सॉलिड SiC फोकस रिंग

6.मुख्य आवेदन क्षेत्र

7. वेटेक्सेमी सॉलिड SiC फोकस रिंग कोर फायदे

उत्कृष्ट प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध

अत्यधिक संक्षारक, उच्च घनत्व वाले प्लाज़्मा जैसे सीएफ4, ओ2 और सीएल2 के लंबे समय तक संपर्क में रहने से, पारंपरिक सामग्री तेजी से घिसाव और कण संदूषण के प्रति संवेदनशील होती है। हमारी ठोस SiC फोकस रिंग उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध प्रदर्शित करती है, जिसकी संक्षारण दर क्वार्ट्ज या एल्यूमिना जैसी सामग्रियों की तुलना में बहुत कम है। इसका मतलब यह है कि यह समय के साथ एक चिकनी सतह बनाए रखता है, घटक टूट-फूट के कारण होने वाले वेफर दोषों के जोखिम को काफी कम करता है, जिससे निरंतर और स्थिर बड़े पैमाने पर उत्पादन सुनिश्चित होता है।

उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता और थर्मल प्रबंधन प्रदर्शन

अर्धचालक नक़्क़ाशी प्रक्रिया महत्वपूर्ण गर्मी उत्पन्न करती है, जिससे चैम्बर घटकों को नाटकीय तापमान में उतार-चढ़ाव का अनुभव होता है। हमारे फोकस रिंगों में थर्मल विस्तार का गुणांक बेहद कम है, जो दरार या विरूपण के बिना 1600 डिग्री सेल्सियस तक के क्षणिक तापमान को सहन करने में सक्षम है। इसके अलावा, उनकी अंतर्निहित उच्च तापीय चालकता गर्मी को समान रूप से और तेज़ी से फैलाने में मदद करती है, जिससे वेफर किनारे पर तापमान वितरण में प्रभावी ढंग से सुधार होता है, जिससे तापमान में वृद्धि होती है।पूरे वेफर में महत्वपूर्ण आयामों की एकरूपता और स्थिरता को उकेरना।

असाधारण सामग्री शुद्धता और संरचनात्मक घनत्व

हम सिलिकॉन कार्बाइड कच्चे माल (≥99.999%) की शुद्धता को सख्ती से नियंत्रित करते हैं और ट्रेस अशुद्धता नियंत्रण के लिए उन्नत विनिर्माण प्रक्रियाओं की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिंटरिंग प्रक्रिया के दौरान धातु संदूषण को खत्म करते हैं। उच्च तापमान सिंटरिंग के माध्यम से बनी सघन संरचना में बेहद कम छिद्र होता है, जो प्रक्रिया गैसों और उप-उत्पादों के प्रवेश को लगभग पूरी तरह से अवरुद्ध कर देता है। यह आंतरिक सामग्री क्षरण के कारण प्रदर्शन में गिरावट और कण वृद्धि को रोकता है, एक शुद्ध प्रक्रिया कक्ष वातावरण सुनिश्चित करता है।

लंबे समय तक चलने वाला यांत्रिक जीवन और व्यापक लागत-प्रभावशीलता

पारंपरिक उपभोग्य सामग्रियों की तुलना में जिन्हें बार-बार प्रतिस्थापन की आवश्यकता होती है, वेटेक्सेमी सॉलिड SiC फोकस रिंग असाधारण स्थायित्व प्रदान करते हैं। वे अपने पूरे सेवा जीवन में स्थिर प्रदर्शन बनाए रखते हैं, प्रतिस्थापन चक्र को कई बार बढ़ाते हैं। यह न केवल सीधे तौर पर स्पेयर पार्ट की खरीद लागत को कम करता है, बल्कि रखरखाव के लिए उपकरण के डाउनटाइम को कम करके मशीन के उपयोग में भी उल्लेखनीय सुधार करता है, जिसके परिणामस्वरूप ग्राहकों के लिए महत्वपूर्ण समग्र लागत लाभ होता है।

सटीक आकार नियंत्रण और लचीली अनुकूलन सेवाएँ

हम उपभोग्य सामग्रियों के लिए विभिन्न मशीनों और प्रक्रियाओं की सटीक आवश्यकताओं को समझते हैं। प्रत्येक फोकस रिंग ±0.05 मिमी के भीतर महत्वपूर्ण आयामी सहनशीलता सुनिश्चित करने के लिए सटीक मशीनिंग और कठोर परीक्षण से गुजरती है। हम अनुकूलित सेवाएं भी प्रदान करते हैं, जिनमें कस्टम आकार, सतह फिनिश (Ra ≤ 0.2μm तक पॉलिश करना), और आपकी विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं और एप्लिकेशन परिदृश्यों के अनुरूप चालकता समायोजन शामिल हैं।

विस्तृत तकनीकी विशिष्टताओं, श्वेत पत्रों, या नमूना परीक्षण व्यवस्थाओं के लिए, कृपया हमारी तकनीकी सहायता टीम से संपर्क करें ताकि यह पता लगाया जा सके कि वेटेक्सेमी आपकी प्रक्रिया दक्षता को कैसे बढ़ा सकता है।