सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट शावर हेड

प्रमुख विशेषताऐं

• अल्ट्रा-उच्च शुद्धता - SiC कोटिंग ग्रेफाइट को पूरी तरह से सील कर देती है, इसलिए कोई आउटगैसिंग या धातु संदूषण नहीं होता है।

• उत्कृष्ट गैस वितरण - प्रत्येक शॉवर हेड को पूरे वेफर में एक सुसंगत गैस वेग देने के लिए मशीनीकृत किया गया है।

• बेहतर संक्षारण प्रतिरोध - सीवीडी SiC हैलोजन या प्रक्रिया अवशेषों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है। यह नंगे ग्रेफाइट या क्वार्ट्ज की तुलना में अधिक समय तक चलता है।

• उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन - कोटिंग ग्रेफाइट के थर्मल विस्तार से बारीकी से मेल खाती है, इसलिए तेज तापमान रैंप के दौरान कोई दरार नहीं होती है।

• सटीक विनिर्माण - हम सीएनसी मशीनिंग और इन-हाउस सीवीडी कोटिंग का उपयोग करते हैं। छेद के व्यास और पैटर्न को कड़ी सहनशीलता के साथ रखा जाता है।

तकनीकी निर्देश

अनुप्रयोग

इन शॉवर हेड्स का उपयोग इसमें किया जाता है:

• सेमीकंडक्टर सीवीडी सिस्टम (उत्पादन और अनुसंधान एवं विकास दोनों)

• पीईसीवीडी उपकरण - कम तापमान वाले डाइलेक्ट्रिक्स

• MOCVD रिएक्टर - III‑V यौगिक जैसे GaN, InP

• सिलिकॉन एपिटैक्सी (Si Epi) - बिजली उपकरणों और CMOS के लिए

• SiC एपिटैक्सी - उच्च वोल्टेज पावर इलेक्ट्रॉनिक्स

• यौगिक अर्धचालक फैब्स

• उन्नत पैकेजिंग (उदाहरण के लिए, टीएसवी लाइनर जमाव)

• कोई भी पतली-फिल्म उपकरण जिसके लिए संक्षारण-रोधी, उच्च-शुद्धता वाले गैस वितरक की आवश्यकता होती है

VETEK क्यों चुनें?

• हम कोई ट्रेडिंग कंपनी नहीं हैं। सब कुछ - ग्रेफाइट मशीनिंग से लेकर अंतिम सीवीडी SiC कोटिंग तक - घर में ही किया जाता है। इसका मतलब है कि हम गुणवत्ता, लीड समय और लागत को नियंत्रित करते हैं।

• पूर्ण घरेलू विनिर्माण - कोई आउटसोर्सिंग आश्चर्य नहीं

• उन्नत कोटिंग तकनीक - सघन, पिन-होल-मुक्त सीवीडी SiC

• कस्टम इंजीनियरिंग सहायता - हमें अपना शॉवर हेड ड्राइंग या सिर्फ रिएक्टर मॉडल भेजें

• विश्वसनीय सेमीकंडक्टर आपूर्ति श्रृंखला - हम वर्षों से फैब्स और ओईएम की आपूर्ति कर रहे हैं

• आपको हर बार एक नए डिज़ाइन को दोबारा अर्हता प्राप्त करने की आवश्यकता नहीं है। हमने पहले से ही कई सामान्य प्लेटफार्मों (AMAT, TEL, LAM, ASM, आदि) के लिए शॉवर हेड्स को कवर कर लिया है।