साथ जोड़ा जाता है:

● संग्राहक

● वेफर वाहक

● पहले से गरम छल्ले

● एपिटैक्सी रिएक्टर

VETEK SiC Epi टॉप रिंग क्यों चुनें?

● पूर्ण विनिर्माण क्षमता: 

कच्चे माल के शुद्धिकरण से लेकर सटीक मशीनिंग और सीवीडी कोटिंग तक, VETEK लगातार अर्धचालक-ग्रेड गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए पूरी उत्पादन प्रक्रिया को नियंत्रित करता है।

● उच्च सटीकता: 

हम माइक्रोन-स्तरीय मशीनिंग का उपयोग करते हैं। सीवीडी की मोटाई बहुत समान है। इससे प्रत्येक रिंग बिल्कुल उसी तरह कार्य करती है।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

(1) SiC एपि टॉप रिंग क्या करती है?

रिंग गर्मी और गैस प्रवाह का प्रबंधन करती है। यह सुनिश्चित करता है कि पतली फिल्म वेफर पर समान रूप से बढ़ती है।

(2) सीवीडी सीआईसी ग्रेफाइट से बेहतर क्यों है?

ग्रेफाइट झरझरा होता है। ग्रेफाइट में छिद्र होते हैं और गैस छोड़ते हैं। ठोस सीवीडी SiC घना और साफ है। यह संक्षारक उपकरणों में अधिक समय तक टिकता है।

(3).क्या 8 इंच SiC टॉप रिंग को अनुकूलित किया जा सकता है?

हाँ। हम आपके विशिष्ट टूल चित्र बनाते हैं। हम आपकी प्रक्रिया के आधार पर ज्यामिति को समायोजित कर सकते हैं।

(4).कौन से उद्योग SiC एपिटैक्सी रिंग का उपयोग करते हैं?

इनका उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक निर्माण में किया जाता है, जिसमें बिजली उपकरण, आरएफ उपकरण और SiC वेफर उत्पादन शामिल हैं।