AMAT 0200-03201 CVD SiC वेफर लिफ्ट पिन

उत्पाद की विशेषताएँ

 ● उच्च शुद्धता ग्रेफाइट कोर + सीवीडी SiC कोटिंग - वास्तविक अर्धचालक उत्पादन के लिए निर्मित।

 ● चक्र दर चक्र यांत्रिक स्थिरता खोए बिना उच्च तापमान वाले एपिटैक्सी को संभालता है।

 ● पतली दीवार का आकार थर्मल द्रव्यमान को कम करता है और वेफर हैंडलिंग सटीकता में सुधार करता है।

 ● SiC परत आक्रामक प्रक्रिया गैसों और रासायनिक सफाई के लिए खड़ी है।

 ● चिकनी, समान कोटिंग का मतलब है कम कण निकलना और अधिक स्थिर प्रसंस्करण। हम महत्वपूर्ण अर्धचालक भागों के लिए सीएनसी मशीनिंग के साथ कड़ी सहनशीलता रखते हैं।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण

अनुप्रयोग

 ● सिलिकॉन एपिटैक्सी (Si EPI) - 300 मिमी रिएक्टरों के अंदर वेफर्स को उठाना, स्थापित करना और हिलाना।

 ● सामान्य अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण जहां आपको गर्मी स्थिरता, संक्षारण प्रतिरोध, कम कण और लंबे भाग जीवन की आवश्यकता होती है।

 ● एएमएटी एपिटेक्सी कक्ष और संगत वेफर हैंडलिंग सिस्टम।

वीटेक सेमीकंडक्टर क्यों चुनें?

 ● उच्च शुद्धता वाला SiC लेपित ग्रेफाइट जो अर्धचालक उपयोग के लिए है।

 ● थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध दोनों ठोस हैं।

 ● सहनशीलता को कड़ा रखें - सटीक मशीनिंग हमारी चीज़ है।

 ● AMAT, ASM, Aixtron, और LPE के साथ संगत।