सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट शावर हेड

यदि आपने कभी किसी जमाव कक्ष में असमान गैस प्रवाह या कण संदूषण का सामना किया है, तो VETEK CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शावर हेड को इसे हल करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह थर्मल स्थिरता और आसान मशीनिंग के लिए उच्च शुद्धता वाले आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट से शुरू होता है, फिर एक सघन सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग प्राप्त करता है जो सतह को सील करता है, संक्षारक गैसों (जैसे HCl या NF₃) का प्रतिरोध करता है, और गैस निकलने से रोकता है। परिणाम एक गैस वितरण प्लेट है जो वेफर में समान प्रवाह प्रदान करती है, उच्च तापमान एपिटैक्सी को संभालती है, और नंगे ग्रेफाइट या क्वार्ट्ज की तुलना में कहीं अधिक समय तक चलती है - जो इसे सीवीडी, पीईसीवीडी, एमओसीवीडी, सिलिकॉन एपिटैक्सी और सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रियाओं के लिए एक विश्वसनीय घटक बनाती है। हम कस्टम होल पैटर्न और आकार भी प्रदान करते हैं, क्योंकि कोई भी दो रिएक्टर बिल्कुल एक जैसे नहीं होते हैं।