वीको एमओसीवीडी (एलईडी एपिटैक्सी) के लिए वेफर कैरियर

उत्पाद की विशेषताएँ:

1. सघन CVD SiC परत के साथ उच्च शुद्धता वाला ग्रेफाइट बेस
2. स्थिर एलईडी एपिटेक्सी के लिए अच्छी तापीय एकरूपता
3. इस प्रक्रिया में प्रयुक्त NH₃, HCl और अन्य संक्षारक गैसों के प्रति प्रतिरोधी है
4. कम कण बहाव और लंबी सेवा जीवन
5. पॉकेट डिज़ाइन को विभिन्न वेफर आकारों और रिएक्टर प्लेटफार्मों के लिए अनुकूलित किया जा सकता है
6. दीर्घकालिक, उच्च तापमान वाले MOCVD ऑपरेशन के लिए अच्छा काम करता है

अनुप्रयोग:
इन वेफर वाहकों का व्यापक रूप से एलईडी और कंपाउंड सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी में उपयोग किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:

• GaN LED एपिटैक्सी
• नीली-हरी एलईडी एपिटैक्सी
• गहरी यूवी एलईडी वृद्धि
• सी-आधारित GaN एपिटैक्सी
• सामान्य यौगिक अर्धचालक विनिर्माण

कस्टम कैरियर समाधान कई एलईडी एमओसीवीडी प्लेटफार्मों में फिट होते हैं, जैसे:

• वीको K465i
• वीको K700
• वीको K868
• ऐक्सट्रॉन जी4/जी5
• ए7/यूनिमैक्स

तकनीकी लाभ:

1. सीवीडी SiC कोटिंगऐसी तकनीक जो आपको अच्छा घनत्व और शुद्धता प्रदान करती है
2. कोटिंग की मोटाई में भिन्नता ±10 μm के भीतर होती है - जो थर्मल प्रदर्शन को स्थिर रहने में मदद करती है
3. अच्छे वेफर फिट और रोटेशन स्थिरता के लिए 3 माइक्रोन परिशुद्धता तक सीएनसी मशीनिंग
4. कोटिंग अच्छी तरह से चिपक जाती है और बार-बार उच्च तापमान वाले MOCVD चक्रों के बाद टूटने से बचाती है
5. बिना किसी परेशानी के NH₃, HCl और अन्य कठोर एपिटेक्सी वातावरण को संभालता है
6. उच्च उपज का समर्थन करने के लिए कम कण उत्पादन और साफ सतहएलईडी एपिटैक्सी
7. विभिन्न रिएक्टर प्लेटफार्मों और वेफर लेआउट के लिए बड़े या कस्टम आकार को कोट कर सकते हैं
8. के साथ लम्बा अनुभवकस्टम ग्रेफाइट और SiC-लेपित हिस्सेएलईडी और कंपाउंड सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी के लिए

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न:
1. वेफर कैरियर क्या करता है?एमओसीवीडीएलईडी एपिटैक्सी?

ए: यह एमओसीवीडी रिएक्टर के अंदर वेफर्स को पकड़ता है और घुमाता है, और एपिटैक्सियल विकास के दौरान तापमान को स्थिर रखने में मदद करता है।

2. MOCVD के लिए SiC-लेपित ग्रेफाइट वेफर कैरियर का उपयोग क्यों करें?

ए: दसीवीडी SiC कोटिंगबेहतर संक्षारण प्रतिरोध, थर्मल स्थिरता और स्थायित्व देता है। यह उच्च तापमान एपिटैक्सी में कण संदूषण को कम करने में भी मदद करता है।

3. क्या वेटेक सेमीकंडक्टर कस्टम वेफर कैरियर बनाता है?
उत्तर: हाँ. हम आपके रिएक्टर प्लेटफ़ॉर्म, वेफ़र आकार, पॉकेट लेआउट और अन्य प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर कस्टम कैरियर डिज़ाइन कर सकते हैं।